一种晶圆片水平式出货箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆片水平式出货箱，包括出货箱，还包括缓冲机构，所述缓冲机构由半台A、通孔、螺栓、基板、半台B、螺孔、侧胶台和缓冲垫构成，所述出货箱的可装载晶圆片的箱体宽边处热熔粘接有半台A，且半台A表面开设有供螺栓的栓体穿过并向半台B表面螺孔内旋入的通孔，所述半台B的平台边对称热熔粘接于基板的两端宽边板体处，且基板的两侧长边板体处粘接有可以对向夹在出货箱长箱壁表面的侧胶台，在出货箱的底端设置有缓冲机构，借助缓冲机构在出货箱出的设置，使得晶圆片的水平式出货用出货箱存在底部缓冲性的结构，有效防止了装在晶圆片的出货箱坠落地面时对晶圆片造成冲击力损伤。力损伤。力损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片水平式出货箱


[0001]本技术涉及晶圆片出货箱
，特别涉及一种晶圆片水平式出货箱。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]专利号CN202123251007.5公开了一种晶圆片的氮气盛放箱，包括箱体，所述箱体内部的两侧之间横向设置有托板，所述箱体的一侧安装有氮气发生器，所述氮气发生器的顶端和箱体一侧的顶端之间固定连接有导管，所述托板的顶端设置有便于拿取物料结构。该晶圆片的氮气盛放箱通过设置有物料架板、内槽、转辊和橡胶皮带，使用时，将晶圆片打包好后一一嵌入支架中，并将支架摆放在物料架板上，物料架板上的三组橡胶皮带划分了三组摆放区域，当需要拿取对应橡胶皮带上的晶圆片组时，只需抓住支架向外拖动，转辊旋转，橡胶皮带向外滚动，减少了使用者拿取时花费的力气，实现了便于拿取物料的功能，解决的是装置不具备便于拿取物料的功能的问题。
[0004]目前晶圆片在切片后会收集在出货箱内并送入氮气柜的柜腔内进行保存，当晶圆片需要从氮气柜内取出受，人工会从氮气柜内水平式外拉出货箱进行晶圆片的取出，当技术人员抱着出货箱发生意外坠落时，出货箱的硬质箱体坠落地面产生较大的冲击力传递给晶圆片，从而使晶圆片受到损伤，为此，我们提出一种晶圆片水平式出货箱。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种晶圆片水平式出货箱，在出货箱的底端设置有缓冲机构，借助缓冲机构在出货箱出的设置，使得晶圆片的水平式出货用出货箱存在底部缓冲性的结构，有效防止了装在晶圆片的出货箱坠落地面时对晶圆片造成冲击力损伤，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种晶圆片水平式出货箱，包括出货箱，还包括缓冲机构，所述缓冲机构由半台A、通孔、螺栓、基板、半台B、螺孔、侧胶台和缓冲垫构成，所述出货箱的可装载晶圆片的箱体宽边处热熔粘接有半台A，且半台A表面开设有供螺栓的栓体穿过并向半台B表面螺孔内旋入的通孔，所述半台B的平台边对称热熔粘接于基板的两端宽边板体处，且基板的两侧长边板体处粘接有可以对向夹在出货箱长箱壁表面的侧胶台，且侧胶台之间的基板表面粘接有可以软性托接出货箱提供吸能缓冲的多孔的缓冲垫。
[0008]进一步地，所述出货箱的两侧长边箱壁处一体成型有可以被手指卡入进行箱体抬起的L形条柄；人工从氮气柜中水平式拉出装载有晶圆片的出货箱后，手指可以放入L形条柄处进行出货箱的抬起搬运出货。
[0009]进一步地，所述出货箱的内箱壁处排列粘接有可以软性分隔晶圆片进行分隔存放
的隔板；出货箱内有隔板形成分隔空间可以进行晶圆片的分隔装载。
[0010]进一步地，所述通孔的孔体内径尺寸大于螺栓的栓体直径尺寸并小于螺栓的头部尺寸；螺栓的栓体轻松穿过通孔后其头部可以挡在通孔上方不易通过。
[0011]进一步地，所述缓冲垫的垫体为蜂巢式多孔隙弹性垫体；蜂巢式多孔隙弹性垫体的缓冲垫可以弹性变形借助孔隙的变形进行吸能缓解冲击力。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]本技术通过在出货箱的底端设置有缓冲机构，借助缓冲机构在出货箱出的设置，使得晶圆片的水平式出货用出货箱存在底部缓冲性的结构，有效防止了装在晶圆片的出货箱坠落地面时对晶圆片造成冲击力损伤。
