制程尾气处理系统技术方案

本申请提供一种制程尾气处理系统，通过备用过滤装置的串接设置，当任一过滤装置异常时，便无须将整个处理系统停止，仍可由备用过滤装置对尾气进行过滤。而此串接形式的设置方式除可以维持制程端的正常运作，并持续削减制程尾气外，也提升了处理系统的机动性。也提升了处理系统的机动性。也提升了处理系统的机动性。

【技术实现步骤摘要】
制程尾气处理系统


[0001]本申请是有关一种处理系统，尤其是一种应用于半导体制程的制程尾气处理系统。

技术介绍

[0002]在超大型积体电路(ULS工)制程中，晶圆洗净的技术及其洁净度(Cleanliness)往往是影响晶圆制程的良率(Yield)、组件质量(Quality)以及其可靠度(Reliability)的重要因素之一。因此，在相关制程中需要对晶圆进行清洗来达到洁净度的要求。
[0003]而晶圆的清洗是将整批次或单一晶圆，通过化学品浸泡或纯水清洗来进行，主要是为了清除晶圆表面的污染物，如微粒子、有机污染物、无机物、金属雕子等杂质。
[0004]目前业界较常使用湿式清洗法，而最为被接受的是湿式清洗法中的RCA清洁法(RCA Clean)，此RCA清洁法为1960年代由RCA公司所发展。其清洁原理在于使用于不同的化学配方来进行清洁，像是标准清洁液1(SC
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1)及标准清洁液2(SC
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2)等。
[0005]而在使用化学配方SC
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1(APM)、SC
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2(HPM)、SPM、DHF及BHF等进行清洁的同时，常会带有大量酸气、碱气及挥发性有机物等制程混合废气排放。
[0006]而挥发性有机物(又称挥发性有机气体污染物，Volatile Organic Compounds，VOCs)，指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称，其所造成的环境污染问题，目前广泛地存在于各类型工业中，尤其是半导体产业等高科技产业。
[0007]而在解决混合废气的问题上，多为导入湿式洗涤塔来处理废气中污染物(酸、碱、有机物质)，目前业界多采用“并联接式”的连接方式来连接多个湿式洗涤塔，如图1所示，一种现有技术制程尾气处理系统1
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，其制程尾气A
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先由制程端W
’
进入尾气集气管路H
’
后，再分别进入制程尾气处理系统1
’
中的任一过滤装置10
’
(如湿式洗涤塔)进行过滤后排出。
[0008]然而，“并联接式”的机动性尤为不足，当有特殊情况(如制程端机台的扩充计划、洗涤塔异常停止等等)而需搬移其中一台湿式洗涤塔时，必须拆解连接各个洗涤塔的尾气集气管路(用于聚集尾气)以便移动洗涤塔或进行维修，而拆解尾气集气管路除会导致洗涤塔无法进行过滤外，更进一步会导致制程端的所有设备皆须停机。
[0009]为此，在维持过滤装置(湿式洗涤塔)对污染物(酸、碱、有机物质)的去除效率的情况下，制作出当异常状况发生时，还可以维持过滤机能的过滤装置(湿式洗涤塔)，为本领域技术人员所欲解决的问题。

