【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置
[0001]本技术涉及扫描电镜分析
,尤其涉及一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置。
技术介绍
[0002]扫描电镜的电子光学系统由电子枪、磁透镜、扫描线圈及样品室等组成,高分辨扫描电镜还设有真空系统,真空系统由机械泵、分子泵等组成。扫描电镜的电子枪、磁透镜、扫描线圈不能附着颗粒、灰尘,否则将影响图像效果,甚至因放电而损坏扫描电镜的高压发生装置,同时真空系统中的分子泵十分脆弱,一旦有颗粒进入高速旋转的分子泵将对其造成损坏导致分子泵立刻停转。
[0003]基于扫描电镜的结构特点,对用于扫描电镜分析的样品有十分明确的基本要求,即:样品要尽可能干燥,含易挥发物的样品需要先进行加热干燥;导电性差的样品会发生荷电效应,造成雪花类图像等,因此表面污染的样品需要清洗后使用。
[0004]在科研及失效分析工作中,常常需要分析细小的颗粒状样品,例如粉末冶金中所用的粉末原料、锅炉高压管道开裂后管道内残余的粉末颗粒等。颗粒样品一般具有导电性差、质量轻、尺寸不均匀的特点,放入扫描电镜中分析 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置,其特征在于,包括底座、支架、试样座及导电胶带;所述支架设于底座上,试样座通过支架支撑悬于底座上方,并且试样座与支架转动连接;试样座的底部设导电胶带,导电胶带背离试样座的一侧表面粘附有颗粒状样品;试样座设偏心结构,超声震荡过程中试样座摆动,但导电胶带粘附有颗粒状样品的一面始终朝向下方。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜分析用颗粒状样品制备装置,其特征在于,所述支架由2根立柱及1根拉力弹簧组成;2根立柱垂直于底座设置,立柱的顶部设支点,2个立柱的支点位于同一水平面;试样座的两端设卡槽与对应的支点配合插接;2根立柱之间通过拉力弹簧相连,使试样座夹于2根立柱之间并能够以2个支点的连线为轴...
【专利技术属性】
技术研发人员:海超,左海霞,苏崇涛,郭晓静,刘彦海,吉丽丽,高安妮,
申请(专利权)人:本钢板材股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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