机械手及堆垛机制造技术

本申请实施例涉及搬运设备技术领域，公开了一种机械手及堆垛机。其中的机械手包括安装座、支架、驱动组件、承载台以及压合件。支架与安装座滑动连接；驱动组件连接支架与安装座，以驱动支架相对安装座沿第一方向移动；承载台与支架连接并可绕垂直于第一方向的第二方向转动，承载台用于承载晶圆盒；压合件沿第二方向可移动地设置在承载台上，以压合在晶圆盒上。本申请实施例提供的机械手及晶圆盒，能够使堆垛机的搬运装置适应不同尺寸的晶圆盒的搬运。搬运。搬运。

【技术实现步骤摘要】
机械手及堆垛机


[0001]本申请实施例涉及搬运设备
，特别涉及一种机械手及堆垛机。

技术介绍

[0002]晶圆盒在半导体制造中起到存储和保护晶圆的作用。晶圆盒存储在自动化立体仓库中，待需要时通过堆垛机转移至其他区域。对于具有不同尺寸大小的晶圆，会配备不同尺寸的晶圆盒。如在前开式晶圆盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)中，会针对具有不同尺寸大小的晶圆，设计不同的高度和宽度。而一些情形下，堆垛机并未针对不同尺寸的晶圆盒设计不同尺寸的搬运装置，这对于晶圆盒的搬运来说，存在晶圆盒跌落的风险。
[0003]因此，如何使堆垛机的搬运装置适应不同尺寸的晶圆盒的搬运，是一个重要的问题。

