晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉技术

本发明专利技术涉及一种晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉，该晶体生长炉包括与备用电源均电连接的第一升降组件和抽吸泵，以及坩埚和位于坩埚内的晶棒和熔融液；该晶体生长炉断电保护方法包括步骤：启用备用电源；驱动第一升降组件将吸管伸入至坩埚内，并使吸管的吸口位于熔融液的液面下方；启动抽吸泵，通过吸管抽走坩埚内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离。本发明专利技术的优点在于：在晶体生长炉遇到断电情况后，备用电源为第一升降组件和抽吸泵供电，第一升降组件将抽吸泵的吸管伸入坩埚，从而利用抽吸泵将坩埚内的熔融液抽走，如此便实现了晶棒和熔融液的分离，避免晶棒与熔融液在晶体生长炉断电后凝结在一起，防止晶棒报废。防止晶棒报废。防止晶棒报废。

【技术实现步骤摘要】
晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉


[0001]本专利技术涉及晶体生长
，特别是涉及一种晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉。

技术介绍

[0002]目前，现有技术在使用晶体生长炉生长晶体时，驱动提拉杆，使提拉杆上携带的籽晶与坩埚中的用于生长晶体的熔融液接触，当籽晶与熔融液的固液界面的温度低于熔融液的凝固点时，在籽晶和熔融液的固液界面上生长晶体。然而，现有技术在遇到晶体生长炉突然断电的情况后，不能将晶棒和坩埚中的熔融液分离，当熔融液冷却后，晶棒便会和熔融液凝结在一起，导致晶棒报废。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术针对上述技术问题，提供一种晶体生长炉断电保护方法，该晶体生长炉断电保护方法能够实现晶棒和熔融液在晶体生长炉断电后分离，从而防止晶棒报废。
[0004]本专利技术提供的晶体生长炉断电保护方法，晶体生长炉包括与备用电源均电连接的第一升降组件和抽吸泵，以及坩埚和位于坩埚内的晶棒和熔融液；该晶体生长炉断电保护方法包括步骤：启用备用电源；驱动第一升降组件将吸管伸入至坩埚内，并使吸管的吸口位于熔融液的液面下方；启动抽吸泵，通过吸管抽走坩埚内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离。
[0005]在其中一个实施例中，在启动抽吸泵，通过吸管抽走坩埚内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离的步骤之后，还包括步骤：驱动第一升降组件带动吸管上升，以将吸管退出坩埚。
[0006]如此设置，在吸管退出坩埚后，坩埚的升降行程不会受到吸管的限制。
[0007]在其中一个实施例中，在启动抽吸泵，通过吸管抽走坩埚内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离的步骤之后，还包括步骤：抬升坩埚，直至坩埚的底部与晶棒相抵。
[0008]如此设置，可以让坩埚承托晶棒，避免晶棒掉落将坩埚砸坏。
[0009]在其中一个实施例中，晶体生长炉还包括与备用电源电连接的第二升降组件，第二升降组件通过坩埚轴与坩埚连接以抬升坩埚，坩埚轴上设有重量传感器，在抬升坩埚，直至坩埚的底部与晶棒相抵中，还包括步骤：当重量传感器获知重量改变时，第二升降组件停止抬升坩埚。
[0010]如此设置，可以通过第二升降组件来实现坩埚的抬升，通过重量传感器可以判断坩埚是否与晶棒相抵。当重量传感器所检测的重量保持不变时，可以判定坩埚尚未与晶棒相抵，第二升降组件抬升坩埚；当重量传感器所检测的重量发生改变时，可以判定坩埚在此
时与晶棒相抵，第二升降组件停止抬升坩埚，从而让坩埚位于与晶棒相抵的位置将晶棒承托，避免晶棒掉落将坩埚砸坏，同时，也可以避免第二升降组件继续抬升坩埚将晶棒压断。
[0011]在其中一个实施例中，在启用备用电源的步骤之后，且在驱动第一升降组件将吸管伸入至坩埚内，并使吸管的吸口位于熔融液的液面下方的步骤之前，还包括步骤：抬升坩埚，直至坩埚的底部与晶棒相抵。
[0012]如此设置，可以在吸管抽吸熔融液之前就让坩埚将晶棒承托。
[0013]本专利技术还提供一种晶体生长炉，用于生长晶棒，该晶体生长炉包括备用电源、坩埚机构和抽吸机构，坩埚机构包括用于容置熔融液的坩埚，抽吸机构包括吸管、第一升降组件和与吸管连通的抽吸泵，抽吸泵与第一升降组件均与备用电源电连接，第一升降组件用于带动吸管升降以伸入或退出坩埚。
[0014]在其中一个实施例中，晶体生长炉还包括机架，备用电源、坩埚机构和抽吸机构安装于机架，第一升降组件包括第一基座和第一连接板，第一基座固定连接于机架，第一连接板的一侧滑动连接于第一基座，第一连接板的另一侧固定连接于吸管。
[0015]如此设置，第一连接板可以带动吸管一起相对第一基座滑动，从而升降吸管，使吸管伸入或退出坩埚。
[0016]在其中一个实施例中，晶体生长炉还包括与备用电源电连接的限位开关，当第一连接板碰撞限位开关时，限位开关接通或断开控制电路使第一连接板停止向上运动。
