一种微型电磁执行器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种微型电磁执行器及其制备方法。该微型电磁执行器包括转子和定子；所述转子包含质量块和永磁薄膜，所述定子的主体为硅基板；所述转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置于定子上方，所述定子为同时嵌有驱动线圈和检测线圈的硅基板。该方法包括步骤S1、制备转子；步骤S2、制备定；步骤S3、将转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置在定子上方，获得微型电磁执行器。本发明专利技术实现了驱动/定位一体化集成的微型电磁执行器，有利于微型电磁执行器的小型化和实用化。磁执行器的小型化和实用化。磁执行器的小型化和实用化。

【技术实现步骤摘要】
一种微型电磁执行器及其制备方法


[0001]本专利技术属于微型电磁执行器
，具体涉及一种微型电磁执行器及其制备方法。

技术介绍

[0002]特征尺寸在数微米～亚毫米量级的微型电磁执行器具有力密度大、环境适应性强、驱动距离长等优点，可应用于靶向输送、手术机器人等医疗器械中，具有广泛的应用场景。
[0003]实现位置检测及反馈功能是微型电磁执行器实用化的关键技术。目前，该功能的实现需要依赖各类附加的传感器，如激光位移传感器、涡流传感器、隧道磁阻传感器等。这些传感器体积大，难以与微型执行器集成，需要额外的装配工艺，从而引起定位精度低、制备复杂等问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的上述不足，本专利技术提供一种驱动/定位一体化的微型电磁执行器及其制造方法。具体方案如下：
[0005]一种微型电磁执行器，其特征在于，该微型电磁执行器包括转子和定子；所述转子包含质量块和永磁薄膜，所述定子的主体为硅基板；所述转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置于定子上方。
[0006]进一步，所述硅基板靠近转子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型电磁执行器，其特征在于，该微型电磁执行器包括转子和定子；所述转子包含质量块和永磁薄膜，所述定子的主体为硅基板；所述转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置于定子上方。2.根据权利要求1所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述硅基板靠近转子一侧的表面上嵌有驱动线圈，且在该侧表面上生长有检测线圈和用以填平表面的树脂。3.根据权利要求2所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述驱动线圈为两相平面式线圈，且两相线圈驱动电流的相位差为180
°
；所述检测线圈为单相平面线圈；所述检测线圈(5)和所述驱动线圈在俯视方向上走线不相交；所述驱动线圈中每相线圈成“几”字形蜿蜒排列，两相线圈交替分布。4.根据权利要求1所述的微型电磁执行器，其特征在于，硅基板远离转子一侧的表面上嵌有驱动线圈；硅基板靠近转子一侧的表面上生长检测线圈和用以填平表面的树脂。5.根据权利要求4所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述驱动线圈为两相平面式线圈，且两相线圈驱动电流的相位差为180
°
；所述驱动线圈两相线圈在转子运动方向上分布相错半个周期；所述检测线圈为单相平面线圈。6.根据权利要求5所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述驱动线圈中每相线圈成“几”字形蜿蜒排列，其中一相线圈以转子运动方向为中线，对称地分布在硅基板两侧靠近边缘处；另一相线圈分布在所述一相线圈的中间。7.根据权利要求1
‑
6任一项所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述永磁薄膜为多极充磁的永磁薄膜。8.根据权利要求2或4任一项所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述检测线...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈明山，熊壮，王月，支钞，李严军，刘宇，王欣玥，张笑，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：