一种光栅应力测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种光栅应力测试装置，涉及光栅应力测试技术领域。本实用新型专利技术包括一端能够与光栅侧壁接触的导力棒以及能够向所述导力棒施加压力的应力调节装置，所述导力棒的另一端还连接有应力测量装置，所述应力测量装置用于检测所述应力调节装置向所述导力棒施加的压力值。基于本实用新型专利技术的技术方案，模拟光栅标定过程中的夹持力对光栅产生的面形影响，从而对变形误差进行量化，进一步去除夹持工装带来的误差。持工装带来的误差。持工装带来的误差。

【技术实现步骤摘要】
一种光栅应力测试装置


[0001]本技术涉及光栅应力测试
，特别地涉及一种光栅应力测试装置。

技术介绍

[0002]平面光栅位移测量系统在高端精密运动中的应用越来越广泛。与传统的激光位移测量系统相比，平面光栅位移测量系统有以下几点优势：系统的光程短，受环境干扰小；光栅采用微晶玻璃或石英等材料，测量稳定性好，不容易受到外界因素影响；测试速度快，有利于进行工业化大批量测试；测量系统成本较低。
[0003]光栅需要进行离线标定以消除其固有误差，目前现有的标定方法有斐索干涉仪法、利特罗衍射法和原子力显微镜测量法等。对光栅的栅线误差标定都可以达到较高的精度等级。当需要标定的光栅尺寸较大，厚度较薄，长厚比大于40:1时，在标定过程中容易产生较大的面形误差，从而影响最终的标定结果。对光栅进行标定的精度的要求达到波长级别，有必要对标定过程中产生的变形误差进行量化并去除误差影响。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种光栅应力测试装置，模拟光栅标定过程中的夹持力对光栅产生的面形影响，从而对变形误差进行量化。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光栅应力测试装置，其特征在于，包括一端能够与光栅(004)侧壁接触的导力棒(002)以及能够向所述导力棒(002)施加压力的应力调节装置，所述导力棒(002)的另一端还连接有应力测量装置，所述应力测量装置用于检测所述应力调节装置向所述导力棒(002)施加的压力值。2.根据权利要求1所述的光栅应力测试装置，其特征在于，还包括套筒(005)，所述导力棒(002)的一端与所述应力测量装置均位于所述套筒(005)内且二者连接为一个整体，所述应力测量装置能够沿所述套筒(005)移动，所述应力调节装置安装在所述套筒(005)上且其施压部伸入至所述套筒(005)内。3.根据权利要求2所述的光栅应力测试装置，其特征在于，所述应力测量装置包括相互固定连接的滑块(010)和力传感器(011)，所述滑块(010)与所述套筒(005)的内壁滑动配合。4.根据权利要求3所述的光栅应力测试装置，其特征在于，所述导力棒(002)的端部与力传感器(011)的一端相互连接，所述力传感器(011)的另一端与滑块(010)相互连接。5.根据权利要求1所述的光栅应力测试装置，其特征在于，所述应力调节装置包括导力螺钉(003)，所述导力螺钉(003)对应所述导力棒...

【专利技术属性】
技术研发人员：付大为，刘泰，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：