一种PECVD主机台炉管清理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种PECVD主机台炉管清理装置，属于太阳能电池制备技术领域，所述装置石英耙、柄部、固定螺丝；所述石英耙安装于柄部的一端，所述石英耙底部为弧形，与石英管弧度一致，所述石英耙左右为弧形，弧度大于辅热管弧度；采用石英耙，避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝，而且石英耙的头部设计为弧形，规避了很多磕碰点，对设备及石英耙都有很好的保护，柄采用不锈钢材质，价格优惠便于购买且易加工，使用本实用新型专利技术的清理装置不仅能减少粉尘污染及硅片污染频次，有效提高产能，还能降低对石英管的破坏。还能降低对石英管的破坏。还能降低对石英管的破坏。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD主机台炉管清理装置


[0001]本技术属于太阳能电池制备
，尤其涉及一种PECVD主机台炉管清理装置。

技术介绍

[0002]PECVD即等离子增强化学气相沉积，在太阳能电池生产制备过程中，用于太阳能电池表面沉积深蓝色减反膜。管式PECVD系统，即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。管式PECVD石英管在长时间使用后或真空泵停机死机时，反应物沉积会在石英管管壁，造成粉尘堆积，在使用时粉尘将在腔体内流动，吸附在太阳能电池的表面，造成产品表面污染。目前，常用金属钢丝耙清理，金属耙会破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝，易造成粉尘扬起，污染舟和硅片，且金属耙材质硬，极易损坏炉管内部热偶及石英管等备件。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种PECVD主机台炉管清理装置，采用石英耙，避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝。
[0004]为实现以上目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种PECVD主机台炉管清理装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，包括：石英耙、柄部；所述石英耙固定安装于柄部的一端，所述石英耙头部为弧形，与石英管弧度一致，所述石英耙左右为弧形，弧度大于辅热管弧度。2.根据权利要求1所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述石英耙的左右弧度半径为4cm，底部弧度半径26cm。3.根据权利要求1或2所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述石英耙头部的整体宽度为6cm，高6.81cm。4.根据权利要求1或2所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡兆勇，岳成武，杨灼坚，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：