图案形成装置具备在基板上形成图案的图案形成机构和对形成在基板上的标记进行检测的标记检测机构。标记检测机构具有：物镜光学系统，其向设定在基板上的检测区域内投射照明光，并且照明光的反射光入射到该物镜光学系统；像检测系统，其对由反射光生成的检测区域内的像进行检测；以及光分割器，其配置在物镜光学系统和像检测系统之间的光路中。图案形成装置具备：照明系统，其朝向光分割器投射照明光，在物镜光学系统的光瞳面上形成照明光的光源像；以及调整机构，其使形成在物镜光学系统的光瞳面内的光源像的位置发生变化。的光瞳面内的光源像的位置发生变化。的光瞳面内的光源像的位置发生变化。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图案形成装置
[0001]本专利技术涉及具有对准系统的图案形成装置，在基板上的形成区域内形成图案时，该对准系统对形成位置进行对准。
技术介绍
[0002]例如在日本特开2006
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106097号公报中公开了一种描绘装置，在该描绘装置中，为了在长条的柔性基板上形成图案而设置有在与基板的长度方向正交的短边方向(宽度方向)上排列了多个曝光头的曝光部，一边使基板沿长度方向移动一边通过多个曝光头分别描绘(曝光)图案。
[0003]在日本特开2006
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106097号公报的描绘装置中，如图1～图4所示，在比向柔性基板100曝光图案的曝光部30靠基板100的输送方向的下游侧的位置，例如设置有对准部22，该对准部22具有2台照相机部40。对准部22通过照相机部40对形成于柔性基板100的对准标记102(图10)进行检测。如图4所示，该照相机部40被设置为能够沿着导轨34进行移动，以便能够在基板100的宽度方向上改变基板100上的摄像位置。此外，在照相机部40的设置于基板100侧的透镜44的突出前端部，配置有环状的闪光灯46，在拍摄基板100的对准标记102等时，通过闪光灯发光来对基板100进行照明。
[0004]在日本特开2006
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106097号公报的装置结构中，对准部22的照相机部40构成为能够移动，因此，当移动到期望的位置而静止时，容易产生照相机部40稍微倾斜的误差，即，容易产生透镜44的光轴从与基板100的表面垂直的状态稍微倾斜的远心误差。通常，在这种图案描绘装置中，需要以能够描绘的最小线宽值的1/10以下的精度对对准标记进行位置计测，为此，拍摄到的对准标记的两侧的边缘部的像对比度需要良好且一致。但是，如果产生远心误差，则对准标记的两侧的边缘部的像对比度间的对称性被打破，对准标记的位置计测结果产生误差。在日本特开2006
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106097号公报的情况下，为了校正远心误差，需要设置对照相机部40整体的倾斜进行微调整的机构，但相应地，对准部22的结构会变得大型化。
技术实现思路
[0005]本专利技术的第一方式是一种图案形成装置，其具备图案形成机构和标记检测机构，所述图案形成机构在沿第1方向移动的基板上的规定区域形成图案，所述标记检测机构对形成在所述基板上的标记进行检测，其中，所述标记检测机构具有：物镜光学系统，其向设定在所述基板上的检测区域内投射照明光，并且，在所述检测区域内产生的反射光入射到该物镜光学系统；像检测系统，其对由入射到所述物镜光学系统的所述反射光生成的所述检测区域内的像进行检测；以及光分割器，其配置在所述物镜光学系统和所述像检测系统之间的光路中，以便通过所述照明光对所述检测区域进行落射照明，所述图案形成装置具备：照明系统，其朝向所述光分割器投射所述照明光，在所述物镜光学系统的光瞳面上形成所述照明光的光源像；以及调整机构，其使形成在所述物镜光学系统的所述光瞳面内的所述光源像的位置变化。
[0006]本专利技术的第2方式是一种图案形成装置，其在沿第1方向移动的基板上的规定区域形成电子器件用的图案，其中，所述图案形成装置具备：基板支承机构，其支承所述基板并使其沿所述第1方向移动；图案形成机构，其在沿所述第1方向移动的所述基板的所述规定区域形成所述图案；对准系统，所述对准系统具有物镜光学系统、像检测系统以及光分割系统，以便在相对于所述基板的而配置于所述图案形成机构的上游侧的检测区域内通过光学的方式对形成在所述基板上的基板标记进行检测，所述物镜光学系统将照明光朝向所述检测区域进行落射照明，来自出现在所述检测区域内的所述基板标记的反射光入射到该物镜光学系统；来自所述物镜光学系统的所述反射光入射到所述像检测系统，该像检测系统检测所述基板标记的像；所述光分割系统配置在所述物镜光学系统和所述像检测系统之间，使所述照明光射向所述物镜光学系统，并且将来自所述物镜光学系统的所述反射光射向所述像检测系统；照明系统，其朝向所述光分割系统投射所述照明光，从而在所述物镜光学系统的光瞳面上形成所述照明光的光源像；以及调整机构，其使所述物镜光学系统的所述光瞳面与所述光源像的相对位置在所述光瞳面的面内移位。
附图说明
[0007]图1是示出第一实施方式的图案描绘装置EX的整体概要结构的立体图。
[0008]图2是具体地示出了图1的图案描绘装置EX中的描绘单元U1～U6的配置和对准系统ALGn的配置的图。
[0009]图3是示出图1的图案描绘装置EX的描绘单元U1～U6中的作为代表的描绘单元U1内的详细结构的立体图。
[0010]图4是概要地示出图2所示的旋转筒DR、7个对准系统ALG1～ALG7以及基准杆部件RB的配置关系的立体图。
