【技术实现步骤摘要】
一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置
[0001]本技术涉及太阳能电池片加工
,具体为一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置。
技术介绍
[0002]镀膜PECVD是太阳能电池片制造生产过程中的重要工序之一,在光伏行业,PECVD即等离子体增强化学气相沉积,时借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,在电池片上沉积出薄膜,在管式PECVD生产过程中,需要把插满硅片的石墨舟送进炉管,待镀膜结束后在把石墨舟拉出来,插满硅片的石墨舟每次在炉管里面的时间为40分钟左右,炉管内温度在350℃~500℃左右,石墨舟出管冷却时间较短,石墨舟本体温度较高。
[0003]在管式PECVD生产过程中,自动化等待石墨舟冷却时间不固定,设置为固定延时产能损失较大,因而需要通过温度检测仪器检测石墨舟的实际温度控制进出,从而保证达到自动化机器人插卸片的要求减少掉片,降低碎片率,减少设备故障,但是目前所使用的固定延时器,在使用过程中仍然存在较为明显的缺陷。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[ ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置,包括镀膜温度传感器装置(4)、L型连接调整支架(3)、石墨舟(1)、片台小车(2)和接驳C横杆(5),其特征在于:所述L型连接调整支架(3)上固定有镀膜温度传感器装置(4),所述L型连接调整支架(3)的右侧固定有接驳C横杆(5),所述石墨舟(1)放置在片台小车(2)上运动到固定位置,所述镀膜温度传感器装置(4)通过调整角度照射在石墨舟(1)上用以检测温度;所述镀膜温度传感器装置(4)上开设有光电开槽口(91),所述镀膜温度传感器装置(4)上装配有位于光电开槽口(91)内的光电感应器(90),所述镀膜温度传感器装置(4)连接有信号线(95)传输信号给自动化控制实际等待时间。2.根据权利要求1所述的一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置,其特征在于:所述镀膜温度传感器装置(4)通过第一螺丝与L型连接调整支架(3)装配为一体,所述L型...
【专利技术属性】
技术研发人员:李文汉,李宁,李军勇,
申请(专利权)人:江苏润阳光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。