一种用于晶圆盒的便捷抓取提升装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于晶圆盒的便捷抓取提升装置，具有承载框架，承载框架上装有同步提升机构，同步提升机构的正下方吊装有晶圆盒抓取机构；晶圆盒抓取机构具有夹紧机架，三根提升钢丝绳吊挂所述的夹紧机架，夹紧机架上面位于前后位置处设置有两条平行布置的滑轨，还设有两块金属制成的夹紧移动块，两夹紧移动块的底部分别通过滑块横跨安装在两条滑轨上，两个夹紧移动块的内侧面上各设有一个L形卡爪；两个夹紧移动块之间还设有拉伸弹簧，在两个夹紧移动块各自的外侧的夹紧机架上分别设有电磁铁；该装置整体结构更加紧凑和小巧，节约了纵向空间，提高了空间利用率，从而可以降低悬吊轨道的成本。轨道的成本。轨道的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆盒的便捷抓取提升装置


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路物料输送设备
，尤其是一种用于晶圆盒的便捷抓取提升装置。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的发展，为了提高半导体生产效率，越来越多的从事运输装备生产的企业投入研发晶圆自动搬运生产线，即半导体晶圆洁净自动搬送系统（AMHS），该系统可以快速准确的将晶圆洁净搬送到目的地，能够大幅提高效率、缩短时间、增加产能、提升稳定性，是满足半导体的细微化及液晶显示器的精细化加工要求的关键搬送设备。
[0003]该系统的三大关键机构为别是搬运小车、提升装置、抓取机构。通过前期调研及前期自主研究发现：现有的提升装置和抓取机构，主要存在以下不足：第一，四带提升过程，无法保证每个皮带同时处于拉直状态，提升过程容易倾斜；第二，提升装置结构较复杂，加上抓取机构设置在提升机构下方，两机构体积的纵向累加，导致大幅增加安装导轨成本；第三，现有抓取机构复杂，且电源较重，导致整体自重较大，增加了提升装置的负载压力，且由于抓取电机的存在，需要增加电机电源线和控制信号线的同步缠绕机构；第四，现有抓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆盒的便捷抓取提升装置，具有承载框架，其特征在于：所述承载框架上装有同步提升机构，同步提升机构的正下方吊装有晶圆盒抓取机构；所述同步提升机构包括有钢丝绳卷轮A、钢丝绳卷轮B和双排卷轮，其中钢丝绳卷轮A和钢丝绳卷轮B通过轮轴a同轴布置在承载框架顶部一侧，双排卷轮通过轮轴b布置在承载框架顶部的另一侧，轮轴a与轮轴b之间通过同步带带动同步运转，轮轴a通过皮带电机驱动运转；双排卷轮是由分卷轮m和分卷轮n同轴并排构成，其中钢丝绳卷轮A、钢丝绳卷轮B、分卷轮m上各卷绕有一根提升钢丝绳，三根提升钢丝绳的下端共同吊装所述的晶圆盒抓取机构，分卷轮n用于卷绕电源线和信号线；所述晶圆盒抓取机构具有夹紧机架，三根提升钢丝绳吊挂所述的夹紧机架，夹紧机架上面位于前后位置处设置有两条平行布置的滑轨，还设有两块金属制成的夹紧移动块，两夹紧移动块的底部分别通过滑块横跨安装在两条滑轨上，两个夹紧移动块的内侧面上各设有一个L形卡爪，两L形卡爪相对布置并对晶圆盒形成夹持；两个夹紧移动块之间还设有拉伸弹簧，拉伸弹簧的两端分别连在两个夹紧移动块上并置于L形卡爪的上方；在两个夹紧移动块各自的外侧的夹紧机架上分别设有电磁铁，一个电磁铁对应一个夹紧移动块并对其进行吸附或松开...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘羊，纪昌华，刘梦奎，任海伟，徐恢川，徐庆华，徐赐军，柯晶，吴小艳，
申请(专利权)人：三丰智能装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：