薄膜应力监测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种薄膜应力监测装置，薄膜应力监测装置，包括安装件、发射件、滤光件和接收件，安装件内形成有安装腔；发射件安装在安装腔的一侧内壁上，发射件用于发射激光，与发射件相对的另一侧内壁上用于设置待测件；滤光件设置在发射件和待测件之间，发射件发射的激光能够通过滤光件到待测件上，待测件能够反射激光至滤光件上，滤光件能够折射激光形成折射激光；接收件设置在安装有发射件的一侧内壁上，接收件能够接收折射激光。薄膜应力监测装置的结构简单，操作方便快捷，通过对激光信息进行比对得到应力信息，也更加准确可靠，避免了结构复杂带来的测量偏差。了结构复杂带来的测量偏差。了结构复杂带来的测量偏差。

【技术实现步骤摘要】
薄膜应力监测装置


[0001]本技术涉及薄膜装置
，特别是涉及薄膜应力监测装置。

技术介绍

[0002]用通常方法加工的各种零件是在良好的热平衡状态下制造的。即使如此，仍然会存在一定程度的残余应力。与此相对，多数薄膜不是在热平衡状态下制造的，而是从岛状构造开始合成一体生产而成的。各个岛或是固体，或是液体，都不是在热平衡状态下充分地合成一体的，合成一体后也不可能是充分退火态的。在真空中制成的薄膜，可以肯定会残留一定的应力。它的大小因制作工艺条件的不同而不同。产生应力的原因很复杂，主要有两种：一是由于薄膜和基底的热膨胀不同引起的，成为热应力；一种是薄膜生长过程中的非平衡性或薄膜特有的微观结构引起的，称为内应力。为了更好的研究薄膜生长过程中的应力变化，在薄膜制备过程中全覆盖式实时测量应力是非常必要的。现有的薄膜应力监测装置结构较为复杂，容易在监测过程中产生较大偏差，操作繁琐。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述问题，提供一种结构简单，操作便捷的薄膜应力监测装置。
[0004]一种薄膜应力监测装置，包括安装件、发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜应力监测装置，其特征在于，所述薄膜应力监测装置包括：安装件，所述安装件内形成有安装腔；发射件，所述发射件安装在所述安装腔的一侧内壁上，所述发射件用于发射激光，与所述发射件相对的另一侧内壁上用于设置待测件；滤光件，所述滤光件设置在所述发射件和所述待测件之间，所述发射件发射的激光能够通过所述滤光件到所述待测件上，所述待测件能够反射激光至所述滤光件上，所述滤光件能够折射所述激光形成折射激光；接收件，所述接收件设置在安装有所述发射件的一侧内壁上，所述接收件能够接收所述折射激光。2.根据权利要求1所述薄膜应力监测装置，其特征在于，所述发射件发射的激光能够垂直射入所述滤光件，所述待测件反射的激光呈锐角或钝角射入所述滤光件。3.根据权利要求1所述薄膜应力监测装置，其特征在于，所述滤光件的折射率大于或等于95％。4.根据权利要求1所述薄膜应力监测装置，其特征在于，还包括数据采集件，所述数据采集件和所述接收件电性连接，所述接收件接收所述折射激光后能够生成激光信息，所述数据采集件用于存储激光信息。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国强，
申请(专利权)人：河源市艾佛光通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：