技术实现思路

[0004]本申请实施方式的目的在于提供一种机械手及堆垛机，能够使堆垛机的搬运装置适应不同尺寸的晶圆盒的搬运。
[0005]为解决上述技术问题，本申请的实施方式提供了一种机械手，包括安装座、支架、驱动组件、承载台以及压合件。支架与安装座滑动连接；驱动组件连接支架与安装座，以驱动支架相对安装座沿第一方向移动；承载台与支架连接并可绕垂直于第一方向的第二方向转动，承载台用于承载晶圆盒；压合件沿第二方向可移动地设置在承载台上，以压合在晶圆盒上。
[0006]本申请的实施方式还提供了一种堆垛机，包括上述的机械手。
[0007]本申请实施方式提供的机械手及堆垛机，支架与安装座滑动连接，可以在驱动组件的作用下相对安装座进行平移，从而使得作为承载部分的承载台能够相对安装座进行平移，以实现承载部分的伸缩。同时，承载台可以相对支架进行转动，以适应不同方向的晶圆盒的取放。并且，压合件可以在承载台承载晶圆盒的过程中对晶圆盒施加约束，使得承载台能够较稳定地承载不同尺寸的晶圆盒，以适应不同尺寸的晶圆盒的搬运。
[0008]在一些实施方式中，机械手还包括DD马达，承载台经由DD马达与支架连接，并在DD马达的带动下绕第二方向转动。这样，通过采用DD马达，可以使得机械手承载部分的结构更加紧凑，不会占用较大空间。
[0009]在一些实施方式中，驱动组件包括线性模组和驱动源，线性模组包括设置在安装座上的丝杠，以及设置在支架上的滑块，滑块与丝杠螺纹配合，驱动源设置在安装座上，并驱动丝杠转动。这样，可以通过采用线性模组，使传动部分的结构较为紧凑，并且可以确保传动部分的移动精度。
[0010]在一些实施方式中，承载台上设置有电动平移台，压合件经电动平移台与承载台连接，并在电动平移台的带动下沿第二方向移动。这样，通过采用模块化的电动平移台，可以使得驱动部分的结构较为紧凑，不会占用较大空间。
[0011]在一些实施方式中，承载台上设置有保护罩和盖合板，保护罩与盖合板将电动平移台包围在内，盖合板上设置有沿第二方向延伸的让位槽。这样，可以通过保护罩和盖合板将电动平移台包围在内，对电动平移台起到保护作用。
[0012]在一些实施方式中，承载台包括相连的安装板和承载板，安装板与支架转动连接，承载板与支架在第二方向上的投影互不重叠。这样，可以通过平板形式的承载台，使得承载部分结构更加紧凑，提升承载部分在堆垛机上升降的极限可达性。
[0013]在一些实施方式中，承载板上设置有多个定位销，多个定位销用于对晶圆盒进行定位。这样，可以通过定位销限制晶圆盒在承载台上的位置，对晶圆盒起到定位作用。
[0014]在一些实施方式中，承载板上设置有检测传感器，检测传感器用于检测承载板上是否存有晶圆盒。这样，可以通过检测传感器对晶圆盒进行检测，确保机械手在搬运过程中晶圆盒处于承载台上。
[0015]在一些实施方式中，压合件上设置有RFID读写器，RFID读写器用于识别晶圆盒上的标签信息。这样，可以通过RFID读写器对晶圆盒的标签信息进行识别，提高晶圆盒流转效率。
附图说明
[0016]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0017]图1是本申请一些实施例提供的机械手的立体结构示意图；
[0018]图2是本申请一些实施例提供的晶圆盒的立体结构示意图；
[0019]图3是本申请一些实施例提供的机械手承载有晶圆盒时的立体结构示意图；
[0020]图4是本申请一些实施例提供的机械手中压合件处的爆炸结构示意图；
[0021]图5是本申请一些实施例提供的机械手在另一视角下的立体结构示意图。
具体实施方式
[0022]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本申请的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。
[0023]对于存储在自动化立体仓库中的晶圆盒，由于人工搬运效率较低且无法确保搬运过程中的洁净度，因此通常通过堆垛机来实现晶圆盒的自动搬运。但是，在一些情形下，堆垛机所采用的自动伸缩货叉，以及由此形成的抱夹式货叉通常采用固定尺寸。这样，在晶圆盒取放和搬运过程中，会因为尺寸适配问题导致晶圆盒稳定性差，使得晶圆盒在转移过程中会因为缺少约束而容易出现跌落现象。同时，自动伸缩货叉通过沿同一方向的多级导向结构实现承载部分的伸缩平移，导致整体占用空间较大，无法适应在小空间内完成晶圆盒的搬运过程。
[0024]而本申请一些实施例提供的机械手，支架与安装座滑动连接，并在驱动组件的作用下相对安装座进行平移，从而带动承载部分实现伸缩运动。同时，作为承载部分的承载台可以相对支架转动，从而增加承载部分的自由度，以适应不同方向的晶圆盒的取放。并且相较于自动伸缩货叉采用的多级导向结构，本申请一些实施例提供的机械手采用一级平移结构，支架以及承载部分可以安装在安装座的侧方，减少了平移方向上的空间占用。压合件则可以在晶圆盒转移过程中压合在晶圆盒上，通过对晶圆盒施加约束提高晶圆盒的稳定性，从而适应不同尺寸的晶圆盒的搬运过程。
[0025]下面结合图1至图5说明本申请一些实施例提供的机械手的结构。
[0026]如图1至图5所示，本申请一些实施例提供的机械手包括安装座110、支架120、驱动组件130、承载台140以及压合件150。支架120与安装座110滑动连接；驱动组件130连接支架120与安装座110，以驱动支架120相对安装座110沿第一方向移动；承载台140与支架120连接并可绕垂直于第一方向的第二方向转动，承载台140用于承载晶圆盒180；压合件150沿第二方向可移动地设置在承载台140上，以压合在晶圆盒180上。
[0027]安装座1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手，用于转移晶圆盒，其特征在于，包括：安装座；支架，与所述安装座滑动连接；驱动组件，连接所述支架与所述安装座，以驱动所述支架相对所述安装座沿第一方向移动；承载台，与所述支架连接并可绕垂直于所述第一方向的第二方向转动，所述承载台用于承载所述晶圆盒；压合件，沿所述第二方向可移动地设置在所述承载台上，以压合在所述晶圆盒上。2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：还包括DD马达，所述承载台经由所述DD马达与所述支架连接，并在所述DD马达的带动下绕所述第二方向转动。3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：所述驱动组件包括线性模组和驱动源，所述线性模组包括设置在所述安装座上的丝杠，以及设置在所述支架上的滑块，所述滑块与所述丝杠螺纹配合，所述驱动源设置在所述安装座上，并驱动所述丝杠转动。4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：所述承载台上设置有电动平移台，所述压合件经所述电动平移台与所述承载台连接，并在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁林航，郑忠斌，李韩军，冯源，方剑锋，
申请(专利权)人：工业互联网创新中心上海有限公司，
类型：新型
国别省市：