气体取样阱制造技术

一种气体取样阱包含第一级和第二级。所述第一级包含与含硫物质反应以产生酸性气体的金属盐。所述第二级被配置成接收在所述第一级中产生的所述酸性气体。所述第二级中的吸附衬底吸附所述酸性气体。一种对气体进行取样的方法包含将气体引导到第一级内的金属级上以产生酸性气体、将所述酸性气体引导到所述第二级中以及用吸附衬底吸附所述第二级中的所述酸性气体。一种检测气体中含硫物质的浓度的方法包含用取样阱对气体进行取样、用溶剂从所述取样阱的吸附衬底将经吸附酸性气体解吸附以及用离子色谱法测试所述溶剂。用离子色谱法测试所述溶剂。用离子色谱法测试所述溶剂。

【技术实现步骤摘要】
气体取样阱


[0001]本技术涉及用于污染物的气体取样。确切地说，本技术涉及用于取样气体中以检测含硫污染物的取样阱。

技术介绍

[0002]气体取样可用于化学处理、半导体制造、气体分布等以检测气流中的污染物。确切地说，气体取样可用于检测气流中通过空气传播的微污染物。可取样的气流的实例可包含但不限于经过滤空气(例如，洁净干燥空气等)、环境空气、经纯化氮气和经纯化氢气。罐取样用气体的样本填充取样罐。气体取样阱可被配置成在取样阱内仅含有所关注的特定化合物。样本罐或气体取样阱的内含物可用于确定经取样气体中污染物的浓度。

