一种多线切割机用切削液导流装置及多线切割机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多线切割机用切削液导流装置及多线切割机，切削液导流装置包括：导流板组件，安装在引流板组件上方的防水层，传动机构，用于检测多线切割机中钢线的位置的位置传感器，以及用于根据位置传感器的检测值控制传动机构工作的控制器；导流板组件包括固定部和活动部，固定部用于与工作台夹持装置连接，活动部形成有用于收集多余切削液的V型引流槽，活动部可绕固定部转动，引流槽角度可变；传动机构安装在固定部的底部，用于带动活动部动作，以改变引流槽的位置和角度。本实用新型专利技术能够根据切割深度的变化调整接收砂浆的角度，以将多余的砂浆及时、更大程度的收集、引流出去，减少对晶片的冲击，减少裂片的出现。减少裂片的出现。减少裂片的出现。

【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机用切削液导流装置及多线切割机


[0001]本技术涉及多线切割机
，尤其是涉及一种多线切割机用切削液导流装置以及包含该导流装置的多线切割机。

技术介绍

[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。目前，数控多线切割机因具有效率高，产能高，精度高等优点，已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。
[0003]现有国内外多线切割机主要包括工作台夹持装置，安装在工作台夹持装置上用于固定晶棒的树脂板，两个对称布置在工作台夹持装置两侧的砂浆喷嘴组件，两个对称布置在工作台夹持装置两侧位于砂浆喷嘴组件下方的导轮，以及两个对称布置在工作台夹持装置两侧位于导轮下方的收放线轮，同侧的导轮和收放线轮之间布置有导向滑轮组，两个导轮上环绕有钢线，钢线的两端分别穿过导向滑轮组后缠绕在两个收放线轮上。切割时，通过钢线的高速往复运动，把砂浆磨料带入晶棒加工区域进行研磨，并将晶棒一次同时切割为数百片薄的晶片，即圆柱状的晶棒将随着切割深度的变化逐渐被分割开变为晶片状态。在切割晶棒过程中，高速运动的钢线会将大流量的砂浆带起，多余的砂浆会冲击晶片。在切割前期，由于切割深度小，剩余晶体面积较大，强度较大，砂浆的冲击力破坏性不强。但随着切割深度加大，晶棒大面积变为晶片(厚度为0.87MM)总体强度会减弱，砂浆的冲击力会迫使晶片震动，晶棒两端的晶片无任何保护，在震动较大的情况下会发生断裂的情况。
[0004]为了解决上述问题，于2020年5月19日公开的公开号为CN 210552236U的专利中公开了一种晶棒切割切削液导流工装，包括一体成型的平面导流板和弧形分流槽，安装在工作台夹持装置的两端，希望通过弧形分流槽将切割过程中多余的切削液导流出去，避免堆积在晶棒上对晶棒切片造成很大的冲击力，免裂片的发生。但在实际使用过程中，由于切割深度发生变化时砂浆的流向也会随之发生变化，而弧形分流槽的形状和尺寸是固定的，在此种情况下，大部分的砂浆无法被导流出去，仍然会对晶片造成冲击，裂片情况仍然存在。因此，急需一种能够更好的将多余的砂浆排出的多线切割机用切削液导流装置。

