机械手及堆垛机制造技术

本申请实施例涉及搬运设备技术领域，公开了一种机械手及堆垛机。其中的机械手包括安装座、支架及承载台，安装座设置有沿第一方向延伸的齿条；支架与安装座滑动连接，支架上设置有驱动源，驱动源的输出端连接有滚轮，滚轮的滚销与齿条的轮齿啮合；承载台与支架连接并可绕垂直于第一方向的第二方向转动，承载台用于承载晶圆盒。本申请实施例提供的机械手及堆垛机，能够适应在小空间内无尘搬运晶圆盒。能够适应在小空间内无尘搬运晶圆盒。能够适应在小空间内无尘搬运晶圆盒。

【技术实现步骤摘要】
机械手及堆垛机


[0001]本申请实施例涉及搬运设备
，特别涉及一种机械手及堆垛机。

技术介绍

[0002]晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，在晶圆盒存储时需要用到自动化立体仓库。在立体仓库中，通过堆垛机进行晶圆盒的搬运取放。为了代替人力存取物品，堆垛机通常采用自动形式进行晶圆盒的搬运。在堆垛机上会配备自动伸缩货叉来实现晶圆盒的自动取放以及在搬运过程中承载晶圆盒。
[0003]但是，一些情形下，自动伸缩货叉不能满足狭窄空间内的搬运需求。同时，自动伸缩货叉结构复杂且易于产生灰尘。因此，如何使堆垛机的搬运装置适应在小空间内无尘搬运晶圆盒，是一个重要的问题。

