管式PECVD真空设备及电池片生产系统技术方案

本实用新型专利技术涉及光伏设备技术领域，提供一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统。该管式PECVD真空设备，包括：多路第一真空管路；第二真空管路，多路第一真空管路并联连接在第二真空管路的一端；第一控制阀，第一控制阀设于第二真空管路上；第一真空泵，第二真空管路的另一端与第一真空泵连接。本实用新型专利技术提供的一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统，其通过将多路第一真空管路并联连接在一路第二真空管路，在第二真空管路上连接设置第一控制阀和第一真空泵，使得多路第一真空管路共用一套第一控制阀和第一真空泵，减少第一控制阀和第一真空泵的使用数量，并能够合理布局管路，减小占用空间。小占用空间。小占用空间。

【技术实现步骤摘要】
管式PECVD真空设备及电池片生产系统


[0001]本技术涉及光伏设备
，尤其涉及一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统。

技术介绍

[0002]随着光伏产品的成本降低，光伏设备不可避免地需要降低成本，增大产能，管式PECVD是电池片产线中的重要设备。真空系统是管式PECVD的重要组成部分，通过减少部件可降低真空系统的成本。
[0003]目前，管式PECVD气源柜真空系统中每根管路均采用一个真空泵进行慢抽和主抽，其导致了成本高，管道布局复杂，占用空间大的缺陷。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统，用以解决现有技术中由于PECVD气源柜真空系统中每根管路均采用一个真空泵进行慢抽和主抽，导致的成本高，管路布局复杂，占用空间大的缺陷。
[0005]本技术提供一种管式PECVD真空设备，包括：
[0006]多路第一真空管路；
[0007]第二真空管路，所述多路第一真空管路并联连接在所述第二真空管路的一端；
[0008]第一控制阀，所述第一控制阀设于所述第二真空管路上；
[0009]第一真空泵，所述第二真空管路的另一端与所述第一真空泵连接。
[0010]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，所述第一真空管路包括：
[0011]第一管路；
[0012]第二管路，所述第二管路与所述第一管路呈角度连接，且所述第二管路与所述第二真空管路连接；
[0013]角阀，所述角阀设于所述第二管路与所述第一管路的连接处。
[0014]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，还包括波纹管，所述波纹管设于所述第一管路远离所述第二管路的一端。
[0015]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，还包括：
[0016]慢抽管，所述慢抽管的一端与所述第一真空管路连接；
[0017]第二真空泵，所述第二真空泵与所述慢抽管的另一端连接。
[0018]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，所述慢抽管包括：
[0019]干路慢抽管，所述干路慢抽管的一端与所述第二真空泵连接；
[0020]多根支路慢抽管，多根所述支路慢抽管的一端分别连接在所述干路慢抽管上，且多根所述支路慢抽管的另一端一一对应地连接在所述第一真空管路上。
[0021]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，还包括：多个第二控制阀，所述第二控制阀一一对应地设于所述支路慢抽管上。
[0022]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，还包括：压力开关，所述压力开关一一对应地设于所述第一真空管路上。
[0023]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，还包括：第一支座，所述第一支座一一对应地设于所述第一真空管路。
[0024]根据本技术提供的一种管式PECVD真空设备，还包括：第二支座，所述第二支座一一对应地设于所述第一真空管路。
[0025]本技术还提供一种电池片生产系统，包括：本技术实施例中的管式PECVD真空设备。
[0026]本技术提供的一种管式PECVD真空设备，其通过将多路第一真空管路并联连接在一路第二真空管路，在第二真空管路上连接设置第一控制阀和第一真空泵，使得多路第一真空管路共用一套第一控制阀和第一真空泵，减少第一控制阀和第一真空泵的使用数量，并能够合理布局管路，减小占用空间。
[0027]进一步地，本技术还提供一种电池片生产系统，其采用了上述实施例中的管式PECVD真空设备，因此具有如上同样的优势。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1是本技术提供的管式PECVD真空设备的结构示意图；
[0030]图2是本技术提供的管式PECVD真空设备的主视图；
[0031]图3是本技术提供的管式PECVD真空设备的俯视图；
[0032]图4是本技术提供的管式PECVD真空设备的左视图；
[0033]图5是图1中第一真空管路、慢抽管、第一支座和第二支座的局部细节图。
[0034]附图标记：
[0035]1：第一真空管路；11：第一管路；12：第二管路；13：角阀；2：第二真空管路；3：第一控制阀；4：第一真空泵；5：波纹管；6：慢抽管；61：干路慢抽管；62：支路慢抽管；7：第二真空泵；8：第二控制阀；9：压力开关；101：第一支座；102：第一支座。
具体实施方式
[0036]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0037]下面结合图1至图5描述本技术的一种管式PECVD真空设备。该管式PECVD真空设备包括：多路第一真空管路1、第二真空管路2、第一控制阀3和第一真空泵4。
[0038]其中，多路第一真空管路1并联连接在第二真空管路2的一端；第一控制阀3设于第
二真空管路2上；第二真空管路2的另一端与第一真空泵4连接。
[0039]具体来说，如图1至图5所示，可以将两路第一真空管路1并联在一路第二真空管路2上，而第二真空管路2可采用一路或多路，每一路第二真空管路2对应设置一个第一控制阀3和一个第一真空泵4。在本实施例中，第二真空管路2设置两路，第一控制阀3和第一真空泵4也分别对应设置两个。
[0040]在本实施例中，通过多路第一真空管路1并联连接在一路第二真空管路2，在一路第二真空管路2中利用一个第一控制阀3同时控制多路第一真空管路1的使用，并利用一个真空泵为一路第二真空管路2和多路第一真空管路1提供真空环境。通过多路第一真空管路1共用第一控制阀3和第一真空泵4，减少二者的使用数量，并合理设置管路布局，减小占用空间。
[0041]本技术提供的一种管式PECVD真空设备，其通过将多路第一真空管路1并联连接在一路第二真空管路2，在第二真空管路2上连接设置第一控制阀3和第一真空泵4，使得多路第一真空管路1共用一套第一控制阀3和第一真空泵4，减少第一控制阀3和第一真空泵4的使用数量，并能够合理布局管路，减小占用空间。
[0042]在本技术提供的一种实施例中，第一真空管路1包括：第一管路11和第二管路12。第二管路12与第一管路11呈角度连接，且第二管路12与第二真空管路2连接；角阀13设于第二管路1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD真空设备，其特征在于，包括：多路第一真空管路；第二真空管路，所述多路第一真空管路并联连接在所述第二真空管路的一端；第一控制阀，所述第一控制阀设于所述第二真空管路上；第一真空泵，所述第二真空管路的另一端与所述第一真空泵连接。2.根据权利要求1所述的管式PECVD真空设备，其特征在于，所述第一真空管路包括：第一管路；第二管路，所述第二管路与所述第一管路呈角度连接，且所述第二管路与所述第二真空管路连接；角阀，所述角阀设于所述第二管路与所述第一管路的连接处。3.根据权利要求2所述的管式PECVD真空设备，其特征在于，还包括波纹管，所述波纹管设于所述第一管路远离所述第二管路的一端。4.根据权利要求1所述的管式PECVD真空设备，其特征在于，还包括：慢抽管，所述慢抽管的一端与所述第一真空管路连接；第二真空泵，所述第二真空泵与所述慢抽管的另一端连接。5.根据权利要求4所述的管式PECVD真空设备，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：左忆康，廖惠东，汤芳，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：