一种晶圆夹持运输结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆夹持运输结构，包括翻转夹持机构和机械手，所述翻转夹持机构包括底座、支撑板、弧形夹、齿轮和螺杆；所述底座固定安装于机械手的顶部。本实用新型专利技术电动伸缩杆通过横板带动移动杆的移动对连接杆挤压，连接杆通过L形座带动弧形夹移动对晶圆固定，通过机械手将晶圆移动至清洗箱内进行清洗，当需要对晶圆的另一面进行清洗时，变频电机通过螺杆转动带动横块向上移动，横块通过齿条带动齿轮转动，转轴带动回形板转动，回形板通过两个弧形夹带动晶圆翻转至另一面，能够自动对夹持的晶圆翻转固定，提高了晶圆的清洗效率。提高了晶圆的清洗效率。提高了晶圆的清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆夹持运输结构


[0001]本技术涉及一种夹持运输结构，具体为晶圆夹持运输结构，属于晶圆


技术介绍

[0002]芯片制造涉及芯片设计、晶圆制造、晶圆加工、电性测量、切割封装和测试等工艺流程，在集成电路的生产制造过程中，晶圆经过诸如薄膜沉积、刻蚀、抛光等多道工艺制程过程中会接触大量颗粒，为了保持晶圆表面的清洁状态，消除工艺制程中留存在晶圆表面的颗粒物，必须对每道工艺制程后的晶圆进行清洗处理，通过机械手配合夹具对晶圆进行夹持运输，然后将晶圆运输至清洗箱内进行喷淋清洗。
[0003]晶圆在清洗箱内对其一面清洗完成后，需要对另一面进行清洗时，还需要工人将晶圆从夹具取下，翻转至另一面再次通过夹具固定，然后才能继续对晶圆的另一面清洗，为此，我们提出一种晶圆夹持运输结构用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术希望提供一种晶圆夹持运输结构，以解决或缓解现有技术中存在的技术问题，至少提供一种有益的选择。
[0005]本技术实施例的技术方案是这样实现的：一种晶圆夹持运输结构，包括翻转夹持机构和机械手，所述翻转夹持机构包括底座、支撑板、弧形夹、齿轮和螺杆；
[0006]所述底座固定安装于机械手的顶部，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的前侧转动连接有转轴，所述支撑板的后侧设有两个弧形夹，所述转轴的前侧固定连接有齿轮，所述齿轮的右侧啮合有齿条，所述支撑板的前侧固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部转动连接有螺杆，所述齿条的右侧固定连接有横块，所述横块螺纹套设在螺杆的外侧，所述支撑板的前侧固定连接有电机座，所述电机座的底部固定连接有变频电机。
[0007]进一步优选的，所述变频电机的输出轴端部与螺杆的顶端固定连接，所述支撑座的顶部固定连接有两个定位杆。
[0008]进一步优选的，所述横块滑动套设在两个定位杆的外侧，所述转轴的后端延伸至支撑板的后侧并固定连接有回形板。
[0009]进一步优选的，所述回形板的前侧内壁上固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出轴端部固定连接有横板。
[0010]进一步优选的，所述横板的后侧固定连接有两个移动杆，所述移动杆的后端延伸至回形板外并转动连接有连接杆，所述回形板滑动套设在两个移动杆的外侧。
[0011]进一步优选的，所述连接杆的后端转动连接有L形座，所述弧形夹与对应的L形座固定连接。
[0012]进一步优选的，所述翻转夹持机构的后侧设有复位机构，所述复位机构包括侧板、圆柱、圆杆和弹簧；
[0013]所述回形板的后侧固定连接有两个侧板，两个所述侧板相互靠近的一侧均固定连接有圆柱，两个所述L形座相互靠近的一侧内壁上均固定连接有圆杆。
[0014]进一步优选的，所述圆柱滑动套设在对应的圆杆的外侧，所述圆柱与对应的L形座之间固定连接有同一个活动套设在圆杆外侧的弹簧。
[0015]本技术实施例由于采用以上技术方案，其具有以下优点：
[0016]本技术电动伸缩杆通过横板带动移动杆的移动对连接杆挤压，连接杆通过L形座带动弧形夹移动对晶圆固定，通过机械手将晶圆移动至清洗箱内进行清洗，当需要对晶圆的另一面进行清洗时，变频电机通过螺杆转动带动横块向上移动，横块通过齿条带动齿轮转动，转轴带动回形板转动，回形板通过两个弧形夹带动晶圆翻转至另一面，能够自动对夹持的晶圆翻转固定，提高了晶圆的清洗效率。
[0017]上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本技术进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术的主视立体结构图；
