一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置，包括底座、支架、试样座及导电胶带；所述支架设于底座上，试样座通过支架支撑悬于底座上方，并且试样座与支架转动连接；试样座的底部设导电胶带，导电胶带背离试样座的一侧表面粘附有颗粒状样品；试样座设偏心结构，超声震荡过程中试样座摆动，但导电胶带粘附有颗粒状样品的一面始终朝向下方，少量粘附不牢固的颗粒状样品在超声波震动过程中会自动脱落；从而满足扫描电镜分析用颗粒状样品清洁性及牢固性的要求；装置结构简单，制作使用方便。方便。方便。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置


[0001]本技术涉及扫描电镜分析
，尤其涉及一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置。

技术介绍

[0002]扫描电镜的电子光学系统由电子枪、磁透镜、扫描线圈及样品室等组成，高分辨扫描电镜还设有真空系统，真空系统由机械泵、分子泵等组成。扫描电镜的电子枪、磁透镜、扫描线圈不能附着颗粒、灰尘，否则将影响图像效果，甚至因放电而损坏扫描电镜的高压发生装置，同时真空系统中的分子泵十分脆弱，一旦有颗粒进入高速旋转的分子泵将对其造成损坏导致分子泵立刻停转。
[0003]基于扫描电镜的结构特点，对用于扫描电镜分析的样品有十分明确的基本要求，即：样品要尽可能干燥，含易挥发物的样品需要先进行加热干燥；导电性差的样品会发生荷电效应，造成雪花类图像等，因此表面污染的样品需要清洗后使用。
[0004]在科研及失效分析工作中，常常需要分析细小的颗粒状样品，例如粉末冶金中所用的粉末原料、锅炉高压管道开裂后管道内残余的粉末颗粒等。颗粒样品一般具有导电性差、质量轻、尺寸不均匀的特点，放入扫描电镜中分析时，极易在扫描电镜抽真空过程中脱离样品座或导电胶而进入电子枪或分子泵中，影响分析甚至损坏扫描电镜。
[0005]目前常采用超声波清洗仪对颗粒状样品进行震荡解离，如申请公布号为CN113063717A的中国专利申请公开了“一种测定铁矿颗粒形貌指导配矿的方法”，使用超声波清洗仪分别将附着在一起的铁矿粉震荡解离成单个矿物颗粒，在高分辨率扫描电镜下观察颗粒形貌以及颗粒的致密程度，通过比较不同地域的铁矿颗粒形貌以及致密程度，并结合其化学成分及铁矿性能，为铁前系统配矿提供技术指导。其将装有铁矿粉与无水乙醇的容器放在超声波水域中震荡清洗，然后将解离打散好的铁矿用胶头吸管吸取后缓慢均匀的滴在导电胶上，吹干其上的铁矿粉颗粒，然后将粘有铁矿颗粒的导电胶放在扫描电镜载物台上进行观察。而本技术是用于“一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备方法”(已同日另案申请专利)的专用装置，该方法是将颗粒状样品先粘附在导电胶带上，然后将导电胶带固定到试样座上，对带有导电胶带及颗粒状样品的试样座进行超声波清洗，现有技术中没有类似的技术方案。
[0006]申请公布号为CN114002246A的中国专利申请公开了“一种粉末样品制备装置及方法”，所述装置包括：样本承载台，设有用于依次连通的管道、样品槽和喷气针孔；所述管道的前端设置有载网槽，载网槽用于容纳载网，载网槽与管道连通。采用喷气方式将粉末样品附着在载网上，适用于制备微晶电子衍射测试的粉末样品。而本技术所述的颗粒状样品用于电镜扫描分析，两者的载体不同，复吹气源不同，本技术所述颗粒状样品不能使用气源压强太大的气体喷吹，否则样品会被吹掉，而导电胶的粘附能力可以抵御扫描电镜抽真空时产生的压强。
[0007]授权公告号为CN216082556U的中国技术专利公开了“一种粉末样品制备装
置”，包括振动模块；振动台上设有样品仓，在样品仓内放置有样品管；样品台活动插接在样品管的管口上，置于样品管内的样品台的台面上粘贴有导电胶；清洁台内开设有一端与清洁仓的底部连通的负压气道；清洁台内开设有一端与清洁仓的上部连通的进气气道。其将放置有样品管的振动台固定于振动装置上，通过振动装置采用振动方式，使细小粉末颗粒飞溅并吸附到导电胶表面，保证电镜样品的分散均匀性；利用清洁模块对导电胶上的粉末样品进行清洁处理，利用压缩空气吹落粘贴不牢的粉末颗粒，同时利用抽气机将漂浮有粉末颗粒的空气从清洁仓内抽出到室外；该装置适用于制备大批量的粉末状样品，并且其结构较为复杂，因此其对于本技术所述用于电镜扫描分析的少量样品制备并不适合。

