本发明专利技术涉及一种包括开口闸门的化学制剂自动供应装置，包括：隔门，在保持部安装软管的状态下将化学制剂自动供应装置的内部与外部隔绝，并且由设置在框架的开关门及隔绝部构成；开关门对于框架进行转动或者移动，进而开关框架的一侧部；软管开口，在开关门关闭的状态下贯通软管；及开口闸门，位于隔门，并且开关软管开口；其中，所述开口闸门包括开口盖部及开关操作部，所述开关操作部操作开口盖的开关，进而可保障轻松且可靠地进行开关。进而可保障轻松且可靠地进行开关。进而可保障轻松且可靠地进行开关。
【技术实现步骤摘要】
具有开口闸门的化学制剂自动供应装置
[0001]本专利技术涉及化学制剂自动供应装置，尤其是，涉及具有开关软管开口的开口闸门的化学制剂自动供应装置。
技术介绍
[0002]通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。
[0003]这种化学制剂通过如下的方式输送：从停在建筑外部的液罐车(tank lorry)的化学制剂槽罐向设置在建筑内部的化学制剂储罐(chemical storage tank)输送化学制剂，之后从化学制剂储罐向进行单位工艺的腔室输送。另外，与此相反地，也存在从化学制剂槽罐向液罐车输送化学制剂的情况。
[0004]目前，名为ACQC单元(Automatic Clean Quick Coupler Unit)的化学制剂自动供应装置已经上市并且正在使用。在此，化学制剂储罐通常放在建筑物内部，ACQC单元在位于建筑物外部的液罐车的化学制剂槽罐和位于建筑物内部的化学制剂储罐之间起到中继供应作用。具体地说，ACQC单元包括化学制剂用公接头保持部和化学制剂用母接头，通过运送工具(Transfer means)将化学制剂用公接头保持部移动至化学制剂用母接头，以使化学制剂用公接头可自动插入并紧固于母接头并且可从母接头自动分开。因此，工作人员不会暴露在化学制剂中，可安全地供应化学制剂。
[0005]构成化学制剂自动供应装置的隔门执行防止异物渗透进化学制剂自动供应装置内部或者防止在供应化学制剂的过程中泄漏的残余化学制剂或者烟雾(Fume)泄漏到装置外部的功能。若在隔门配置的化学制剂用软管开口及氮气用软管开口除了插入氮气用软管及化学制剂用软管的情况以外保持开放的状态，则存在异物渗透乃至进入化学制剂自动供应装置内部的可能性，因此需要配置可开关开口的单独的开口闸门。然而，目前商用的化学制剂自动供应装置并未单独配置有开口闸门，或者即使配置有闸门，工作人员也不能轻松地同时开关化学制剂用软管开口及氮气用软管开口，因此导致降低化学制剂供应效率的问题。
[0006]韩国专利公报(授权公报号：10
‑
1572537，化学制剂液罐车和ACQC单元之间的自动紧固系统)公开了化学制剂用软管开口及氮气用软管开口，但是并未另外公开开口闸门，因此在未使用设备时，异物进入设备内部，可引起故障乃至运行失常。
[0007]另外，相反地，因为在系统(设备)内部泄漏或者残留的化学制剂也可向外部泄漏化学制剂或者烟雾。
技术实现思路
[0008](要解决的问题)
[0009]本专利技术的目的在于，轻松开关化学制剂用软管开口及氮气用软管开口，并且保障
可靠地进行开关，进而防止异物进入或者化学制剂乃至烟雾泄漏。
[0010](解决问题的手段)
[0011]为了连接化学制剂槽罐和化学制剂储罐之间以从一侧向另一侧供应化学制剂，通过运送单元向前后方向运送公接头，以使公接头与母接头紧固的化学制剂自动供应装置，包括：
[0012]隔门，在保持部安装软管的状态下将化学制剂自动供应装置的内部与外部隔绝，并且由设置在框架的开关门及隔绝部构成；
[0013]开关门对于框架进行转动或者移动，进而开关框架的一侧部；
[0014]软管开口，配置在隔门，在开关门关闭的状态下贯通软管；及
[0015]开口闸门，位于隔门，并且开关软管开口；
[0016]其中，所述开口闸门包括：
[0017]开口盖部；及
[0018]开关操作部，操作开口盖的开关；进而可保障轻松且可靠地进行开关。
[0019](专利技术的效果)
[0020]本专利技术在不使用化学制剂自动供应装置时关闭软管开口，因此防止异物从外部进入化学制剂自动供应装置内部或者防止化学制剂乃至烟雾泄漏到装置外部，进而可谋求防止故障乃至工作人员的安全。
