致动器和流体控制装置制造方法及图纸

致动器(11)具备框体(22)、中央平板(21)和连结构件(23)。框体(22)具有正方形的开口。中央平板(21)配置于正方形的开口的内部，安装有驱动体(30)，且为圆形。连结构件(23)配置于正方形的开口的内部的中央平板(21)与框体(22)之间，并将它们连结。连结构件(23)具备第1部分(231)和第2部分(232)。第1部分(231)是以从中央平板(21)的中心朝向外侧的放射方向(r)延伸的形状，并与中央平板(21)和第2部分(232)连接。第2部分(232)是向与第1部分(231)不同的方向延伸的形状。第2部分(232)的延伸方向的两端与由正方形的开口形成的框体(22)中的内周端的多个边中的不同的边连接。的多个边中的不同的边连接。的多个边中的不同的边连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器和流体控制装置


[0001]本专利技术涉及具备通过压电元件等驱动体使平板振动的构造的致动器。

技术介绍

[0002]专利文献1公开一种泵。专利文献1的泵具备振动板、框体和连结部。框体包围振动板而配置，通过连结部，与振动板的外缘连接。振动板与框体之间的除连结部以外的部分为空隙，连结部为梁形状。由此，连结部将振动板支承为相对于框体而能够振动。即，通过振动板、框体和连结部，实现致动器。
[0003]连结部具有第1部分、第2部分和第3部分。
[0004]第1部分是以放射方向(从振动板的中心朝向振动板的外侧的方向)延伸的形状。第1部分的延伸方向一端与振动板的外周连接。第1部分的延伸方向另一端与第2部分连接。
[0005]第2部分是沿着振动板的外周延伸的形状。第2部分的延伸方向上的大致中央与第1部分连接，延伸方向的两端经由上述以放射方向延伸的第3部分而与框体连接。
[0006]专利文献1：国际公开第2012/140967号
[0007]然而，在专利文献1所示那样的现有的结构中，空隙窄，因此，制造不容易。此时，若不使泵大型化就切实地设置空隙，则导致第2部分的宽度变窄。因此，难以确保连结部所需的刚性，存在可靠性降低的可能性。

