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一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆制造方法及图纸

技术编号:36592162 阅读:24 留言:0更新日期:2023-02-04 17:59
本实用新型专利技术公开了一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,提取杆安装于漂浮物去除装置的底端,提取杆包括提取头以及与连接杆,连接杆的一端与漂浮物去除装置的底端固定,另一端与提取头可拆卸连接,提取头的端部设有底面部与侧屏部。本实用新型专利技术通过“捞取”的方式去除漂浮物,漂浮物无需与装置“粘接”,解决因熔体温度过高出现漂浮物无法粘接的问题,提高漂浮物去除成功率,提取头具有侧屏部,准确限制漂浮物尺寸,确保能将漂浮物从保温材料上盖口中提离保温腔,避免熔体温度过低时漂浮物尺寸过大导致提离过程中遮挡保温材料上盖口,使籽晶杆升降不受阻挡,确保后续晶体生长步骤的正常进行,能防止漂浮物在提取过程中滑落。能防止漂浮物在提取过程中滑落。能防止漂浮物在提取过程中滑落。

【技术实现步骤摘要】
一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆


[0001]本技术属于单晶生长
,涉及漂浮物去除,尤其涉及一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆。

技术介绍

[0002]提拉法(又称直拉法)是一种从熔体中制备大尺寸高质量单晶的传统单晶生长方法,常见晶体如硅单晶、锗单晶、蓝宝石、YAG(钇铝石榴石,Yttrium Aluminum Garnet)等通常采用提拉法进行单晶生长。采用提拉法生长单晶时,将晶体原料在坩埚中加热熔化,控制炉内温度分布并使其稳定,随后将籽晶与熔体熔接使籽晶与熔体间存在合适的温度梯度,以一定的速率提拉、旋转使熔体不断在固液界面处结晶。提拉法具有单晶生长尺寸大、单晶缺陷少等优点,并且方法简单易行,易实现工业化生产,拥有广阔的市场前景。
[0003]但是,使用提拉法时容易在熔体表面出现漂浮物,其形成原因是熔体中的杂质颗粒随熔体对流集中于在熔体表面冷心位置,使熔体基于杂质发生异质形核而形成晶体,该包含杂质颗粒的晶体则为漂浮物。因此,漂浮物会阻碍籽晶与熔体进行熔接,无法开展后续的晶体生长操作;此外,漂浮物也会在晶体生长过程中粘附于晶体表面,导致晶体出现多晶化现象,大幅降低晶体质量与可利用率。专利CN114059162A公布了一种漂浮物去除装置,通过将漂浮物粘连在粘接杆上提出熔体,实现对漂浮物的去除,但由于其粘接杆结构简单,当熔体温度过高时容易出现漂浮物粘接不上的问题致使无法去除漂浮物,当熔体温度过低时容易使漂浮物尺寸过大遮挡保温材料上盖口导致籽晶杆无法通过,所以该粘接杆可用温度窗口较窄,漂浮物去除成功率较低。因此,需要一种用于漂浮物去除装置的具有新型结构的部件,能够不受熔体温度影响,提高漂浮物去除成功率。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题,本技术提供一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆及对应的漂浮物去除方法,它能够不受熔体温度影响并将漂浮物从熔体表面去除,同时不阻碍籽晶杆的升降。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用以下技术方案:
[0006]一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,所述提取杆安装于漂浮物去除装置的底端,所述提取杆包括提取头以及与连接杆,所述连接杆的一端与漂浮物去除装置的底端固定,另一端与所述提取头可拆卸连接,所述提取头的端部设有底面部与侧屏部。
[0007]在本技术中,本技术可以基于专利CN114059162A公开的漂浮物去除装置,将提取杆安装于漂浮物去除装置底端,替代粘接杆底端的铱金杆,提取杆所用的材料为耐高温氧化、耐腐蚀、致密无脱落的材质,如铱金属、铂铑合金等,可通过焊接固定在漂浮物去除装置的底端。
[0008]本技术的提取头通过“捞取”的方式去除漂浮物,漂浮物无需与装置“粘接”,因此能够解决因熔体温度过高而出现漂浮物无法粘接的问题,从而提高漂浮物去除成功
率。
[0009]作为本技术的一种优选方案,所述底面部为平面,所述底面部上设有多个通孔。
[0010]作为本技术的一种优选方案,所述侧屏部为环绕所述底面部的环形面,所述侧屏部与所述底面部之间形成夹角。
[0011]作为本技术的一种优选方案,所述夹角为90

