一种晶圆单片清洗机的清洗篮制造技术

本申请涉及晶圆清洗设备技术的领域，尤其涉及一种晶圆单片清洗机的清洗篮，其包括第一底板、第二底板、把手和夹持组件，第一底板和第二底板之间设有用于调节两者之间距离的调节组件，把手连接于第二底板的侧边，夹持组件在第一底板和第二底板上分别设有一组，夹持组件包括安装座、转轴、转动板、弹性压块、转动杆和限位块，安装座在第一底板和第二底板上分别设置有一个，转轴转动连接于安装座上，转轴穿过转动板的端部，弹性压块连接于转动板上，转动杆转动连接于安装座上，限位块连接于转动杆的端部，转动板上开设有供限位块穿过限位孔。本申请具有使晶圆清洗花篮符合实验使用要求，适用于多种尺寸的晶圆，提高实验效率和清洗效果的作用。的作用。的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆单片清洗机的清洗篮


[0001]本技术涉及晶圆清洗设备技术的领域，尤其是涉及一种晶圆单片清洗机的清洗篮。

技术介绍

[0002]晶圆的清洗是芯片制造业一大常见步骤，晶圆的清洗方式从数量上可分为单片清洗和多片清洗，实验中经常会针对不同尺寸的单片晶圆展开不同工艺条件的模拟生产，大部分操作过程都是对单片晶圆进行清洗，传统的清洗花篮都是适用于多片晶圆的清洗，尺寸大，外形笨重，容量多，使得一次性需要配置的晶圆数量实验用腐蚀液太多，使用过程中对于晶圆也没有固定，在超声波清洗中晶圆易于自身震动与超声波的震动相抵，影响实验效率和清洗效果，取放片不方便，无法满足对单片晶清洗要求。