技术实现思路

[0008]因此，本专利技术的目的在于实现容易确保连结部所需的刚性且容易小型化的致动器。
[0009]本专利技术的致动器具备框体、第1平板和多个连结构件。框体具有多边形的开口。第1平板配置于开口的内部，安装有驱动体，且为圆形。多个连结构件配置于开口的内部的第1平板与框体之间，残留开口的局部而连结第1平板的外周端与框体。连结构件具备第1部分和第2部分。第1部分是以第1平板的外周端作为一端而向远离第1平板的方向延伸的形状，且延伸方向的一端与外周端连接，延伸方向的另一端与第2部分连接。第2部分是向与第1部分不同的方向延伸的形状。第2部分的延伸方向的两端与由多边形的开口形成的框体中的内周端的多个边中的不同的边连接。
[0010]在该结构中，能够不使外形形状变大就使连结构件与框体之间的开口(空隙)变大。而且，通过使开口(空隙)较大，抑制在连结构件形成时第2部分的宽度变窄这种情况。
[0011]根据本专利技术，能够实现容易确保连结部所需的刚性且容易小型化的致动器。
附图说明
[0012]图1是包含第1实施方式所涉及的致动器11的流体控制装置10的分解立体图。
[0013]图2的(A)是第1实施方式所涉及的致动器11的俯视图，图2的(B)是其A
‑
A剖视图。
[0014]图3是现有结构的致动器的俯视图。
[0015]图4是第2实施方式所涉及的致动器的俯视图。
[0016]图5是第3实施方式所涉及的致动器的俯视图。
[0017]图6是第4实施方式所涉及的致动器的俯视图。
具体实施方式
[0018](第1实施方式)
[0019]参照附图对本专利技术的第1实施方式所涉及的致动器和流体控制装置进行说明。图1是包含第1实施方式所涉及的致动器11的流体控制装置10的分解立体图。图2的(A)是第1实施方式所涉及的致动器11的俯视图，图2的(B)是其A
‑
A剖视图。图3是现有结构的致动器的俯视图。图2的(A)、图3中，省略驱动体的记载。此外，各图中，为了容易理解致动器11和流体控制装置10的结构，将各个结构要素的形状局部或者整体夸张地记载。
[0020](致动器11的结构)
[0021]如图1、图2的(A)、图2的(B)所示，致动器11具备平板构件20和驱动体30。驱动体30例如为压电元件，且安装于平板构件20。更具体而言，驱动体30安装于详细结构将后述的平板构件20的中央平板21的主面201。
[0022](平板构件20的结构)
[0023]平板构件20由金属板等构成，并具有主面201和主面202。平板构件20具备中央平板21、框体22和多个连结构件23。中央平板21、框体22和多个连结构件23例如使用1个平板而一体地形成。
[0024]中央平板21为平板，中央平板21的俯视形状(在厚度方向(z轴方向)上观察的形状)为圆形。如上述那样，在中央平板21的主面201安装有驱动体30。中央平板21与本专利技术的“第1平板”对应。
[0025]框体22为平板，框体22的俯视形状为正方形。在框体22形成有开口。开口在厚度方向(z轴方向)上贯通构成框体22的平板。俯视时，开口为正方形。开口的形状是框体22的外形的相似形状，框体22的中心与开口的中心对齐。框体22的角部C20和开口的角部C24中的接近那组(角部)相对于该中心而处于相同的方向。通过设置这样的开口，框体22具备四个内周端221、222、223、224。内周端221与内周端223平行，内周端222与内周端224平行，内周端221和内周端223与内周端222和内周端224正交。内周端221的一端与内周端222的一端连接，内周端222的另一端与内周端223的一端连接，内周端223的另一端与内周端224的一端连接，内周端224的另一端与内周端221的另一端连接。上述内周端的连接部成为上述的开口的角部C24。
[0026]在框体22的开口的内部配置有中央平板21。此时，开口的中心与中央平板21的中心o21对齐。中央平板21的面积小于框体22的开口的面积，由此即便在框体22的开口的内部配置中央平板21，也在中央平板21的外周端与框体22之间残留开口。
[0027]多个连结构件23分别为梁形状。多个连结构件23配置于中央平板21与框体之间的开口。多个连结构件23沿着中央平板21的外周相互隔开间隔配置。
[0028]通过该结构，中央平板21经由多个连结构件23以相对于框体22能够弯曲振动的状态受到支承。
[0029](连结构件23的更具体的结构)
[0030]多个连结构件23分别具备第1部分231、第2部分232和第3部分233。第1部分231是沿着放射方向r延伸的形状。如图2的(B)所示，放射方向r是从中央平板21的中心o21朝向外侧的方向。第2部分232是沿着中央平板21的外周延伸的圆弧状。第3部分233是沿着放射方向r延伸的形状。
[0031]第1部分231的延伸方向的一端与中央平板21的外周端连接。第1部分231的延伸方向的另一端与第2部分232的延伸方向的大致中央连接。第2部分232的延伸方向的两端经由第3部分233而分别与不同的内周端连接。
[0032]具体而言，1个第2部分232的一端与内周端221连接，另一端与内周端222连接。1个第2部分232的一端与内周端222连接，另一端与内周端223连接。1个第2部分232的一端与内周端223连接，另一端与内周端224连接。1个第2部分232的一端与内周端224连接，另一端与内周端221连接。
[0033]根据这样的结构，多个连结构件23具有构成为包含比第2部分232靠中央平板21本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种致动器，其特征在于，具备：框体，其具有多边形的开口；圆形的第1平板，其配置于所述开口的内部，并安装有驱动体；以及多个连结构件，其配置于所述开口的内部的所述第1平板与所述框体之间，残留所述开口的局部而连结所述第1平板的外周端与所述框体，所述连结构件具备第1部分和第2部分，所述第1部分是以所述第1平板的外周端作为一端而向远离所述第1平板的方向延伸的形状，且延伸方向的一端与所述外周端连接，所述延伸方向的另一端与所述第2部分连接，所述第2部分是向与所述第1部分不同的方向延伸的形状，所述第2部分的延伸方向的两端与由所述多边形的开口形成的所述框体中的内周端的多个边中的不同的边连接。2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述开口为正多边形。3.根据权利要求2所述的致动...

【专利技术属性】
技术研发人员：川端友德，田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：