本实用新型专利技术涉及一种脱胶机用有料识别装置，所述脱胶机用有料识别装置包括脱胶机框架，所述脱胶机框架之间设置第一横杆，所述第一横杆下方设置第二横杆，所述第一横杆上设置第一支架，所述第一支架侧面设置第一传感器，所述第二横杆上设置第二传感器，当所述脱胶机框架中推入送料车，所述送料车内放置工件，所述工件的一部分伸出所述送料车，使送料车驱动第二传感器的第二检测端转动并触发第二传感器以及使送料车内的工件驱动第一传感器的第一检测端转动并触发第一传感器，以实现有料识别，结构简单，来料识别方便，能够同时识别是否有送料车以及工件，提高脱胶机工作效率。提高脱胶机工作效率。提高脱胶机工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种脱胶机用有料识别装置
[0001]本技术涉及智能生产设备
，尤其涉及一种脱胶机用有料识别装置。
技术介绍
[0002]在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
[0003]在硅片插片进入到插片花篮后或是硅片粘接到晶托后，通常会流转至脱胶机内部进行脱胶处理，而脱胶机是采用超声波震荡的方式进行脱胶，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗。在原有的生产技术中，工作人员将送料车推入脱胶机内，直接按下控制按钮启动脱胶机的机械臂进行取料，而现有的脱胶机本身并不具备识别来料区是否有送料车或是送料车内是否有料的功能，导致脱胶机空转或是在没有送料车的情况下进行了取料和送料，导致工件和硅片损坏。因此，急需一种脱胶机用有料识别装置。
技术实现思路
[0004]针对上述现有技术的缺点，本技术的目的是提供一种脱胶机用有料识别装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种脱胶机用有料识别装置，所述脱胶机用有料识别装置包括脱胶机框架，所述脱胶机框架之间设置第一横杆，所述第一横杆下方设置第二横杆，所述第一横杆上设置第一支架，所述第一支架侧面设置第一传感器，所述第二横杆上设置第二传感器，当所述脱胶机框架中推入送料车，所述送料车内放置工件，所述工件的一部分伸出所述送料车，使送料车驱动第二传感器的第二检测端转动并触发第二传感器以及使送料车内的工件驱动第一传感器的第一检测端转动并触发第一传感器，以实现有料识别。
[0007]进一步的，所述第一传感器的第一检测端在竖直平面内转动，所述第二传感器的第二检测端在水平平面内转动。
[0008]进一步的，所述脱胶机用有料识别装置还包括移门组件，所述移门组件包括可滑动地设置在所述脱胶机框架近端的第一门板以及设置在第一门板上方的气缸，所述气缸通过连杆与所述第一门板连接，所述气缸用于驱动所述第一门板升降。
[0009]进一步的，所述脱胶机框架相对一侧开设滑槽，所述第一门板两侧分别设置卡入所述滑槽的滑块。
[0010]进一步的，所述脱胶机框架远端还设置第三横杆，所述脱胶机用有料识别装置还包括导向组件，所述导向组件包括设置在所述第三横杆远端的导向杆以及设置在所述送料车底部的导向框，当所述脱胶机框架中推入送料车，所述导向杆卡入所述导向框中。
[0011]进一步的，所述脱胶机用有料识别装置还包括设置在所述脱胶机框架远端的引导
区，所述引导区由两块侧板、侧板远端的竖杆以及设置在两根所述竖杆之间的第二门板围成。
[0012]进一步的，所述第二门板可旋转地连接在两根竖杆之间。
[0013]进一步的，所述第二门板两侧设置转轴。
[0014]进一步的，所述送料车包括车体，所述车体底部四角处设置车轮。
[0015]进一步的，所述脱胶机用有料识别装置还包括控制器，所述控制器分别与所述第一传感器、第二传感器、气缸连接，所述控制器用于接收第一传感器、第二传感器的检测结果以及控制气缸动作。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益技术效果如下：
[0017](一)本技术的脱胶机用有料识别装置，当所述脱胶机框架中推入送料车，使送料车驱动第二传感器的第二检测端转动以及使送料车内的工件驱动第一传感器的第一检测端转动，以实现有料识别，结构简单，来料识别方便，能够同时识别是否有送料车以及工件，提高脱胶机工作效率。