[0017]如此设置，在吸管全部退出坩埚后，可以通过限位开关使第一连接板停止向上运动。
[0018]在其中一个实施例中，坩埚的底部设置有坩埚轴，坩埚机构还包括第二升降组件，第二升降组件包括第二基座和第二连接板，第二基座固定连接于机架，第二连接板的一侧滑动连接于第二基座，第二连接板的另一侧固定连接于坩埚轴。
[0019]如此设置，第二连接板可以带动坩埚轴相对第二基座滑动，从而升降坩埚，使坩埚的底部与晶棒相抵或分离。
[0020]在其中一个实施例中，坩埚轴上设置有重量传感器，重量传感器用于检测坩埚轴承受的重量。
[0021]如此设置，通过坩埚轴承受的重量是否发生变化，可以判断坩埚的底部是否与晶棒相抵。当重量传感器所检测的坩埚轴承受的重量保持不变时，可以判定坩埚尚未与晶棒相抵，第二升降组件抬升坩埚；当重量传感器所检测的坩埚轴承受的重量发生改变时，可以判定坩埚在此时与晶棒相抵，第二升降组件停止抬升坩埚，从而让坩埚位于与晶棒相抵的位置将晶棒承托，避免晶棒掉落将坩埚砸坏，同时，也可以避免第二升降组件继续抬升坩埚将晶棒压断。
[0022]本专利技术至少具有以下有益效果：在晶体生长炉遇到断电情况后，本专利技术提供的晶体生长炉断电保护方法通过备用电源为第一升降组件和抽吸泵供电，第一升降组件将抽吸泵的吸管伸入坩埚，从而利用抽吸泵将坩埚内的熔融液抽走，如此便实现了晶棒和熔融液的分离，避免晶棒与熔融液在晶体生长炉断电后凝结在一起，防止晶棒报废。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术一个实施例的晶体生长炉的部分结构的结构示意图；图2为图1所示部分结构在另一视角下的结构示意图；图3为图1所示实施例的晶体生长炉的部分结构的结构示意图；图4为本专利技术一个实施例的晶体生长炉断电保护方法的流程示意图；图5为本专利技术另一个实施例的晶体生长炉断电保护方法的流程示意图。
[0025]附图标记：10、备用电源；20、坩埚机构；21、坩埚；211、坩埚轴；2111、重量传感器；22、第二升降组件；221、第二基座；222、第二连接板；30、抽吸机构；31、吸管；32、第一升降组件；321、第一基座；322、第一连接板；323、驱动器；33、抽吸泵；40、机架；50、提拉杆；60、晶棒。
具体实施方式
[0026]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0027]需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉断电保护方法，所述晶体生长炉包括与备用电源(10)均电连接的第一升降组件(32)和抽吸泵(33)，以及坩埚(21)和位于坩埚(21)内的晶棒和熔融液；其特征在于，所述的晶体生长炉断电保护方法包括步骤：启用备用电源(10)；驱动第一升降组件(32)将吸管(31)伸入至坩埚(21)内，并使吸管(31)的吸口位于所述熔融液的液面下方；启动抽吸泵(33)，通过吸管(31)抽走坩埚(21)内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉断电保护方法，其特征在于，在启动抽吸泵(33)，通过吸管(31)抽走坩埚(21)内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离的步骤之后，还包括步骤：驱动所述第一升降组件(32)带动吸管(31)上升，以将所述吸管(31)退出所述坩埚(21)。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉断电保护方法，其特征在于，在启动抽吸泵(33)，通过吸管(31)抽走坩埚(21)内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离的步骤之后，还包括步骤：抬升所述坩埚(21)，直至所述坩埚(21)的底部与所述晶棒相抵。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉断电保护方法，其特征在于，所述晶体生长炉还包括与备用电源(10)电连接的第二升降组件(22)，第二升降组件(22)通过坩埚轴(211)与所述坩埚(21)连接以抬升所述坩埚(21)，所述坩埚轴(211)上设有重量传感器(2111)，在抬升所述坩埚(21)，直至所述坩埚(21)的底部与所述晶棒相抵的步骤中，还包括步骤：当重量传感器(2111)获知重量改变时，所述第二升降组件(22)停止抬升所述坩埚(21)。5.根据权利要求1所述的晶体生长炉断电保护方法，其特征在于，在启用备用电源(10)的步骤之后，且在驱动第一升降组件(32)将吸管(31)伸入至坩埚(21)内，并使吸管(31)的吸口位于所述熔融液的液面下方的步骤之前，还包括步骤：抬升所述坩埚(21)，直至所述坩埚(...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，傅林坚，张俊，叶钢飞，欧阳鹏根，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：