技术实现思路

[0010]本申请所要解决的技术问题在于提供一种制程尾气处理系统，通过备用过滤装置的串接设置，当任一过滤装置异常时，便无须将整个处理系统停止，仍可由备用过滤装置对尾气进行过滤，持续解决制程尾气的问题。
[0011]为了达到上述的目的，本申请公开了一种制程尾气处理系统，其设置于一腔体内，该腔体两侧分别设有一第一进气口及一出气口，其结构包括：一第一过滤装置，其设置于该
腔体内，并位于该第一进气口的一侧，该第一过滤装置包括：一第一水洗腔室，该第一水洗腔室的两侧分别设置一第一过滤进气口、一第一过滤出气口以及一第一旁侧出气口，该第一进气口通过一第一进气连通道连通该第一过滤进气口，该第一旁侧出气口连通一第一旁侧连通道，且该第一过滤出气口设置一第一阀门组件及一第一感测组件，该第一旁侧出气口设置一第一旁侧阀门组件；一第一过滤件，其设置于该第一水洗腔室的内侧，并位于该第一过滤进气口的上方；以及一第一喷洒装置，其设置于该第一水洗腔室的内侧，并位于该第一过滤件的上方，该第一喷洒装置包括至少一第一喷头及一第一管路，该第一管路一端连接该至少一第一喷头，另一端穿设该第一水洗腔室并连通一液体供应管路；一备用过滤装置，其设置于该腔体内，并位于该第一过滤装置的一侧，该备用过滤装置包括：一备用水洗腔室，该备用水洗腔室的两侧分别设置一备用进气口以及一备用出气口，该备用进气口通过一备用连通道连通该第一旁侧连通道；一备用过滤件，其设置于该备用水洗腔室的内侧，并位于该备用进气口的上方；以及一备用喷洒装置，其设置于该备用水洗腔室的内侧，并位于该备用过滤件的上方，该备用喷洒装置包括至少一备用喷头及一备用管路，该备用管路一端连接该至少一备用喷头，另一端穿设该备用水洗腔室并连通该液体供应管路；以及一排气管路，其设置于该腔体内，该排气管路的一端连通该出气口，该排气管路的另一端通过一第一排气连通道及一备用排气连通道分别连接该第一过滤出气口及该备用出气口；其中，当该第一感测组件传送一异常信息至一控制机台时，该控制机台通过该第一阀门组件关闭该第一过滤出气口，并通过该第一旁侧阀门组件开启该第一旁侧出气口，使一废弃气体通过该第一旁侧连通道进入该备用水洗腔室，并通过该备用过滤件后经由该备用出气口排出该备用水洗腔室。
[0012]本申请提供一实施例，其内容在于该第一过滤装置进一步包括：一第一排水装置，其设置于该第一水洗腔室的下方，该第一排水装置用以排出一液体。
[0013]本申请提供一实施例，其内容在于该第一过滤件包括一第一壳体、至少一第一多孔组件及至少一第一离子吸附组件，该至少一第一多孔组件及该至少一第一离子吸附组件依序堆栈设置于该第一壳体内，且该至少一第一多孔组件位于该第一过滤进气口的一侧，该至少一第一离子吸附组件位于该第一过滤出气口的一侧。
[0014]本申请提供一实施例，其内容在于该至少一第一多孔组件上设置一第一触媒材料。
[0015]本申请提供一实施例，其内容在于该备用过滤件包括一备用壳体、至少一备用多孔组件及至少一备用离子吸附组件，该至少一备用多孔组件及该至少一备用离子吸附组件依序堆栈设置于该备用壳体内，且该至少一备用多孔组件位于该备用过滤进气口的一侧，该至少一备用离子吸附组件位于该备用过滤出气口的一侧。
[0016]本申请提供一实施例，其内容在于该至少一备用多孔组件上设置一备用触媒材料。
[0017]本申请提供一实施例，其内容在于该备用过滤装置进一步包括：一备用排水装置，其设置于该备用水洗腔室的下方，该备用排水装置用以排出该液体。
[0018]本申请提供一实施例，其内容在于该腔体进一步包括一第二过滤装置及一第二进气口，该第二过滤装置包括：一第二水洗腔室，该第二水洗腔室的两侧分别设置一第二过滤进气口、一第二过滤出气口以及一第二旁侧出气口，该第二进气口通过一第二进气连通道
连通该第二过滤进气口，该第二过滤出气口通过一第二排气连通道连通该排气管路，该第二旁侧出气口连通一第二旁侧连通道，且该第二过滤出气口设置一第二阀门组件及一第二感测组件，该第二旁侧出气口设置一第二旁侧阀门组件；一第二过滤件，其设置于该第二水洗腔室的内侧，并位于该第二过滤进气口的上方；以及一第二喷洒装置，其设置于该第二水洗腔室的内侧，并位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制程尾气处理系统，其设置于一腔体内，该腔体两侧分别设有一第一进气口及一出气口，其特征在于，包括：一第一过滤装置，其设置于该腔体内，并位于该第一进气口的一侧，该第一过滤装置包括：一第一水洗腔室，该第一水洗腔室的两侧分别设置一第一过滤进气口、一第一过滤出气口以及一第一旁侧出气口，该第一进气口通过一第一进气连通道连通该第一过滤进气口，该第一旁侧出气口连通一第一旁侧连通道，且该第一过滤出气口设置一第一阀门组件及一第一感测组件，该第一旁侧出气口设置一第一旁侧阀门组件；一第一过滤件，其设置于该第一水洗腔室的内侧，并位于该第一过滤进气口的上方；以及一第一喷洒装置，其设置于该第一水洗腔室的内侧，并位于该第一过滤件的上方，该第一喷洒装置包括至少一第一喷头及一第一管路，该第一管路一端连接该至少一第一喷头，另一端穿设该第一水洗腔室并连通一液体供应管路；一备用过滤装置，其设置于该腔体内，并位于该第一过滤装置的一侧，该备用过滤装置包括：一备用水洗腔室，该备用水洗腔室的两侧分别设置一备用进气口以及一备用出气口，该备用进气口通过一备用连通道连通该第一旁侧连通道；一备用过滤件，其设置于该备用水洗腔室的内侧，并位于该备用进气口的上方；以及一备用喷洒装置，其设置于该备用水洗腔室的内侧，并位于该备用过滤件的上方，该备用喷洒装置包括至少一备用喷头及一备用管路，该备用管路一端连接该至少一备用喷头，另一端穿设该备用水洗腔室并连通该液体供应管路；以及一排气管路，其设置于该腔体内，该排气管路的一端连通该出气口，该排气管路的另一端通过一第一排气连通道及一备用排气连通道分别连接该第一过滤出气口及该备用出气口；其中，当该第一感测组件传送一异常信息至一控制机台时，该控制机台通过该第一阀门组件关闭该第一过滤出气口，并通过该第一旁侧阀门组件开启该第一旁侧出气口，使一废弃气体通过该第一旁侧连通道进入该备用水洗腔室，并通过该备用过滤件后经由该备用出气口排出该备用水洗腔室。2.根据权利要求1所述的制程尾气处理系统，其特征在于，该第一过滤装置进一步包括：一第一排水装置，其设置于该第一水洗腔室的下方，该第一排水装置用以排出一液体。3.根据权利要求1所述的制程尾气处理系统，其特征在于，该第一过滤件包括一第一壳体、至少一第一多孔组件及至少一第一离子吸附组件，该至少一第一多孔组件及该至少一第一离子吸附组件依序堆栈设置于该第一壳体内，且该至少一第一多孔组件位于该第一过滤进气口的一侧，该至少一第一离子吸附组件位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓冠宏，陈雅君，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：