[0018](二)进一步的，所述脱胶机用有料识别装置还包括导向组件，当所述脱胶机框架中推入送料车，导向杆卡入导向框中，限制送料车车体在脱胶机框架中的位置，保证脱胶机取料、送料精准。
[0019](三)进一步的，所述脱胶机用有料识别装置还包括设置在所述脱胶机框架远端的引导区，引导区用于送料车停放等待以及引导送料车进入和离开脱胶机，避免送料车乱停乱放以及工作人员误操作送料车。
附图说明
[0020]图1示出了本技术实施例一提供的脱胶机用有料识别装置的侧视结构示意图。
[0021]图2示出了本技术实施例一提供的脱胶机用有料识别装置的俯视结构示意图。
[0022]图3示出了本技术实施例一提供的脱胶机用有料识别装置中送料车的结构示意图。
[0023]图4示出了本技术实施例一提供的脱胶机用有料识别装置中控制器的连接关系图。
[0024]图中标记：
[0025]1、脱胶机框架；11、第一横杆；111、第一支架；12、第二横杆；13、第三横杆；14、滑槽；2、移门组件；21、第一门板；211、滑块；22、气缸；221、连杆；3、导向组件；31、导向杆；32、导向框；4、车体；41、车轮；5、工件；6、引导区；61、侧板；62、竖杆；63、第二门板；631、转轴；7、第一传感器；71、第一检测端；8、第二传感器；81、第二检测端；9、控制器。
具体实施方式
[0026]为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术实施的限定条件，故不具技术上的
实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0027]在本技术的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]为了更加清楚地描述上述脱胶机用有料识别装置的结构，本技术限定术语“远端”和“近端”，具体而言，“远端”表示手术过程中靠近送料车进入方向的一端，“近端”表示手术过程中远离送料车进入方向的一端，以图1为例，图1中脱胶机框架1的左侧为近端，图1中脱胶机框架1的右侧为远端。
[0029]实施例一
[0030]请参考图1，一种脱胶机用有料识别装置，所述脱胶机用有料识别装置包括脱胶机框架1，所述脱胶机框架1由四根竖杆62组成。两侧的所述脱胶机框架1之间设置第一横杆11，所述第一横杆11下方设置第二横杆12，所述第一横杆11上设置第一支架111，所述第一支架111侧面设置第一传感器7，所述第二横杆12上设置第二传感器8，当所述脱胶机框架1中推入送料车，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种脱胶机用有料识别装置，其特征在于：所述脱胶机用有料识别装置包括脱胶机框架，所述脱胶机框架之间设置第一横杆，所述第一横杆下方设置第二横杆，所述第一横杆上设置第一支架，所述第一支架侧面设置第一传感器，所述第二横杆上设置第二传感器，当所述脱胶机框架中推入送料车，所述送料车内放置工件，所述工件的一部分伸出所述送料车，使送料车驱动第二传感器的第二检测端转动并触发第二传感器以及使送料车内的工件驱动第一传感器的第一检测端转动并触发第一传感器，以实现有料识别。2.如权利要求1所述的一种脱胶机用有料识别装置，其特征在于：所述第一传感器的第一检测端在竖直平面内转动，所述第二传感器的第二检测端在水平平面内转动。3.如权利要求1所述的一种脱胶机用有料识别装置，其特征在于：所述脱胶机用有料识别装置还包括移门组件，所述移门组件包括可滑动地设置在所述脱胶机框架近端的第一门板以及设置在第一门板上方的气缸，所述气缸通过连杆与所述第一门板连接，所述气缸用于驱动所述第一门板升降。4.如权利要求3所述的一种脱胶机用有料识别装置，其特征在于：所述脱胶机框架相对一侧开设滑槽，所述第一门板两侧分别设置卡入所述滑槽的滑块。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱仁德，冯培良，
申请(专利权)人：无锡荣能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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