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本申请涉及一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构，集尘设备的辅助拆装机构包括升降组件、第一支撑板、横向移动组件、第二支撑板与夹持组件，升降组件与第一支撑板相连，用于驱动第一支撑板升降动作；横向移动组件设置于第一支撑板上，横向移动组件与...
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