一种减少变形的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨舟技术领域，尤其是涉及一种减少变形的石墨舟，包括固定组件以及石墨舟本体，石墨舟本体包括若干从前往后依次平行布置的石墨舟片，石墨舟片之间通过若干连接杆串接，且每个连接杆的两端均通过石墨螺母固定，固定组件安装在石墨舟本体底面；固定组件包括若干加强杆，加强杆一端和位于首个的石墨舟片的后端面固定连接，加强杆的另一端和位于最后一个的石墨舟片的前端面固定连接，且加强杆和石墨舟片之间存在夹角，通过在底部添加倾斜的加强杆的设计，使得石墨舟的结构得到了加强，从而减少了石墨舟的扭曲变形量，从而进一步提高了硅片与石墨舟片的密切贴合，减少了漏气的产生，使镀膜更加均匀。使镀膜更加均匀。使镀膜更加均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种减少变形的石墨舟


[0001]本技术涉及石墨舟
，尤其是涉及一种减少变形的石墨舟。

技术介绍

[0002]石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。现有技术中在实际使用中石墨舟需要承载大量的电池片，在长期使用过程中容易因重力以及承载的电池片而产生较大的变形。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术中在实际使用中石墨舟需要承载大量的电池片，在长期使用过程中容易因重力以及承载的电池片而产生较大的变形的问题，提供一种减少变形的石墨舟。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种减少变形的石墨舟，包括固定组件以及石墨舟本体，石墨舟本体包括若干从前往后依次平行布置的石墨舟片，石墨舟片之间通过若干连接杆串接，且每个连接杆的两端均通过石墨螺母固定，固定组件安装在石墨舟本体底面；
[0005]固定组件包括若干加强杆，加强杆一端和位于首个的石墨舟片的后端面固定连接，加强杆的另一端和位于最后一个的石墨舟片的前端面固定连接，且加强杆和石墨舟片之间存在夹角，通过在底部添加倾斜的加强杆的设计，使得石墨舟的结构得到了加强，从而减少了石墨舟的扭曲变形量，从而进一步提高了硅片与石墨舟片的密切贴合，减少了漏气的产生，使镀膜更加均匀。
[0006]进一步包括石墨舟本体的底部间隔安装有若干连接杆，相邻两个加强杆中一个加强杆的首端和另一个加强杆的尾端套设在同一个连接杆上。
[0007]进一步包括加强杆包括支撑板以及两个安装座，支撑板布置在两个安装座之间，且支撑板端部和其所在侧安装座固定连接，安装座上开设有用于供连接杆穿过的通孔，安装座安装在其中一个连接杆上。
[0008]进一步包括支撑板两端上均开设有与石墨舟片平行的定位面。
[0009]进一步包括安装座的宽度a和相邻相邻石墨舟片之间的间隙b相等。
[0010]本技术的有益效果是：本技术提供的一种减少变形的石墨舟，通过在底部添加倾斜的加强杆的设计，使得石墨舟的结构得到了加强，从而减少了石墨舟的扭曲变形量，从而进一步提高了硅片与石墨舟片的密切贴合，减少了漏气的产生，使镀膜更加均匀。
附图说明
[0011]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0012]图1是本技术的正视结构示意图；
[0013]图2是本技术的仰视结构示意图；
[0014]图3是本技术的立体结构示意图；
[0015]图4是本技术加强杆的立体结构示意图；
[0016]图5是本技术加强杆的仰视结构示意图。
[0017]图中：1、固定组件，11、加强杆，111、支撑板，1111、定位面，112、安装座，1121、通孔，2、石墨舟本体，21、石墨舟片，22、连接杆。
具体实施方式
[0018]现在结合附图对本技术做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0019]如图1是本技术的结构示意图，一种减少变形的石墨舟，包括固定组件1以及石墨舟本体2，石墨舟本体2包括若干从前往后依次平行布置的石墨舟片21，石墨舟片21之间通过若干连接杆22串接，且每个连接杆22的两端均通过石墨螺母固定，固定组件1安装在石墨舟本体2底面；
[0020]如图1、图2、图3所示，固定组件1包括若干加强杆11，加强杆11一端和位于首个的石墨舟片21的后端面固定连接，加强杆11的另一端和位于最后一个的石墨舟片21的前端面固定连接，且加强杆11和石墨舟片21之间存在夹角，通过在底部添加倾斜的加强杆11的设计，使得石墨舟的结构得到了加强，从而减少了石墨舟的扭曲变形量，从而进一步提高了硅片与石墨舟片的密切贴合，减少了漏气的产生，使镀膜更加均匀。
[0021]如图2、图3所示，石墨舟本体2的底部间隔安装有若干连接杆22，相邻两个加强杆11中一个加强杆11的首端和另一个加强杆11的尾端套设在同一个连接杆22上，连接杆22为陶瓷杆。
[0022]如图4、图5所示，加强杆11包括支撑板111以及两个安装座112，支撑板111布置在两个安装座112之间，且支撑板111端部和其所在侧安装座112固定连接，安装座112上开设有用于供连接杆22穿过的通孔1121，安装座112安装在其中一个连接杆22上，安装座112和支撑板111为一体化成型结构、安装座112和支撑板111之间采用焊接固定。
[0023]如图2、图4、图5所示，支撑板111两端上均开设有与石墨舟片21平行的定位面1111，便于加强杆11和石墨舟对接增加连接强度，以及能够形成面支撑。
[0024]如图2、图3所示，安装座112的宽度a和相邻相邻石墨舟片21之间的间隙b相等。
[0025]可减少石墨舟扭曲变形的底部的加强杆11设计，加强杆11的安装座112两端开通孔1121，加强杆11一端套入石墨舟底部左侧外层的一根陶瓷杆中，另一端则套入石墨舟右侧外层的第三根陶瓷杆中，以此达到固定住石墨舟相邻两槽，同样的，在其他舟位也加入加强杆11，从而固定住整个的石墨舟，为了防止加强杆11与舟片底部接触导致断裂或损伤，加强杆11需要呈现大U字型，石墨舟两侧的石墨块也需要加高来防止斜拉杆与镀膜设备的底部辅热管接触，从而压碎加强杆11。
[0026]以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术
性范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减少变形的石墨舟，其特征是，包括固定组件(1)以及石墨舟本体(2)，所述石墨舟本体(2)包括若干从前往后依次平行布置的石墨舟片(21)，所述石墨舟片(21)之间通过若干连接杆(22)串接，且每个连接杆(22)的两端均通过石墨螺母固定，所述固定组件(1)安装在石墨舟本体(2)底面；所述固定组件(1)包括若干加强杆(11)，所述加强杆(11)一端和位于首个的石墨舟片(21)的后端面固定连接，加强杆(11)的另一端和位于最后一个的石墨舟片(21)的前端面固定连接，且所述加强杆(11)和石墨舟片(21)之间存在夹角。2.如权利要求1所述的一种减少变形的石墨舟，其特征在于：所述石墨舟本体(2)的底部间隔安装有若干连接杆(22)，相邻两个加强杆(11)中一个加强杆(11)的首端...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏丹丹，张飞，孙铁囤，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：