原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构制造方法及图纸

本申请涉及一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构，集尘设备的辅助拆装机构包括升降组件、第一支撑板、横向移动组件、第二支撑板与夹持组件，升降组件与第一支撑板相连，用于驱动第一支撑板升降动作；横向移动组件设置于第一支撑板上，横向移动组件与第二支撑板相连，用于驱动第二支撑板横向移动；第二支撑板上用于放置集尘器单体；夹持组件设置于第二支撑板上，夹持组件用于夹持固定第二支撑板上放置的集尘器单体。不仅可以大大减少作业人员，具体采用1名作业人员即可完成所有操作，能大大降低人力成本；此外，便于集尘器单体的拆装操作，整个维护作业时间可缩短到1小时，工作效率大大提高，且安全性较高。且安全性较高。且安全性较高。

【技术实现步骤摘要】
原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构


[0001]本申请涉及集尘设备
，特别是涉及一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构。

技术介绍

[0002]传统地，原子层堆栈装置包括集尘设备，例如在晶圆进行蚀刻生产反应过程中，通过集尘设备及时地将晶圆所处环境中粉尘去除，从而保证晶圆的生产质量。其中，集尘设备包括支架、装设于支架上的至少一个集尘器单体。集尘设备因为晶圆的生产工艺原因，需要定期地对集尘器单体进行清理维护，以保证晶圆的生产质量。然而，集尘器单体的重量通常至少为15kg，清理维护作业时，需要3个作业人员协同作业，采用手动搬抬方式，才能将集尘器单体从支架上拆卸下来，以及将清理维护后的集尘器单体再安装到支架上，整个作业时长需要耗费2小时。如此可见，集尘设备的集尘器单体定期保养或更换时操作不方便，拆装保养耗费时间较长，以及耗费人力物力，维护成本较高，工作效率较低，安全性较低。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构，它能够便于集尘设备的拆装维护作业，能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述集尘设备的辅助拆装机构包括：升降组件与第一支撑板，所述升降组件与所述第一支撑板相连，用于驱动所述第一支撑板升降动作；横向移动组件与第二支撑板，所述横向移动组件设置于所述第一支撑板上，所述横向移动组件与所述第二支撑板相连，用于驱动所述第二支撑板横向移动，所述第二支撑板上用于放置集尘器单体；夹持组件，所述夹持组件设置于所述第二支撑板上，所述夹持组件用于夹持固定所述第二支撑板上放置的所述集尘器单体。2.根据权利要求1所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述升降组件包括底板与装设于所述底板上的升降机构；所述底板装设于集尘设备的支架上；所述升降机构与所述第一支撑板相连，用于驱动所述第一支撑板升降动作。3.根据权利要求2所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述升降机构为液压缸、气缸、电缸、电机丝杆机构或电机带轮式驱动机构。4.根据权利要求2所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述升降组件还包括控制模块；所述控制模块与所述升降机构电性连接；所述控制模块设置于所述底板上；所述控制模块设有脚踏式控制板、触摸式控制屏、控制按键或控制摇杆。5.根据权利要求1所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述横向移动组件包括设置于所述第一支撑板上的横向导向组件与横向移动机构；所述第二支撑板设置于所述横向导向组件上；所述横向移动机构与所述第二支撑板相连，用于驱动所述第二支撑板横向移动。6.根据权利要求5所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述横向导向组件包括设置于所述第一支撑板上的导向轨，以及设置于所述导向轨上的至少一个滑块，所述第二支撑板与所述滑块相连。7.根据权利要求6所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述导向轨上设置的所述滑块为两个，分别为第一滑块与第二滑块，所述第一滑块与所述第二滑块间隔设置；所述第一支撑板或所述第二支撑板上还设置有限位块，所述限位块位于所述第一滑块与所述第二滑块之间的间隔区域，并用于与所述第一滑块或所述第二滑块抵触限位。8.根据权利要求5所述的集尘设备的辅助拆装机构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘增华，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：