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本发明公开了一种微型电磁执行器及其制备方法。该微型电磁执行器包括转子和定子；所述转子包含质量块和永磁薄膜，所述定子的主体为硅基板；所述转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置于定子上方，所述定子为同时嵌有驱动线圈和检测线圈的硅基板。该方法包...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

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