一种晶圆的搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆的搬运装置，涉及晶圆生产技术领域。晶圆上设置有多个屏幕，每个所述屏幕均对应设置有接线端，该搬运装置包括支撑平台、承载机构及压接机构。所述支撑平台设置有第一滑轨；承载机构滑动设置于所述第一滑轨，所述承载机构能够承载所述晶圆；压接机构包括支架与压接组件，所述支架滑动设置于所述第一滑轨，所述压接组件沿竖直方向滑动设置于所述支架，所述压接组件能够抵压于所述晶圆并点亮所述屏幕。该晶圆的搬运装置能够消除移动过程中的误差，大大提高了检测的准确性，降低生产制造成本。降低生产制造成本。降低生产制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的搬运装置


[0001]本技术涉及晶圆生产
，尤其涉及一种晶圆的搬运装置。

技术介绍

[0002]智能手表是将手表内置智能化系统，并能够通过触摸屏幕进行操作的多功能手表，能同步手机中的电话、短信、邮件、照片、音乐等。在智能手表的屏幕的生产过程中，屏幕显示缺陷检测是其中一个重要环节，通过屏幕检测工序以检测屏幕是否存在缺陷，以避免缺陷品流入市场。
[0003]在生产过程中，通常是利用晶圆作为基板，并将多个屏幕间隔设置在晶圆上，同时晶圆对应每个屏幕均设置有接线端。在很多的制程设备中，压接与承载台移动晶圆是分开在不同位置进行动作，在承载台的搬运过程中，移动误差会导致压接误差的增大，而提高设备的精度则会使设备的制造成本大大提高，同时也提高了设备的调试难度。
[0004]针对上述问题，需要开发一种晶圆的搬运装置，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提出一种晶圆的搬运装置，能够消除移动过程中的误差，大大提高了检测的准确性，降低生产制造成本。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种晶圆的搬运装置，晶圆上设置有多个屏幕，每个所述屏幕均对应设置有接线端，包括：
[0008]支撑平台，所述支撑平台设置有第一滑轨；
[0009]承载机构，滑动设置于所述第一滑轨，所述承载机构能够承载所述晶圆；
[0010]压接机构，包括支架与压接组件，所述支架滑动设置于所述第一滑轨，所述压接组件沿竖直方向滑动设置于所述支架，所述压接组件能够抵压于所述晶圆并点亮所述屏幕。
[0011]优选地，所述压接组件包括压接件和若干个压接头，所述压接件沿竖直方向滑动设置于所述支架，若干个所述压接头设置于所述压接件，每个所述压接头均能够对应压接于一个所述屏幕的所述接线端以点亮所述屏幕。
[0012]优选地，所述压接件包括依次相连的压接部、连接部以及滑动部，所述连接部沿由下到上的方向朝所述承载机构倾斜，所述滑动部沿竖直方向滑动设置于所述支架。
[0013]优选地，所述压接件包括调整槽，所述压接头能够沿所述调整槽的长度方向移动。
[0014]优选地，所述调整槽沿自身宽度方向间隔设置有若干条，所述压接头设置有若干个固定件，每个所述固定件穿过相应的一条所述调整槽并固定所述压接头。
[0015]优选地，所述承载机构包括底座及设置于所述底座的承载台，所述底座滑动设置于所述第一滑轨，所述承载台开设有吸附孔。
[0016]优选地，所述承载机构还包括若干个定位件，所述定位件设置于所述承载台上，所述定位件能够抵接所述晶圆的边缘以对所述晶圆进行定位。
[0017]优选地，所述底座设置有第二滑轨，所述承载台滑动设置于所述第二滑轨，所述第二滑轨与所述第一滑轨呈夹角设置。
[0018]优选地，所述承载机构还包括驱动件，所述驱动件设置于所述底座上，所述驱动件能够驱动所述承载台相对于所述底座转动。
[0019]优选地，还包括第三滑轨，所述第三滑轨与所述第一滑轨呈夹角设置，所述支撑平台滑动设置于所述第三滑轨。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术提供了一种晶圆的搬运装置。该搬运装置中，承载机构与压接机构均设置于支撑平台的第一滑轨上，故可以利用压接机构对承载机构上的晶圆进行压接后，移动支撑平台使承载机构与压接机构同步运动，从而消除移动过程中的误差，大大提高了检测的准确性，降低生产制造成本。
附图说明
[0022]图1是本技术提供的晶圆的结构示意图；
[0023]图2是本技术提供的晶圆的搬运装置的结构示意图；
[0024]图3是图2中A处的局部放大图；
[0025]图4是本技术提供的压接机构的结构示意图；
[0026]图5是本技术提供的承载机构的结构示意图。
[0027]图中：
[0028]100、晶圆；101、屏幕；102、接线端；
[0029]1、支撑平台；2、承载机构；3、压接机构；4、第三滑轨；
[0030]11、第一滑轨；21、底座；22、承载台；23、定位件；24、第二滑轨；25、驱动件；26、滑块；31、支架；32、压接组件；
[0031]221、螺纹孔；321、压接件；322、压接头；
[0032]3211、压接部；3212、连接部；3213、滑动部；
[0033]32111、调整槽。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0035]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
[0036]除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，
例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0037]除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0038]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0039]智能手表是将手表内置智能化系统，并能够通过触摸屏幕进行操作的多功能手表，能同步手机中的电话、短信、邮件、照片、音乐等。在智能手表的屏幕的生产过程中，屏幕显示缺陷检测是其中一个重要环节，通过屏幕检测工序以检测屏幕是否存在缺陷，以避免缺陷品流入市场。
[0040]如图1所示，生产过程中，为了提高生产效率，通常是利用一整块晶圆100作为基板，将多个屏幕101间隔设置在晶圆100上，且每个屏幕101均对应设置有接线端102。通过对接线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的搬运装置，晶圆(100)上设置有多个屏幕(101)，每个所述屏幕(101)均对应设置有接线端(102)，其特征在于，包括：支撑平台(1)，所述支撑平台(1)设置有第一滑轨(11)；承载机构(2)，滑动设置于所述第一滑轨(11)，所述承载机构(2)能够承载所述晶圆(100)；压接机构(3)，包括支架(31)与压接组件(32)，所述支架(31)滑动设置于所述第一滑轨(11)，所述压接组件(32)沿竖直方向滑动设置于所述支架(31)，所述压接组件(32)能够抵压于所述晶圆(100)并点亮所述屏幕(101)。2.根据权利要求1所述的晶圆的搬运装置，其特征在于，所述压接组件(32)包括压接件(321)和若干个压接头(322)，所述压接件(321)沿竖直方向滑动设置于所述支架(31)，若干个所述压接头(322)设置于所述压接件(321)，每个所述压接头(322)均能够对应压接于一个所述屏幕(101)的所述接线端(102)以点亮所述屏幕(101)。3.根据权利要求2所述的晶圆的搬运装置，其特征在于，所述压接件(321)包括依次相连的压接部(3211)、连接部(3212)以及滑动部(3213)，所述连接部(3212)沿由下到上的方向朝所述承载机构(2)倾斜，所述滑动部(3213)沿竖直方向滑动设置于所述支架(31)。4.根据权利要求2所述的晶圆的搬运装置，其特征在于，所述压接件(321)包括调整槽(32111)，所述压接头(322)能够沿所述调整槽(32111)的长度方...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱朋，
申请(专利权)人：苏州凌云视界智能设备有限责任公司，
类型：新型
国别省市：