显示面板的制备方法、显示面板及显示面板生产设备技术

本申请公开了显示面板的制备方法、显示面板及显示面板生产设备，包括以下步骤：提供一玻璃基板；在所述玻璃基板上制备出OLED阵列层；以及在所述OLED阵列层上制备出钝化层和平坦层，在所述平坦层上制备出第一通孔以及在所述钝化层上制备第二通孔；其中，所述在所述钝化层以及所述平坦层上刻蚀出通孔的步骤中：在所述玻璃基板远离所述OLED阵列层的一侧设置一层光阻层；进行氢氟酸喷淋处理，在所述钝化层上形成通孔；剥离所述光阻层。本申请的技术效果在于，在氢氟酸刻蚀钝化层时保护玻璃基板不受腐蚀。不受腐蚀。不受腐蚀。

【技术实现步骤摘要】
显示面板的制备方法、显示面板及显示面板生产设备


[0001]本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示面板的制备方法、显示面板及显示面板生产设备。

技术介绍

[0002]现有柔性器件TFT制程中，为了减少一道光照，会选择使用氢氟酸HF对钝化层进行蚀刻，但是在此同时，玻璃基板的背面在经过氢氟酸时也会被腐蚀，在宏观状态下会呈水滴状，存在滚轮印状白色脏污，在微观状态下呈现砂砾状，其最大的影响就是在实际生产时会导致激光剥离时出现剥离困难，器件层受到拉扯后造成显示面脱离，点灯后画面出现黑点、细黑线，严重影响激光剥离(英文全程：Laser Lift Off，简称LLO)制程，甚至会导致器件损坏扯烂等严重后果。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于，提供一种显示面板的制备方法、显示面板及显示面板生产设备，可以解决现有的显示面板制备过程中的氢氟酸刻蚀钝化层的制程中玻璃基板受腐蚀严重、存在滚轮印等技术问题。
[0004]为实现上述目的，本申请提供一种显示面板的制备方法，其包括以下步骤：提供一玻璃基板；在所述玻璃基板上制备出OLED阵列层；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一玻璃基板；在所述玻璃基板上制备出OLED阵列层；以及在所述OLED阵列层上制备出钝化层和平坦层，在所述平坦层上制备出第一通孔以及在所述钝化层上制备第二通孔；其中，所述在所述平坦层上制备出第一通孔以及在所述钝化层上制备第二通孔的步骤包括：在所述玻璃基板远离所述OLED阵列层的一侧设置一层光阻层；进行氢氟酸喷淋处理，在所述钝化层上形成所述第二通孔；剥离所述光阻层。2.如权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述在所述OLED阵列层上制备出钝化层和平坦层的步骤包括：在所述OLED阵列层远离所述玻璃基板的一侧的表面沉积一层绝缘材料，作为钝化层；在所述钝化层远离所述玻璃基板的一侧的表面涂布一层无机材料，形成平坦层；经过曝光、显影、烘烤以及蚀刻后，在所述平坦层上形成所述第一通孔，且所述第一通孔与所述OLED阵列层的漏极对应设置。3.如权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述在所述玻璃基板远离所述OLED阵列层的一侧设置一层光阻层的步骤包括：在所述玻璃基板远离所述OLED阵列层的一侧喷涂光阻材料，并进行烘烤固化处理形成所述光阻层。4.如权利要求3所述的显示面板的制备方法，其特征在于，在喷涂光阻材料时，在所述玻璃基板的底面采用滚筒式的滚轮滚动，使得所述光阻材料均匀喷涂。5.如权利要求3所述的显示面板的制备方法，其特征在于，在所述进行烘烤固化处理的步骤中，采用加热丝或极紫外线固化处理。6.如权利要求2所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述进行氢氟酸喷淋处理的步骤中：进行至少两次氢氟酸喷淋处理，所述钝化层在对应于所述平坦层的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李才文，覃事建，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：