技术实现思路

[0005]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种多线切割机用切削液导流装置，能够根据切割深度的变化调整接收砂浆的角度，以将多余的砂浆及时、更大程度的引流出去，减少对晶片的冲击，减少裂片的出现。
[0006]本技术还提出一种具有上述切削液导流装置的多线切割机。
[0007]根据本技术实施例的多线切割机用切削液导流装置，安装在多线切割机中工作台夹持装置两端，包括：导流板组件，所述导流板组件包括固定部和活动部，所述固定部用于与工作台夹持装置连接，所述活动部形成有用于收集多余切削液的V型引流槽，所述活
动部可绕所述固定部转动，所述引流槽角度可变；防水层，所述防水层安装在所述导流板组件的上方；传动机构，所述传动机构安装在所述固定部的底部，用于带动所述活动部动作，以改变所述引流槽的位置和角度；位置传感器，所述位置传感器用于检测多线切割机中钢线的位置；控制器，所述控制器与所述位置传感器、所述传动机构连接，所述控制器用于根据所述位置传感器的检测值控制所述传动机构工作。
[0008]根据本技术多线切割机用切削液导流装置，位置传感器可实时检测到多线切割机中钢线的所处位置，并将所检测的位置信息传送给控制器，控制器将其与预设值进行比较后，向传动机构发送信号，控制传送机构工作，从而带动活动部形成的引流槽向靠近或远离晶棒的方向移动，从而实现根据切割深度的变化调整接收砂浆的角度，以将多余的砂浆及时、更大程度的引流出去，减少对晶片的冲击，减少裂片的出现。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述导流板组件包括依次布置的第一导流板、第二导流板和第三导流板，所述第一导流板为所述固定部，所述第二导流板和第三导流板为所述活动部，所述第二导流板的两端分别与所述第一导流板、所述第三导流板铰接；所述第一导流板水平安装在工作台夹持装置上；所述第二导流板与所述第三导流板围成的空间形成所述引流槽。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述传动机构包括：第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆布置在所述第一导流板与所述第二导流板之间，所述第一电动伸缩杆的一端与所述第一导流板的下表面铰接，所述第一电动伸缩杆的另一端与所述第二导流板的下表面靠近所述第一导流板的一侧铰接；第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆布置在所述第二导流板与所述第三导流板之间，所述第二电动伸缩杆的一端与所述第二导流板的下表面远离所述第一导流板的一侧铰接，所述第二电动伸缩杆的另一端与所述第二导流板的上表面伸至所述第二导流板底部的位置铰接；所述第一电动伸缩杆、所述第二电动伸缩杆与所述控制器连接。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述传动机构包括两个对称布置在所述第一导流板底部的传动组件和驱动传动组件工作的动力机构，所述传动组件包括：安装座，所述安装座安装在所述第一导流板上；直连杆，所述直连杆靠近所述安装座的端部与所述安装座铰接；第一导向杆，所述第一导向杆靠近所述安装座的端部与所述安装座铰接，所述第一导向杆远离所述安装座的端部设有主动齿轮；第二导向杆，所述第二导向杆的一端设有与所述主动齿轮相啮合的从动齿轮；曲型连杆，所述曲型连杆的一端与所述直连杆远离所述安装座的端部铰接，所述曲型连杆的中部与所述主动齿轮铰接，所述曲型连杆的另一端与所述从动齿轮铰接；所述第二导流板安装在两个所述第一导向杆上；所述第三导流板安装在两个所述第二导向杆上；所述动力机构与所述第一导向杆连接，以带动所述第一导向杆绕所述第一导向杆与所述安装座之间的铰接点转动。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述动力机构包括：伺服电机，所述伺服电机为双向伺服电机，安装在所述第一导流板的底部；主动伞齿轮，所述主动伞齿轮安装在所述伺服电机的输出端；驱动轴，所述驱动轴的两端分别与两个所述第一导向杆连接；从动伞齿轮，所述从动伞齿轮安装在所述驱动轴上，并与所述主动伞齿轮相啮合。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述第三导流板为弧形板。
[0014]在本技术的一些实施例中，还包括流量传感器，所述流量传感器安装在所述
导流板组件靠近晶棒的端部，用于检测切削液的流量；所述流量传感器与控制器连接。
[0015]根据本技术实施例的多线切割机，包括：切片装置，所述切片装置上设置有用于夹持晶棒的工作台夹持装置；导流装置，所述导流装置有两个，对称安装在工作台夹持装置的两侧，所述导流装置为上述多线切割机用切削液导流装置。
[0016]根据本技术实施例的多线切割机，通过设置上述切削液导流装置，可根据切割深度的变化调整接收砂浆的角度，以将多余的砂浆及时、更大程度的引流出去，减少对晶片的冲击，减少裂片的出现；有利于整个切割过程的顺利进行，提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多线切割机用切削液导流装置，安装在多线切割机中工作台夹持装置两端，其特征在于，包括：导流板组件，所述导流板组件包括固定部和活动部，所述固定部用于与工作台夹持装置连接，所述活动部形成有用于收集多余切削液的V型引流槽，所述活动部可绕所述固定部转动，所述引流槽角度可变；防水层，所述防水层安装在所述导流板组件的上方；传动机构，所述传动机构安装在所述固定部的底部，用于带动所述活动部动作，以改变所述引流槽的位置和角度；位置传感器，所述位置传感器用于检测多线切割机中钢线的位置；控制器，所述控制器与所述位置传感器、所述传动机构连接，所述控制器用于根据所述位置传感器的检测值控制所述传动机构工作。2.根据权利要求1所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述导流板组件包括依次布置的第一导流板、第二导流板和第三导流板，所述第一导流板为所述固定部，所述第二导流板和第三导流板为所述活动部，所述第二导流板的两端分别与所述第一导流板、所述第三导流板铰接；所述第一导流板水平安装在工作台夹持装置上；所述第二导流板与所述第三导流板围成的空间形成所述引流槽。3.根据权利要求2所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述传动机构包括：第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆布置在所述第一导流板与所述第二导流板之间，所述第一电动伸缩杆的一端与所述第一导流板的下表面铰接，所述第一电动伸缩杆的另一端与所述第二导流板的下表面靠近所述第一导流板的一侧铰接；第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆布置在所述第二导流板与所述第三导流板之间，所述第二电动伸缩杆的一端与所述第二导流板的下表面远离所述第一导流板的一侧铰接，所述第二电动伸缩杆的另一端与所述第二导流板的上表面伸至所述第二导流板底部的位置铰接；所述第一电动伸缩杆、所述第二电动伸缩杆与所述控制器连接。4.根据权利要求2所述的一种多线切割机用切削液导流装...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏聪，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：