180
°

[0012]作为本技术的一种优选方案,所述通孔的直径≥1mm,所述侧屏部的厚度≥1mm,所述底面部的厚度≥1mm。
[0013]作为本技术的一种优选方案,所述底面部由呈圆周阵列分布的方棒组成,圆周阵列分布的方棒形成多个缝隙。
[0014]作为本技术的一种优选方案,方棒远离圆心的一端向上弯折,以形成侧屏部。
[0015]作为本技术的一种优选方案,弯折的角度为90

180
°

[0016]作为本技术的一种优选方案,方棒的根数≥3,底面部与侧屏部一体成型。
[0017]作为本技术的一种优选方案,所述提取头的外径小于安装漂浮物去除装置的保温材料上盖口的内径。
[0018]在本技术中,提取头外径<保温材料上盖口内径。因提取头离开保温腔时需穿过保温材料上盖口,因此提取头外径需小于上盖口内径。
[0019]与现有技术相比,本技术具有以下有益效果:
[0020]1)本技术的提取头通过“捞取”的方式去除漂浮物,漂浮物无需与装置“粘接”,因此能够解决因熔体温度过高而出现漂浮物无法粘接的问题,从而提高漂浮物去除成功率。
[0021]2)本技术的提取头具有侧屏部,能够准确限制漂浮物尺寸,确保能将漂浮物从保温材料上盖口中提离保温腔,避免熔体温度过低时漂浮物尺寸过大导致提离过程中遮挡保温材料上盖口,使籽晶杆升降不受阻挡,确保后续晶体生长步骤的正常进行;此外,侧屏部还能防止漂浮物在提取过程中滑落。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例1的结构示意图。
[0023]图2是本技术实施例2的结构示意图。
[0024]图中,1.提取头;1.1.侧屏部;1.2.底面部;1.3.通孔;2.连接杆。
具体实施方式
[0025]为进一步了解本技术的内容,结合附图及实施例对本技术作详细描述。
[0026]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术,而非对该技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与技术相关的部分。本技术中所述的第一、第二等词语,是为了描述本技术的技术方案方便而设置,并没有特定的限定作用,均为泛指,对本技术的技术方案不构成限定作用。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中,需要说明的是,术
语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。同一实施例中的多个技术方案,以及不同实施例的多个技术方案之间,可进行排列组合形成新的不存在矛盾或冲突的技术方案,均在本技术要求保护的范围内。
[0027]实施例1
[0028]参见图1,本实施例提供了一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,包括提取头1和连接杆2,提取头1由侧屏部1.1和底面部1本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,其特征在于,所述提取杆安装于漂浮物去除装置的底端,所述提取杆包括提取头以及与连接杆,所述连接杆的一端与漂浮物去除装置的底端固定,另一端与所述提取头可拆卸连接,所述提取头的端部设有底面部与侧屏部。2.根据权利要求1所述的一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,其特征在于,所述底面部为平面,所述底面部上设有多个通孔。3.根据权利要求2所述的一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,其特征在于,所述侧屏部为环绕所述底面部的环形面,所述侧屏部与所述底面部之间形成夹角。4.根据权利要求3所述的一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,其特征在于,所述夹角为90

180
°
。5.根据权利要求2所述的一种基于提拉法的漂浮物去除装置提取杆,其特征在于,所述通孔的直径≥1mm,所述侧屏部...

【专利技术属性】
技术研发人员:张辉吴丹金竹杨德仁
申请(专利权)人:浙江大学
类型:新型
国别省市:

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