技术实现思路

[0003]在实施例中，一种气体取样阱包含第一级和第二级。所述第一级包含用于接收气流的入口以及金属盐。所述金属盐被配置成与气体中所含的含硫物质反应以产生酸性气体。所述第二级以流体方式连接到所述第一级以使得在所述第一级中产生的所述酸性气体流动到所述第二级中。所述第二级包含被配置成吸附流动通过所述第二级的所述酸性气体的吸附衬底。
[0004]在实施例中，所述金属盐与所述含硫物质的所述反应产生所述酸性气体和金属硫化合物。
[0005]在实施例中，所述金属盐包含硝酸银、乙酸锌和乙酸铜中的一或多者。
[0006]在实施例中，所述含硫物质包含硫化氢、二甲硫、二硫二甲烷、甲硫醇和甲硫醚化合物中的一或多者。
[0007]在实施例中，所述酸性气体包含硝酸和乙酸中的一或多者。
[0008]在实施例中，所述吸附衬底吸附所述酸性气体以使得所述酸性气体在10天的周期之后保持稳定地吸附到所述吸附衬底。
[0009]在实施例中，所述吸附衬底为多孔聚合物膜，所述多孔聚合物膜吸附所述酸性气体以使得所述酸性气体被截留在所述多孔聚合物膜内。
[0010]在实施例中，所述气体含有小于十亿分之400的所述含硫物质。
[0011]在实施例中，所述气体为经过滤空气、环境空气、经纯化氮气和经纯化氢气中的一者。
[0012]在实施例中，所述气体取样阱针对所述含硫物质具有至少90％的捕获效率。
[0013]在实施例中，所述第一级和所述第二级设置在单个外壳内。
[0014]在实施例中，所述气体取样阱包含设置于所述第二级中的出口以及从所述入口延伸到所述出口的流动路径。所述流动路径被配置成引导气流通过串联的所述第一级和所述第二级并且将所述第一级中产生的所述酸性气体引导到所述第二级中。
[0015]在实施例中，所述气体取样阱包含第一外壳、第二外壳以及将所述第一外壳以流
体方式连接到所述第二外壳的通道。所述第一外壳含有所述第一级且包含中间出口。所述第二外壳含有所述第二级且包含中间入口。所述通道从所述中间出口延伸到所述中间入口。
[0016]在实施例中，一种方法涉及利用气体取样阱对气体进行取样，所述气体取样阱包含第一级和具有吸附衬底的第二级。所述方法包含引导气流通过串联的所述第一级和所述第二级。对所述气流的此引导包含将所述气体引导到所述第一级内的金属盐上以使所述金属盐与所述气体中的含硫物质反应以产生酸性气体。对所述气流的所述引导还包含将所述酸性气体从所述第一级引导到所述第二级中，以及用所述吸附衬底吸附流动通过所述第二级的所述酸性气体。
[0017]在实施例中，所述吸附衬底为多孔聚合物膜。对流动通过所述第二级的所述酸性气体的所述吸附包含将所述酸性气体截留在所述多孔聚合物膜内。
[0018]在实施例中，一种方法涉及检测气体中含硫物质的浓度。所述方法包含利用气体取样阱对所述气体进行取样、将所述气体取样阱与取样歧管断开连接以及引导溶剂通过第二级以将经吸附酸性气体从吸附衬底解吸附到所述溶剂中。所述方法还包含用离子色谱法测试含有经解吸附酸性气体的所述溶剂以确定所述气体中所述含硫物质的所述浓度。
附图说明
[0019]图1为气体取样系统的实施例的俯视图。
[0020]图2为根据实施例的图1中的气体取样系统的气体取样阱的俯视图。
[0021]图3为根据实施例的图2中的气体取样阱的纵向横截面视图。
[0022]图4为气体取样阱的实施例的纵向横截面视图。
[0023]图5为检测气体中含硫物质的浓度的方法的框流程图。
[0024]相同数字表示相同特征。
具体实施方式
[0025]本技术涉及用于污染物的气体取样。确切地说，本技术涉及用于取样气体中以检测污染物的气体阱。举例来说，本文中的气体取样阱被配置成对气体中通过空气传播的微污染物进行取样。
[0026]图1为气体取样系统1的俯视图。气体取样系统1包含取样歧管和多个气体取样阱20、22、24、30。气体取样系统1可对气流中的一或多个污染物进行取样。取样歧管具有歧管入口12和歧管出口14，且气体从歧管入口12流动通过取样歧管到达歧管出口14。待取样的气体F1被供应到歧管入口12。气体F1流动通过气体取样系统1且从出口14排出。在图式中提供虚线箭头以示出气流。举例来说，图1包含虚线箭头以示出气体F1流动通过气体取样系统1。气体取样阱20、22、24、30在取样歧管内并联连接。当气体F1从歧管入口12流动通过取样歧管到达歧管出口14时，所述气体流动通过并联的气体取样阱20、22、24、30。举例来说，气体F1的相应部分被引导流动通过每一气体取样阱20、22、24、30。
[0027]气体取样阱20、22、24、30可对气体F1中的各个组分进行取样。气体取样阱30被配置成对气体F1中的含硫物质进行取样，如下文更详细地论述。气体取样阱20、22、24、30被配置成从取样歧管无损地断开连接(例如，拧开等)。举例来说，这允许容易地去除气体取样阱
以供测试其内含物。在所示出的实施例中，气体取样系统1包含四个气体取样阱20、22、24、30。然而，应了解，在其它实施例中，气体取样系统1可具有一或多个气体取样阱。在一些实施例中，可在无取样歧管的情况下采用气体取样阱30。举例来说，气体取样阱30可在无取样歧管的情况下直接连接到气体源(未展示)。
[0028]图2为根据实施例的样本阱30的俯视图。取样阱30包含入口32和出口34。气体通过从入口32进入且从出口34离开而流动通过取样阱30。待通过取样阱30取样的气体F1的气流(其可被称为“样本气体”)被供应到取样阱30的入口32。举例来说，取样歧管将样本气体F1的气流提供到取样阱30的入口32。
[0029]图3为根据实施例的样本阱30的纵向横截面视图。图3中的横截面视图是沿着图2中所指示的线III
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III。取样阱30为多级样本阱。如图3中所展示，取样阱30包含第一级50和第二级70。第一级50和第二级70以流体方式串联连接。取样阱30具有从入口32延伸到出口34的流动路径36。样本气体F1通过从其入口32穿过流动路径36流动到其出口34而流动通过取样阱30。流动路径36引导样本气体F1从入口32流动通过第一级50、从第一级50流动到第二级70且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体取样阱，其特征在于其包括：第一级，其包含用于接收气流的入口，所述第一级含有被配置成与气体中所含的含硫物质反应以产生酸性气体的金属盐；以及第二级，其以流体方式连接到所述第一级以使得在所述第一级中产生的所述酸性气体流动到所述第二级中，所述第二级含有被配置成吸附流动通过所述第二级的所述酸性气体的吸附衬底。2.根据权利要求1所述的气体取样阱，其特征在于所述金属盐与所述含硫物质的所述反应产生所述酸性气体和金属硫化合物。3.根据权利要求1所述的气体取样阱，其特征在于所述金属盐包含硝酸银、乙酸锌或乙酸铜。4.根据权利要求1所述的气体取样阱，其特征在于所述吸附衬底吸附所述酸性气体以使得所述酸性气体在10天的周期之后保持稳定地吸附到所述吸附衬底。5.根据权利要求1所述的气体取样阱，其特征在于所述吸附衬底为多孔聚合物膜，所述多孔聚合物膜吸附所述酸性气体以使得所述酸性气体被截留在所述多孔聚合物膜内。6.根据权利要求1所述的气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：C，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：新型
国别省市：