异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序制造方法及图纸

提高生产设备中的异常调制的原因的确定性能。异常调制原因确定装置具备：工艺数据获取部，从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出，并且与处理对象的管理编号相关联的工艺数据的存储装置中读出工艺数据；异常判定部，针对多个传感器，持续地计算表示工艺数据获取部所读出的工艺数据的调制的程度的异常度；以及原因诊断部，使用因果关系信息，针对多个传感器所输出的、处理对象的管理编号所对应的工艺数据，判断异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，该因果关系信息定义原因和作为因该原因产生的影响而出现的、多个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序


[0001]本公开涉及异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序。

技术介绍

[0002]以往，提出了一种用于使用从机组接收的运转数据来推定异常的原因的技术。例如，提出了一种以使在过去发生过的第一异常事件的发生概率的加权比未发生的第二异常事件的发生概率的加权重的方式推定异常的预兆的原因的技术(专利文献1)。此外，也提出了一种如下技术：在检测到诊断对象工艺的异常的情况下，推定表示工艺变量的贡献的比例的贡献率，其中，该工艺变量表示诊断对象工艺的状态，基于贡献率来从预先定义出的登记事件之中推定可能是异常的要因的事件(专利文献2)。
[0003]此外，也提出了一种如下技术：使用预测工艺的状态的多个子模型来计算工艺的从正常状态的偏离指标，基于由按每个子模型计算出的偏离指标构成的偏离指标图案集来推定在工艺中发生的异常状态的原因(专利文献3)。此外，也提出了一种如下技术：对构成监视运转数据的多个运转数据的每一个，计算相对于监视异常度的监视贡献度，提取由监视贡献本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种异常调制原因确定装置，所述异常调制原因确定装置具备：工艺数据获取部，从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出，并且与处理对象的管理编号相关联的工艺数据的存储装置中读出所述工艺数据；异常判定部，针对所述多个传感器，持续地计算表示所述工艺数据获取部所读出的工艺数据的调制的程度的异常度；以及原因诊断部，使用因果关系信息，针对所述多个传感器所输出的、所述处理对象的管理编号所对应的工艺数据，判断所述异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，所述因果关系信息定义原因和作为因所述原因产生的影响而出现的、所述多个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。2.根据权利要求1所述的异常调制原因确定装置，其中，所述原因诊断部基于所述多个传感器所输出的、所述处理对象的管理编号所对应的工艺数据中，所述异常判定部所计算出的异常度满足规定的基准的工艺数据的比例，来求出调制的原因的准确度。3.根据权利要求1或2所述的异常调制原因确定装置，所述异常调制原因确定装置还具备：预处理部，使用在所述生产设备中实施的工序所对应且所述管理编号不同的工艺数据，来计算平均的时序数据，基于与所计算出的平均的时序数据的相似度来使所述工艺数据同步，所述异常判定部针对同步后的、所述工序所对应且所述管理编号不同的工艺数据，基于与规定的基准的偏离的程度来计算所述异常度。4.根据权利要求1至3中任一项所述的异常调制原因确定装置，其中，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈洋辉，山野幸一，松本博治，
申请(专利权)人：株式会社大赛璐，
类型：发明
国别省市：