一种基材的清洗机构制造技术

本发明专利技术涉及一种基材的清洗机构，包括卡盘本体、支撑定位机构和至少一个清洗组件，所述卡盘本体的中间位置具有通孔；所述支撑定位机构安装在所述卡盘本体上，用于支撑并固定基材的四个角部，至少一个清洗组件穿过所述通孔，用于清洗所述基材的背面。本发明专利技术可以使得基材在不翻面的情况下进行背面清洗，以降低清洗时间。间。间。

【技术实现步骤摘要】
一种基材的清洗机构


[0001]本专利技术涉及基材清洗领域，具体涉及一种基材的清洗机构。

技术介绍

[0002]基材在生产过程中，如掩模板等，需要进行清洗工序，在进行清洗工序的过程中，需要通过卡盘定位基材，现有的卡盘大多都带有轮辐，轮辐会干涉清洗机构的喷头清洗基材背面，这就导致无法直接清洗基材背面，需要将基材翻面后再清洗，工艺时间较长，在翻面过程中也可能会造成基材损伤或二次污染。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种基材的清洗机构，它可以使得基材在不翻面的情况下进行背面清洗，以降低清洗时间。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种基材的清洗机构，包括：
[0005]卡盘本体，所述卡盘本体的中间位置具有通孔；
[0006]支撑定位机构，所述支撑定位机构安装在所述卡盘本体上，用于支撑并固定基材的四个角部；
[0007]至少一个清洗组件，至少一个清洗组件穿过所述通孔，用于清洗所述基材的背面。
[0008]进一步提供了一种支撑定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基材的清洗机构，其特征在于，包括：卡盘本体(1)，所述卡盘本体(1)的中间位置具有通孔(1
‑
1)；支撑定位机构(3)，所述支撑定位机构(3)安装在所述卡盘本体(1)上，用于支撑并固定基材(100)的四个角部；至少一个清洗组件(2)，至少一个清洗组件(2)穿过所述通孔(1
‑
1)，用于清洗所述基材(100)的背面。2.根据权利要求1所述的一种基材的清洗机构，其特征在于，所述支撑定位机构(3)包括：四个沿所述卡盘本体(1)的周向排布的支撑杆(3
‑
1)，所述支撑杆(3
‑
1)的下端部直接或间接连接于所述卡盘本体(1)，上端部连接有垂直于其的连接板(3
‑
2)，所述连接板(3
‑
2)的自由端朝向所述卡盘本体(1)的中间位置延伸；与所述支撑杆(3
‑
1)一一对应的定位组件，所述定位组件包括两个间隔设于所述连接板(3
‑
2)的自由端的立柱(3
‑
3)；所述立柱(3
‑
3)的上端面的中间位置具有朝上凸出的凸起(3
‑
4)，每个定位组件的两个凸起(3
‑
4)用于共同卡住所述基材(100)的一个角部。3.根据权利要求1所述的一种基材的清洗机构，其特征在于，还包括：至少一个升降机构(4)，与相应清洗组件(2)相连，用于驱动相应清洗组件(2)升降。4.根据权利要求3所述的一种基材的清洗机构，其特征在于，还包括：套管安装座(5)，所述套管安装座(5)盖在所述卡盘本体(1)上方，以封闭所述通孔(1
‑
1)，所述套管安装座(5)上设有穿过孔，所述清洗组件(2)穿过所述穿过孔；与所述清洗组件(2)相对应的套管(6)，所述套管(6)套于清洗组件(2)上，并罩在所述穿过孔外，所述套管(6)的上端部密封固定于所述清洗组件(2)，下端部与所述套管安装座(5)相连，所述套管(6)被配置为可为所述清洗组件(2)提供升降自由度。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐飞，王玲，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：