附图说明
[0014]图1为本技术一种晶圆片水平式出货箱的整体结构示意图。
[0015]图2为本技术一种晶圆片水平式出货箱的缓冲机构爆炸图。
[0016]图中：1、出货箱；2、缓冲机构；201、半台A；202、通孔；203、螺栓；204、基板；205、半台B；206、螺孔；207、侧胶台；208、缓冲垫；3、L形条柄；4、隔板。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]如图1
‑
2所示，一种晶圆片水平式出货箱，包括出货箱1，还包括缓冲机构2，所述缓冲机构2由半台A201、通孔202、螺栓203、基板204、半台B205、螺孔206、侧胶台207和缓冲垫208构成，所述出货箱1的可装载晶圆片的箱体宽边处热熔粘接有半台A201，且半台A201表面开设有供螺栓203的栓体穿过并向半台B205表面螺孔206内旋入的通孔202，所述半台B205的平台边对称热熔粘接于基板204的两端宽边板体处，且基板204的两侧长边板体处粘接有可以对向夹在出货箱1长箱壁表面的侧胶台207，且侧胶台207之间的基板204表面粘接有可以软性托接出货箱1提供吸能缓冲的多孔的缓冲垫208。
[0019]其中，所述出货箱1的两侧长边箱壁处一体成型有可以被手指卡入进行箱体抬起的L形条柄3；人工从氮气柜中水平式拉出装载有晶圆片的出货箱1后，手指可以放入L形条柄3处进行出货箱1的抬起搬运出货。
[0020]其中，所述出货箱1的内箱壁处排列粘接有可以软性分隔晶圆片进行分隔存放的隔板4；出货箱1内有隔板4形成分隔空间可以进行晶圆片的分隔装载。
[0021]其中，所述通孔202的孔体内径尺寸大于螺栓203的栓体直径尺寸并小于螺栓203的头部尺寸；螺栓203的栓体轻松穿过通孔202后其头部可以挡在通孔202上方不易通过；所述缓冲垫208的垫体为蜂巢式多孔隙弹性垫体；蜂巢式多孔隙弹性垫体的缓冲垫208可以弹性变形借助孔隙的变形进行吸能缓解冲击力。
[0022]需要说明的是，本技术为一种晶圆片水平式出货箱，缓冲机构2的半台A201在出货箱1处热熔粘接固定后，出货箱1的底端箱体可以压在基板204表面的缓冲垫208表面，此时基板204的长边板体处有侧胶台207软性对夹出货箱1，然后使用螺栓203的栓体从半台A201的通孔202处穿过并旋入基板204宽边板体两端半台B205的螺孔206处，使得基板204借
助螺栓203挂在半台A201处，当装有晶圆片的出货箱1从氮气柜中水平式抽出发生掉落时，基板204代替出货箱1接触撞击地面，此时螺栓203的栓体可以在通孔202处作伸缩运动，而基板204撞击时产生的撞击力经过受压的缓冲垫208传动时，蜂巢式多孔隙弹性垫体的缓冲垫208可以弹性变形借助孔隙的变形进行吸能缓解冲击力，从而缓冲出货箱1坠落时内部晶圆片受到的冲击力，同时侧胶台207软性接触地面可以阻止出货箱1的长边箱体侧向倾倒。
[0023]需要说明的是，本技术为一种晶圆片水平式出货箱，包括1、出货箱；2、缓冲机构；201、半台A；202、通孔；203、螺栓；204、基板；205、半台B；206、螺孔；207、侧胶台；208、缓冲垫；3、L形条柄；4、隔板，部件均为通用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片水平式出货箱，包括出货箱(1)，其特征在于：还包括缓冲机构(2)，所述缓冲机构(2)由半台A(201)、通孔(202)、螺栓(203)、基板(204)、半台B(205)、螺孔(206)、侧胶台(207)和缓冲垫(208)构成，所述出货箱(1)的可装载晶圆片的箱体宽边处热熔粘接有半台A(201)，且半台A(201)表面开设有供螺栓(203)的栓体穿过并向半台B(205)表面螺孔(206)内旋入的通孔(202)，所述半台B(205)的平台边对称热熔粘接于基板(204)的两端宽边板体处，且基板(204)的两侧长边板体处粘接有可以对向夹在出货箱(1)长箱壁表面的侧胶台(207)，且侧胶台(207)之间的基板(204)表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪巧水，粘怡达，孟余红，
申请(专利权)人：荣耀半导体材料嘉善有限公司，
类型：新型
国别省市：