【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆承载设备，尤其是涉及一种收纳装置。
技术介绍
1、现阶段晶圆收纳箱中的限位结构包括箱体内侧壁上形成的限位凸起以及封门朝向箱体内部的一侧上形成的对位槽，通过限位凸起能够对承载架进行限位，而通过对位槽能够对晶圆的侧部进行限位，从而避免晶圆的移动。但由于承载架存在一定的加工误差，而封门的位置固定，一旦承载架在箱体内的位置产生改变，则会使晶圆无法准确的与对位槽相对位，影响晶圆的稳定性。
2、因此，急需提供一种收纳装置，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种收纳装置，以在一定程度上优化收纳装置结构，使晶圆承载架在竖直方向上的位置可调，提高晶圆放置的稳定性和安全性。
2、本技术提供的一种收纳装置，包括底板、收纳箱、承载架以及调节构件；所述底板上形成有支撑部，所述收纳箱与所述支撑部相连接，所述承载架设置于所述收纳箱内，所述调节构件沿竖直方向延伸，且所述调节构件的一端穿过所述支撑部和所述收纳箱与所述承载架相连接，以使所述承载架在所述收纳箱内能够沿竖直方向往复运动。
3、其中，所述承载架包括架体和导向部，所述导向部的一端与所述架体相连接，另一端与所述收纳箱的底部相接触，所述调节构件的一端伸入所述导向部，且与所述导向部滑动连接。
4、具体地，所述调节构件包括旋拧部和螺纹部，所述螺纹部沿竖直方向延伸，所述底板形成有安装槽，所述旋拧部设置于所述安装槽内，且所述调节构件与所述底板转动连接；所述导向部内
5、具体地，所述支撑部内形成有容纳槽，所述导向部能够在所述容纳槽内沿竖直方向往复运动。
6、其中，本技术提供的收纳装置，还包括密封件，所述密封件套设于所述导向部上，且所述密封件的外环能够与所述容纳槽的内壁面相抵接。
7、具体地，所述架体远离所述导向部的一端形成有限位部；所述收纳箱对应所述限位部的位置形成有限位槽，所述限位槽沿竖直方向延伸，所述导向部能够跟随架体在所述限位槽内移动。
8、进一步地，所述限位部的数量为多个，且多个所述限位部沿所述架体的周向间隔设置；所述限位槽与所述限位部一一对应设置。
9、更进一步地，所述收纳箱包括箱体和箱门，所述箱体的一侧形成有敞口部，所述箱门与所述箱体转动连接，且能够封闭或开启所述敞口部。
10、相对于现有技术，本技术提供的收纳装置具有以下优势：
11、本技术提供的收纳装置，包括底板、收纳箱、承载架以及调节构件；底板上形成有支撑部，收纳箱与支撑部相连接，承载架设置于收纳箱内，调节构件沿竖直方向延伸，且调节构件的一端穿过支撑部和收纳箱与承载架相连接，以使承载架在收纳箱内能够沿竖直方向往复运动。
12、由此分析可知，通过底板能够为收纳箱提供稳定的放置空间，而通过使调节构件的一端穿过底板和支撑部，并与承载架相连接，从而能够通过调节构件实现承载架在收纳箱内沿竖直方向的往复运动，进而当承载架存在尺寸误差时，能够通过调节构件调节承载架在竖直空间上的位置，以保证承载架上承载的晶圆能够准确的与箱门上的对位槽相对应，从而避免因承载架尺寸误差导致晶圆与箱门上的对位槽无法准确对位，导致晶圆磕损的问题。
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1.一种收纳装置，其特征在于，包括底板、收纳箱、承载架以及调节构件；
2.根据权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，所述承载架包括架体和导向部，所述导向部的一端与所述架体相连接，另一端与所述收纳箱的底部相接触，所述调节构件的一端伸入所述导向部，且与所述导向部滑动连接。
3.根据权利要求2所述的收纳装置，其特征在于，所述调节构件包括旋拧部和螺纹部，所述螺纹部沿竖直方向延伸，所述底板形成有安装槽，所述旋拧部设置于所述安装槽内，且所述调节构件与所述底板转动连接；
4.根据权利要求2所述的收纳装置，其特征在于，所述支撑部内形成有容纳槽，所述导向部能够在所述容纳槽内沿竖直方向往复运动。
5.根据权利要求4所述的收纳装置，其特征在于，还包括密封件，所述密封件套设于所述导向部上，且所述密封件的外环能够与所述容纳槽的内壁面相抵接。
6.根据权利要求2所述的收纳装置，其特征在于，所述架体远离所述导向部的一端形成有限位部；
7.根据权利要求6所述的收纳装置，其特征在于，所述限位部的数量为多个，且多个所述限位部沿所述架体的周向间隔
8.根据权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，所述收纳箱包括箱体和箱门，所述箱体的一侧形成有敞口部，所述箱门与所述箱体转动连接，且能够封闭或开启所述敞口部。
...【技术特征摘要】
1.一种收纳装置，其特征在于，包括底板、收纳箱、承载架以及调节构件；
2.根据权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，所述承载架包括架体和导向部，所述导向部的一端与所述架体相连接，另一端与所述收纳箱的底部相接触，所述调节构件的一端伸入所述导向部，且与所述导向部滑动连接。
3.根据权利要求2所述的收纳装置，其特征在于，所述调节构件包括旋拧部和螺纹部，所述螺纹部沿竖直方向延伸，所述底板形成有安装槽，所述旋拧部设置于所述安装槽内，且所述调节构件与所述底板转动连接；
4.根据权利要求2所述的收纳装置，其特征在于，所述支撑部内形成有容纳槽，所述导向部能够在...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪巧水，长野博幸，邬友权，
申请(专利权)人：荣耀半导体材料嘉善有限公司，
类型：新型
国别省市：
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