[0020]图2为本技术的左视立体结构图；
[0021]图3为本技术的后视立体结构图；
[0022]图4为图1的A区结构放大图；
[0023]图5为图3的B区结构放大图。
[0024]附图标记：1、翻转夹持机构；2、底座；3、机械手；4、支撑板；5、转轴；6、弧形夹；7、齿轮；8、齿条；9、支撑座；10、螺杆；11、横块；12、电机座；13、变频电机；14、定位杆；15、回形板；16、电动伸缩杆；17、横板；18、移动杆；19、连接杆；20、L形座；21、复位机构；22、侧板；23、圆柱；24、圆杆；25、弹簧。
具体实施方式
[0025]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0026]下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明。
[0027]如图1
‑
5所示，本技术实施例提供了一种晶圆夹持运输结构，包括翻转夹持机构1和机械手3，翻转夹持机构1包括底座2、支撑板4、弧形夹6、齿轮7和螺杆10；
[0028]底座2固定安装于机械手3的顶部，底座2的顶部固定连接有支撑板4，支撑板4的前侧转动连接有转轴5，支撑板4的后侧设有两个弧形夹6，转轴5的前侧固定连接有齿轮7，齿轮7的右侧啮合有齿条8，支撑板4的前侧固定连接有支撑座9，支撑座9的顶部转动连接有螺
杆10，齿条8的右侧固定连接有横块11，横块11螺纹套设在螺杆10的外侧，支撑板4的前侧固定连接有电机座12，电机座12的底部固定连接有变频电机13，变频电机13的输出轴端部与螺杆10的顶端固定连接，支撑座9的顶部固定连接有两个定位杆14，横块11滑动套设在两个定位杆14的外侧，转轴5的后端延伸至支撑板4的后侧并固定连接有回形板15，变频电机13工作带动螺杆10转动，螺杆10转动带动横块11向上移动，横块11在两个定位杆14的外侧滑动，横块11带动齿条8移动。
[0029]在一个实施例中，回形板15的前侧内壁上固定连接有电动伸缩杆16，电动伸缩杆16的输出轴端部固定连接有横板17，横板17的后侧固定连接有两个移动杆18，移动杆18的后端延伸至回形板15外并转动连接有连接杆19，回形板15滑动套设在两个移动杆18的外侧，连接杆19的后端转动连接有L形座20，弧形夹6与对应的L形座20固定连接，电动伸缩杆16工作带动横板17向后移动，横板17带动两个移动杆18移动，移动杆18在移动的过程中对连接杆19进行挤压，在挤压力的作用下，连接杆19移动并转动，连接杆19带动对应的L形座20移动。
[0030]在一个实施例中，翻转夹持机构1的后侧设有复位机构21，复位机构21包括侧板22、圆柱23、圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持运输结构，包括翻转夹持机构（1）和机械手（3），其特征在于：所述翻转夹持机构（1）包括底座（2）、支撑板（4）、弧形夹（6）、齿轮（7）和螺杆（10）；所述底座（2）固定安装于机械手（3）的顶部，所述底座（2）的顶部固定连接有支撑板（4），所述支撑板（4）的前侧转动连接有转轴（5），所述支撑板（4）的后侧设有两个弧形夹（6），所述转轴（5）的前侧固定连接有齿轮（7），所述齿轮（7）的右侧啮合有齿条（8），所述支撑板（4）的前侧固定连接有支撑座（9），所述支撑座（9）的顶部转动连接有螺杆（10），所述齿条（8）的右侧固定连接有横块（11），所述横块（11）螺纹套设在螺杆（10）的外侧，所述支撑板（4）的前侧固定连接有电机座（12），所述电机座（12）的底部固定连接有变频电机（13）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持运输结构，其特征在于：所述变频电机（13）的输出轴端部与螺杆（10）的顶端固定连接，所述支撑座（9）的顶部固定连接有两个定位杆（14）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆夹持运输结构，其特征在于：所述横块（11）滑动套设在两个定位杆（14）的外侧，所述转轴（5）的后端延伸至支撑板（4）的后侧并固定连接有回形板（15）。4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持运输结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：何平，朱洪波，
申请(专利权)人：苏州航菱微精密组件有限公司，
类型：新型
国别省市：