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本技术提供的一种收纳装置，涉及晶圆承载设备技术领域，以在一定程度上优化收纳装置结构，使晶圆承载架在竖直方向上的位置可调，提高晶圆放置的稳定性和安全性。本技术提供的收纳装置,包括底板、收纳箱、承载架以及调节构件；底板上形成有支撑部，收纳箱与支...
该专利属于荣耀半导体材料（嘉善）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荣耀半导体材料（嘉善）有限公司授权不得商用。

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