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本发明涉及一种基材的清洗机构，包括卡盘本体、支撑定位机构和至少一个清洗组件，所述卡盘本体的中间位置具有通孔；所述支撑定位机构安装在所述卡盘本体上，用于支撑并固定基材的四个角部，至少一个清洗组件穿过所述通孔，用于清洗所述基材的背面。本发明可以...
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