技术实现思路

[0008]本技术提供了一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置，用于对粘附在导电胶带上的颗粒状样品进行超声波清洗，少量粘附不牢固的颗粒状样品在超声波震动过程中会自动脱落；满足扫描电镜分析用颗粒状样品清洁性及牢固性的要求；装置结构简单，制作使用方便。
[0009]为了达到上述目的，本技术采用以下技术方案实现：
[0010]一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置，包括底座、支架、试样座及导电胶带；所述支架设于底座上，试样座通过支架支撑悬于底座上方，并且试样座与支架转动连接；试样座的底部设导电胶带，导电胶带背离试样座的一侧表面粘附有颗粒状样品；试样座设偏心结构，超声震荡过程中试样座摆动，但导电胶带粘附有颗粒状样品的一面始终朝向下方。
[0011]进一步的，所述支架由2根立柱及1根拉力弹簧组成；2根立柱垂直于底座设置，立柱的顶部设支点，2个立柱的支点位于同一水平面；试样座的两端设卡槽与对应的支点配合插接；2根立柱之间通过拉力弹簧相连，使试样座夹于2根立柱之间并能够以2个支点的连线为轴摆动。
[0012]进一步的，所述底座设插孔或支撑座，立柱的下端插在插孔或支撑座中。
[0013]进一步的，所述立柱上的支点为圆锥体结构，试样座上的卡槽具有与支点相匹配的形状。
[0014]进一步的，所述试样座为长方体结构，导电胶带设于试样座的底面；试样座的纵向两端设卡槽，卡槽设于试样座的横向中心对称截面上，但高于试样座的高向中心对称截面设置。
[0015]进一步的，所述底座、支架及试样座均采用不锈钢材质。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1)用于对粘附在导电胶带上的颗粒状样品进行超声波清洗，少量粘附不牢固的颗粒状样品在超声波震动过程中会自动脱落；满足扫描电镜分析用颗粒状样品清洁性及牢固性的要求；
[0018]2)通过试样座的偏心结构保证超声波震荡过程中导电胶带粘附有颗粒状样品的一面始终朝向下方；
[0019]3)本技术所述装置可以直接置于超声波设备中，粘附在导电胶带上的颗粒状试样不接触任何介质，保证颗粒状样品不会被污染；
[0020]4)装置结构简单，制作及使用方便。
附图说明
[0021]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0022]图1是本技术所述一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置的结构示意图。
[0023]图2是图1中的A部放大剖视图。
[0024]图3是图1的侧视图。
[0025]附图标记说明：
[0026]图中：1.底座 2.立柱 3.试样座 4.导电胶带 5.颗粒状试样 6.支撑座 7.支点 8.拉力弹簧
具体实施方式
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置，其特征在于，包括底座、支架、试样座及导电胶带；所述支架设于底座上，试样座通过支架支撑悬于底座上方，并且试样座与支架转动连接；试样座的底部设导电胶带，导电胶带背离试样座的一侧表面粘附有颗粒状样品；试样座设偏心结构，超声震荡过程中试样座摆动，但导电胶带粘附有颗粒状样品的一面始终朝向下方。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置，其特征在于，所述支架由2根立柱及1根拉力弹簧组成；2根立柱垂直于底座设置，立柱的顶部设支点，2个立柱的支点位于同一水平面；试样座的两端设卡槽与对应的支点配合插接；2根立柱之间通过拉力弹簧相连，使试样座夹于2根立柱之间并能够以2个支点的连线为轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：海超，左海霞，苏崇涛，郭晓静，刘彦海，吉丽丽，高安妮，
申请(专利权)人：本钢板材股份有限公司，
类型：新型
国别省市：