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本实用新型涉及一种薄膜应力监测装置，薄膜应力监测装置，包括安装件、发射件、滤光件和接收件，安装件内形成有安装腔；发射件安装在安装腔的一侧内壁上，发射件用于发射激光，与发射件相对的另一侧内壁上用于设置待测件；滤光件设置在发射件和待测件之间，发...
该专利属于河源市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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