[0021]另外，工作人员通过一次性动作可轻松开关化学制剂用软管开口及氮气用软管开口，因此可提高供应化学制剂的工作效率及生产力。
附图说明
[0022]图1是说明一实施例的化学制剂自动供应装置的侧面的图。
[0023]图2是说明一实施例的化学制剂自动供应装置的外观的图。
[0024]图3是说明一实施例的化学制剂自动供应装置的剖面一部分的图；
[0025]图4是说明开口盖部的图；
[0026]图5是说明开口闸门的图。
[0027]图6是说明在导轨配置弹性部件的化学制剂自动供应装置的图。
[0028]图7是说明通过开关操作部的操作开关化学制剂用软管开口及氮气用软管开口的过程的图。
[0029](附图标记说明)
[0030]900：隔门
[0031]901：框架
[0032]902：开关门
[0033]903：隔绝部
[0034]910：化学制剂用软管开口
[0035]911：旋转滚轴
[0036]920：氮气用软管开口
[0037]930：开口闸门
[0038]931：开口盖部
[0039]931
‑
1：化学制剂用开口盖
[0040]931
‑
2：氮气用开口盖
[0041]931
‑
3：盖连接部
[0042]932：开关操作部
[0043]932
‑
1：操作板
[0044]932
‑
2：手柄
[0045]932
‑
3：手柄连接部
[0046]932
‑
4：手柄卡件
[0047]933：引导滚轴
[0048]934：缓冲部件
[0049]935：弹性部件
具体实施方式
[0050]以下，参照附图进行详细说明，以使本领域技术人员通过说明的优选实施例能够容易理解并实现本专利技术。在本专利技术的说明中，若判断相关已知功能或者结构的具体说明可使本专利技术的实施例的要点不清楚，则可省略其详细说明。在本专利技术的说明书全文中使用的用语作为考虑在本专利技术的实施例中的工作而定义的用语，是根据使用人员或者运用人员的意图、惯例等可充分变形的事项，因此针对这些用语的定义应该基于说明书全文的内容定义。
[0051]另外，通过后述的实施例将明确上述以及附加性专利技术的形态。对于在本说明书中选择性记载的形态或者选择性记载的实施例的结构理解为，即使在附图中以单一整合的结构示出，只要是在没有不同的记载的情况下对于本领域的技术人员而言技术性矛盾不明确的，可相互自由组合。
[0052]从而，在本说明书记载的实施例和在附图示出的结构仅是本专利技术的最优选的实施例，并不代表本专利技术的所有技术思想，因此应该理解为在本专利技术的申请时间可以有可代替的各种同等物和变形例。
[0053]图1是说明一实施例的化学制剂自动供应装置的侧本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学制剂自动供应装置，为了连接化学制剂槽罐和化学制剂储罐之间以从一侧向另一侧供应化学制剂，通过运送单元向前后方向运送公接头，以使公接头与母接头紧固，包括：隔门，在保持部安装软管的状态下将化学制剂自动供应装置的内部与外部隔绝，并且由设置在框架的开关门及隔绝部构成；开关门对于框架进行转动或者移动，进而开关框架的一侧部；软管开口，配置在隔门，在开关门关闭的状态下贯通软管；及开口闸门，位于隔门，并且开关软管开口；其中，所述开口闸门包括：开口盖部；及开关操作部，操作开口盖的开关。2.根据权利要求1所述的化学制剂自动供应装置，其特征在于，所述软管区分为化学制剂用软管及氮气用软管；所述软管开口区分为化学制剂用软管开口及氮气用软管开口；所述开口盖部包括：化学制剂用开口盖，沿着第一盖轨道以上下方向移动，进而开关化学制剂用软管开口；氮气用开口盖，沿着第二盖轨道以上下方向移动，进而开关氮气用软管开口。3.根据权利要求2所述的化学制剂自动供应装置，其特征在于，包括：盖连接部，配置在化学制剂用开口盖和氮气用开口盖之间，以固定并连接化学制剂用开口盖和氮气用开口盖。4.根据权利要求3所述的化学制剂自动供应装置，其特征在于，所述开关操作部配置在盖连接部。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，李俊雨，李晋宇，
申请(专利权)人：系统科枝公司，
类型：发明
国别省市：
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