技术实现思路

[0004]本申请实施方式的目的在于提供一种机械手及堆垛机，能够适应在小空间内无尘搬运晶圆盒。
[0005]为解决上述技术问题，本申请的实施方式提供了一种机械手，包括安装座、支架及承载台，安装座设置有沿第一方向延伸的齿条；支架与安装座滑动连接，支架上设置有驱动源，驱动源的输出端连接有滚轮，滚轮的滚销与齿条的轮齿啮合；承载台与支架连接并可绕垂直于第一方向的第二方向转动，承载台用于承载晶圆盒。
[0006]本申请的实施方式还提供了一种堆垛机，包括上述的机械手。
[0007]本申请实施方式提供的机械手及堆垛机，支架与安装座滑动连接，可以在驱动源以及滚轮齿条结构的带动下相对安装座进行平移。这样，可以带动与支架连接的承载台相对安装座进行平移，以实现承载部分的伸缩。同时，承载台可以相对支架进行转动，从而可以在采用紧凑结构的情况下适应不同方向的晶圆盒的取放。通过增加承载台绕第二方向的转动，可以使机械手适应在小空间内的晶圆盒的搬运过程。并且，传动结构采用低法尘的滚轮齿条结构，可以避免在传动过程中产生灰尘而影响晶圆盒的洁净度。从而能够适应在小空间内无尘搬运晶圆盒。
[0008]在一些实施方式中，机械手还包括DD马达，承载台经由DD马达与支架转动连接，并在DD马达的带动下相对支架转动。这样，通过采用DD马达，可以使得机械手的承载部分结构简单紧凑，减少机械手的空间占用。
[0009]在一些实施方式中，承载台上设置有多个定位销，多个定位销用于对晶圆盒进行定位。这样，通过定位销对晶圆盒进行定位，可以防止晶圆盒在搬运过程中出现摔伤现象。
[0010]在一些实施方式中，承载台上设置有检测传感器，检测传感器用于检测承载台上是否存有晶圆盒。这样，可以通过检测传感器实现对晶圆盒的检测，以确保搬运过程中承载台上存有晶圆盒。
[0011]在一些实施方式中，安装座上设置有沿第一方向延伸的滑轨，支架上设置有滑块，
滑块与滑轨滑动配合。这样，可以通过滑轨与滑块之间的配合，实现支架与安装座的滑动连接。
[0012]在一些实施方式中，滑轨有两个，两个滑轨沿第二方向上分布于齿条的两侧，支架上设置有与两个滑轨一一对应的两个滑块。这样，通过使两个滑轨沿第二方向分布于齿条的两侧，可以使导轨的受力更加平衡。
[0013]在一些实施方式中，安装座上设置有两块限位板，两块限位板沿第一方向分布于滑轨的两侧。这样，通过限位板可以将支架上的滑块限制在安装座上的滑轨上，确保支架上的滑块始终在安装座上的滑轨上进行移动。
[0014]在一些实施方式中，承载台包括相连的安装板和承载板，安装板与支架转动连接，承载板在第二方向上的投影位于支架的轮廓之外。这样，通过采用平板形式的承载台，可以使得承载部分结构简单紧凑，提升机械手在堆垛机上升降的极限可达性。
[0015]在一些实施方式中，安装座上设置有拖链，拖链还与支架连接，拖链用于安装与驱动源电连接的线缆。这样，可以通过拖链固定线缆的位置，避免出现线缆凌乱以及拉扯现象。
附图说明
[0016]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0017]图1是本申请一些实施例提供的机械手的立体结构示意图；
[0018]图2是本申请一些实施例提供的机械手在另一视角下的立体结构示意图；
[0019]图3是本申请一些实施例提供的晶圆盒的立体结构示意图；
[0020]图4是本申请一些实施例提供的机械手承载有晶圆盒时的立体结构示意图。
具体实施方式
[0021]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本申请的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。
[0022]晶圆盒作为晶圆生产过程中常用的配件，在晶圆存储和转移过程中均起到重要作用。常见的晶圆盒，如前开式晶圆盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)，通常可以将较多晶圆进行集中存储。晶圆盒通常存储在立体仓库中，在需要时经过堆垛机搬运到其他区域进行使用。
[0023]但是，一些情形下，堆垛机所配备的自动伸缩货叉，以及由此形成的抱夹货叉在结构上存在同一方向上的多级导向，导致自动伸缩货叉结构复杂且整体占用空间较大。并且，自动伸缩货叉采用多动力机构实现整体的多级伸缩，在传动过程中容易出现磨损而形成灰尘。由于晶圆盒在使用过程中需要保持无尘环境，因此自动伸缩货叉无法达到半导体所需
的洁净度要求。同时，无法紧凑的利用空间来进行晶圆盒的搬运转移。
[0024]本申请一些实施例提供了一种机械手，通过采用滚轮齿条结构实现承载部分的伸缩平移。滚轮齿条结构在传动过程中保持零背隙，并且滚轮的滚销与齿条的轮齿是圆滑的滚动接触，因此在传动过程中可能产生的灰尘较少，适用于晶圆盒所处的无尘环境。同时，机械手采用转动形式的承载台实现晶圆盒的取放，可以在小空间内实现多个方向的晶圆盒的搬运。
[0025]下面结合图1至图4说明本申请一些实施例提供的用于转移晶圆盒的机械手。
[0026]如图1至图4所示，本申请的一些实施例提供的机械手包括安装座110、支架120及承载台130。安装座110设置有沿第一方向延伸的齿条111；支架120与安装座110滑动连接，支架120上设置有驱动源121，驱动源121的输出端连接有滚轮122，滚轮122的滚销与齿条111的轮齿啮合；承载台130与支架120连接并可绕垂直于第一方向的第二方向转动，承载台130用于承载晶圆盒150。
[0027]安装座110是机械手安装至堆垛机上的基础，同时也是机械手中其他部件的安装基础。通过安装座110，可以将机械手与堆垛机上的移动部位连接，以便通过堆垛机实现晶圆盒150的搬运转移。齿条111为设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手，用于转移晶圆盒，其特征在于，包括：安装座，设置有沿第一方向延伸的齿条；支架，与所述安装座滑动连接，所述支架上设置有驱动源，所述驱动源的输出端连接有滚轮，所述滚轮的滚销与所述齿条的轮齿啮合；承载台，与所述支架连接并可绕垂直于所述第一方向的第二方向转动，所述承载台用于承载所述晶圆盒。2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：还包括DD马达，所述承载台经由所述DD马达与所述支架转动连接，并在所述DD马达的带动下相对所述支架转动。3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：所述承载台上设置有多个定位销，多个所述定位销用于对所述晶圆盒进行定位。4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：所述承载台上设置有检测传感器，所述检测传感器用于检测所述承载台上是否存有所述晶圆盒。5.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于：所述安装座上设置有沿所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁林航，郑忠斌，李韩军，冯源，方剑锋，
申请(专利权)人：工业互联网创新中心上海有限公司，
类型：新型
国别省市：