技术实现思路

[0003]为了使晶圆清洗花篮符合实验使用要求，适用于多种尺寸的晶圆，提高实验效率和清洗效果，本申请提供一种晶圆单片清洗机的清洗篮。
[0004]本申请提供的一种晶圆单片清洗机的清洗篮采用如下的技术方案：
[0005]一种晶圆单片清洗机的清洗篮，包括第一底板、第二底板、把手和夹持组件，所述第一底板和第二底板之间设有用于调节两者之间距离的调节组件，所述第一底板和第二底板相互平行且位于同一平面内，所述把手连接于第二底板的侧边，所述夹持组件在第一底板和第二底板上分别设有一组，所述夹持组件包括安装座、转轴、转动板、弹性压块、转动杆和限位块，所述安装座在第一底板和第二底板上分别设置有一个，所述转轴转动连接于安装座上，所述安装座上开设有用于安装转轴的安装孔，所述转轴穿过转动板的端部，所述转动板上开设有供转轴穿过的通孔，所述弹性压块连接于转动板上，所述弹性压块位于转动板远离转轴的一端，所述弹性压块朝向所在第一底板或第二底板的方向设置，所述转动杆转动连接于安装座上，所述限位块连接于转动杆的端部，所述转动板上开设有供限位块穿过限位孔。
[0006]优选的，所述调节组件包括双向螺纹杆、调节螺母和限位板，所述调节螺母连接于双向螺纹杆的中心位置，所述双向螺纹杆连接于第一底板和第二底板之间，所述第一底板和第二底板上均开设有供双向螺纹杆穿入的螺纹孔，所述双向螺纹杆沿第一底板和第二底板的轴线方向设置，所述限位板连接于第一底板上，所述限位板位于第一底板朝向第二底板的侧壁上，所述第二底板上开设有供限位板插入的限位槽，所述限位板位于双向螺纹杆的上方。
[0007]优选的，所述安装座上连接有挤压垫块，所述挤压垫块位于两个安装座相对的侧壁上。
[0008]优选的，所述第一底板和第二底板上均设有凸起，所述凸起在第一底板和第二底板上均匀排布有若干。
[0009]综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
[0010]本技术通过设置第一底板、第二底板、把手、夹持组件和调节组件，该清洗篮可根据晶圆的尺寸通过调节组件调节第一底板和第二底板之间的距离，使得不同尺寸的晶圆能够放置于第一底板和第二底板上，接着利用夹持组件可对晶圆进行固定，减少晶圆在超声波清洗中自身的震动，还可通过把手在不接触超声波清洗液的情况下拿取清洗篮，从而达到了使晶圆清洗花篮符合实验使用要求，适用于多种尺寸的晶圆，提高实验效率和清洗效果的作用。
附图说明
[0011]图1是本申请实施例中晶圆单片清洗机的清洗篮的正视图；
[0012]图2是本申请实施例中晶圆单片清洗机的清洗篮的俯视图；
[0013]图3是本申请实施例中用于体现夹持组件的剖视图；
[0014]图4是本申请实施例中用于体现调节组件的剖视图。
[0015]附图标记说明：1、第一底板；2、第二底板；21、限位槽；3、把手；4、夹持组件；41、安装座；411、挤压垫块；42、转轴；43、转动板；431、限位孔；44、弹性压块；45、转动杆；46、限位块；5、调节组件；51、双向螺纹杆；52、调节螺母；53、限位板；6、螺纹孔；7、凸起。
具体实施方式
[0016]以下结合附图1
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4对本申请作进一步详细说明。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个原件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]本申请实施例公开一种晶圆单片清洗机的清洗篮。参照图1、图2和图3，晶圆单片清洗机的清洗篮包括第一底板1、第二底板2、把手3和夹持组件4，第一底板1和第二底板2之间设有用于调节两者之间距离的调节组件5，第一底板1和第二底板2相互平行且位于同一平面内，把手3连接于第二底板2的侧边，夹持组件4在第一底板1和第二底板2上分别设有一组，两组夹持组件4以第一底板1和第二底板2之间的分界线对称设置，夹持组件4包括安装座41、转轴42、转动板43、弹性压块44、转动杆45和限位块46，安装座41在第一底板1和第二底板2上分别连接有一个，转轴42转动连接于安装座41上，转轴42沿安装座41的宽度方向设置，安装座41上开设有用于安装转轴42的安装孔，转轴42穿过转动板43的端部，转动板43上开设有供转轴42穿过的通孔，弹性压块44连接于转动板43上，弹性压块44位于转动板43远离转轴42的一端，弹性压块44朝向所在第一底板1或第二底板2的方向设置，转动杆45转动连接于安装座41上，转动杆45的端部开设有螺纹槽，安装座41上开设有与螺纹槽相配的转
动孔，限位块46连接于转动杆45的端部，转动板43上开设有供限位块46穿过限位孔431。
[0019]参照图4，调节组件5包括双向螺纹杆51、调节螺母52和限位板53，调节螺母52连接于双向螺纹杆51的中心位置，双向螺纹杆51连接于第一底板1和第二底板2之间，第一底板1和第二底板2上均开设有供双向螺纹杆51穿入的螺纹孔6，双向螺纹杆51沿第一底板1和第二底板2的轴线方向设置，限位板53连接于第一底板1上，限位板53位于第一底板1朝向第二底板2的侧壁上，限位板53沿第一底板1的长度方向设置，第二底板2上开设有供限位板53插入的限位槽21，限位板53位于双向螺纹杆51的上方，通过转动调节螺母52以及在限位板53的限位作用下，第一底板1和第二底板2能够沿着双向螺纹杆51的轴向左右移动，从而调节第一底板1和第二底板2之间的距离。
[0020]参照图3，安装座41上连接有挤压垫块411，挤压垫块411位于两个安装座41相对的侧壁上，其中挤压垫块411采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆单片清洗机的清洗篮，其特征在于：包括第一底板(1)、第二底板(2)、把手(3)和夹持组件(4)，所述第一底板(1)和第二底板(2)之间设有用于调节两者之间距离的调节组件(5)，所述第一底板(1)和第二底板(2)相互平行且位于同一平面内，所述把手(3)连接于第二底板(2)的侧边，所述夹持组件(4)在第一底板(1)和第二底板(2)上分别设有一组，所述夹持组件(4)包括安装座(41)、转轴(42)、转动板(43)、弹性压块(44)、转动杆(45)和限位块(46)，所述安装座(41)在第一底板(1)和第二底板(2)上分别设置有一个，所述转轴(42)转动连接于安装座(41)上，所述安装座(41)上开设有用于安装转轴(42)的安装孔，所述转轴(42)穿过转动板(43)的端部，所述转动板(43)上开设有供转轴(42)穿过的通孔，所述弹性压块(44)连接于转动板(43)上，所述弹性压块(44)位于转动板(43)远离转轴(42)的一端，所述弹性压块(44)朝向所在第一底板(1)或第二底板(2)的方向设置，所述转动杆(45)转动连接于安装座(41)上，所述限位块(46)连接于转动杆(45)的端部，所述转动板(43)上开设有供...

【专利技术属性】
技术研发人员：王婉婷，
申请(专利权)人：江苏晶工半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：