异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序制造方法及图纸

提高生产设备中的异常调制的原因的确定精度。异常调制原因确定装置具备：工艺数据获取部，从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出的工艺数据的存储装置中读出工艺数据；异常判定部，计算表示工艺数据获取部所读出的工艺数据的调制的程度的异常度；以及原因诊断部，使用将原因与调制的因果关系的组合定义成沿着时序的分层状的因果关系信息，针对多个传感器所输出的工艺数据，判断异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，该调制是作为因该原因产生的影响而出现的、多个传感器所输出的工艺数据的调制。传感器所输出的工艺数据的调制。传感器所输出的工艺数据的调制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序


[0001]本公开涉及异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序。

技术介绍

[0002]以往，提出了一种用于使用从机组接收的运转数据来推定异常的原因的技术。例如，提出了一种以使在过去发生过的第一异常事件的发生概率的加权比未发生的第二异常事件的发生概率的加权重的方式推定异常的预兆的原因的技术(专利文献1)。此外，也提出了一种如下技术：在检测到诊断对象工艺的异常的情况下，推定表示工艺变量的贡献的比例的贡献率，其中，该工艺变量表示诊断对象工艺的状态，基于贡献率来从预先定义出的登记事件之中推定可能是异常的要因的事件(专利文献2)。
[0003]此外，也提出了一种如下技术：使用预测工艺的状态的多个子模型来计算工艺的从正常状态的偏离指标，基于由按每个子模型计算出的偏离指标构成的偏离指标图案集来推定在工艺中发生的异常状态的原因(专利文献3)。此外，也提出了一种如下技术：对构成监视运转数据的多个运转数据中的每一个运转数据，计算相对于监视异常度的监视贡献度，提取本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种异常调制原因确定装置，具备：工艺数据获取部，从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出的工艺数据的存储装置中读出所述工艺数据；异常判定部，计算表示所述工艺数据获取部所读出的工艺数据的调制的程度的异常度；原因诊断部，使用将原因与调制的因果关系的组合定义成沿着时序的分层状的因果关系信息，针对所述多个传感器所输出的工艺数据，判断所述异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，所述调制是作为因所述原因产生的影响而出现的、所述多个传感器所输出的工艺数据的调制。2.根据权利要求1所述的异常调制原因确定装置，其中，所述异常度判定部计算与相对于规定的基准的偏离的方向为正或负中的哪个相应的异常度。3.根据权利要求2所述的异常调制原因确定装置，其中，所述异常判定部针对所述工艺数据的极大值和极小值中的至少一部分，计算与相对于规定的基准的偏离的方向为正或负中的哪个相应的异常度。4.根据权利要求1至3中任一项所述的异常调制原因确定装置，其中，所述因果关系信息针对所述多个传感器所输出的工艺数据中的每一个工艺数据，根据所述生产设备所进行的工序中的定时、期间或间隔来定义用于所述异常度的计算的工艺数据，所述异常判定部使用所述工艺数据获取部所读出的工艺数据中、基于所述因果关系信息所定义的定时、期间或间隔而提取到的值来进行异常度的计算。5.根据权利要求1至4中任一项所述的异常调制原因确定装置，其中，所述异常判定部使用将预先决定的组合中所包括的多个传感器所输出的工艺数据的值进行压缩和复原的神经网络模型，来计算与该神经网络模型的输入输出之差相应的异...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈洋辉，山野幸一，三好史浩，近藤弘康，小园英俊，
申请(专利权)人：株式会社大赛璐，
类型：发明
国别省市：