[0011]图5是示出了图4所示的描绘线SL1～SL6与对准系统ALG1～ALG7各自的检测区域AD1～AD7的配置关系、以及对旋转筒DR的旋转角度的变化进行计测的编码器计测系统的配置的图。
[0012]图6A是示出在基准杆部件RB的7个部位形成的基准标记RM1～RM7的配置的一例的图，图6B是夸张地示出摄像区域DIS
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与基准标记RM1的配置关系的一例的图，图6C是夸张地示出摄像区域DIS
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与基准标记RM2的配置关系的一例的图。
[0013]图7是示出对准系统ALGn(ALG1～ALG7)的具体的光学结构和向对准系统ALGn供给照明光的照明系统ILU的光学结构的一例的图。
[0014]图8是在存在远心误差的情况下示出通过来自对准系统ALGn的物镜系统OBL的落射照明而从基板P产生的反射光LRf的检测状态的图。
[0015]图9是在校正了由远心误差造成的影响的情况下说明通过来自对准系统ALGn的物镜系统OBL的落射照明而从基板P产生的反射光LRf的检测状态的图。
[0016]图10是示出用于向对准系统ALGn供给照明光的导光部件的第二实施方式的光学结构的图。
[0017]图11是作为向对准系统ALGn供给的照明光而示出封入了卤化锡的金属卤化物灯的发光波长特性的一例的图表。
[0018]图12是示出图10所示的对准系统ALGn用的照明系统(照明单元)ILU的变形例1的
概要图。
[0019]图13是示意性示出了分色镜DCM的波长选择特性和LED光源LD1、LD2各自的发光波长特性的一例的图表。
[0020]图14是示出向图7或图10所示的对准系统ALGn传输来自照明系统ILU的照明光ILb的导光部件的光学结构的变形的图。
[0021]图15是示意性示出在图14所示的光纤束ILF的入射端ILFa的面内形成的光源像SOa的样子的图。
[0022]图16是示意性示出图7、图10所示的对准系统ALGn的变形例的光学结构的图。
[0023]图17是示出在图14所示的照明系统(照明单元)ILU内形成光源像SOa
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的光源部ILS的变形例的图。
[0024]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种图案形成装置，其具备图案形成机构和标记检测机构，所述图案形成机构在沿第1方向移动的基板上的规定区域形成图案，所述标记检测机构对形成在所述基板上的标记进行检测，其中，所述标记检测机构具有：物镜光学系统，其向设定在所述基板上的检测区域内投射照明光，并且，在所述检测区域内产生的反射光入射到该物镜光学系统；像检测系统，其对由入射到所述物镜光学系统的所述反射光生成的所述检测区域内的像进行检测；以及光分割器，其配置在所述物镜光学系统和所述像检测系统之间的光路中，以便通过所述照明光对所述检测区域进行落射照明，所述图案形成装置具备：照明系统，其朝向所述光分割器投射所述照明光，在所述物镜光学系统的光瞳面上形成所述照明光的光源像；以及调整机构，其使形成在所述物镜光学系统的所述光瞳面内的所述光源像的位置变化。2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述照明系统具有：光源部，其包含聚光透镜系统，该聚光透镜系统会聚从光源产生的所述照明光而形成所述光源像；以及导光部件，其将所述光源像中继到所述物镜光学系统的所述光瞳面上，所述调整机构在所述导光部件的入射端的面内对形成于所述入射端的所述光源像的位置进行调整，使形成于所述物镜光学系统的所述光瞳面内的所述光源像的位置变化。3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其中，所述导光部件是光纤束，该光纤束将形成于所述入射端的所述光源像的强度分布保持为与所述导光部件的出射端相同的强度分布而进行传输。4.根据权利要求3所述的图案形成装置，其中，所述导光部件包含：缩小成像系统，其将所述光源像缩小地形成于所述光纤束的所述入射端；以及放大成像系统，其将传输到所述光纤束的所述出射端的所述光源像放大地形成于所述物镜光学系统的所述光瞳面内。5.根据权利要求2至4中的任意一项所述的图案形成装置，其中，所述调整机构具有能够倾斜的平行平板，该平行平板使朝向所述导光部件的所述入射端的所述照明光透射，并且使所述照明光的行进方向发生横向移位。6.根据权利要求5所述的图案形成装置，其中，所述平行平板由沿着所述照明光的行进方向排列配置的第1平行平板和第2平行平板构成，所述第1平行平板的倾斜方向与所述第2平行平板的倾斜方向正交。7.根据权利要求2至4中的任意一项所述的图案形成装置，其中，所述调整机构由使所述导光部件的所述入射端与所述照明系统相对地发生微移动的微动机构构成，以便使形成于所述导光部件的所述入射端的所述光源像的位置在所述入射端的面内变化。
8.一种图案形成装置，其在沿第1方向移动的基板上的规定区域形成电子器件用的图案，其中，所述图案形成装置具备：基板支承机构，其支承所述基板并使其沿所述第1方向移动；图案形成机构，其在沿所述第1方向移动的所述基板的所述规定区域形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：中山修一，中野贵之，堀正和，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：
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