【技术实现步骤摘要】
一种用于圆棒开方喷淋的装置及硅棒开方机
[0001]本技术属于硅棒加工
，尤其是涉及一种用于圆棒开方喷淋的装置及硅棒开方机。
技术介绍
[0002]现阶段晶棒开方使用的喷淋装置(用来对所加工方棒进行冷却、排粉)进行单晶方棒加工时，喷淋位置较高，喷淋面积虽然大，但无法有效进行排粉，水流量较小，冲刷力度不足，导致切割位置处易因高温造成断线，排粉不畅造成切割梯度大，方棒表面脏污，从而造成辅料成本增高，磨削工时增大，原料损耗。
技术实现思路
[0003]鉴于上述问题，本技术提供一种用于圆棒开方喷淋的装置及硅棒开方机，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种用于圆棒开方喷淋的装置，包括导线轮清理喷淋装置和切割喷淋装置，导线轮清理喷淋装置设于导线轮的一侧，且导线轮清理喷淋装置的液体喷淋方向与导线轮的导线槽相对应，对晶棒开方过程中的导线槽内的异物进行冲洗；切割喷淋装置设于晶棒的一侧，切割喷淋装置与晶棒开方过程中的切缝相对应，对切缝进行喷淋，进行排...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于圆棒开方喷淋的装置，其特征在于：包括导线轮清理喷淋装置和切割喷淋装置，所述导线轮清理喷淋装置设于导线轮的一侧，且所述导线轮清理喷淋装置的液体喷淋方向与导线轮的导线槽相对应，对晶棒开方过程中的导线槽内的异物进行冲洗；所述切割喷淋装置设于晶棒的一侧，所述切割喷淋装置与晶棒开方过程中的切缝相对应，对切缝进行喷淋，进行排粉。2.根据权利要求1所述的用于圆棒开方喷淋的装置，其特征在于：所述切割喷淋装置包括至少两个喷淋管，多个所述喷淋管均位于晶棒的一侧，且多个所述喷淋管的液体喷淋方向均与所述切缝相对应。3.根据权利要求2所述的用于圆棒开方喷淋的装置，其特征在于：多个所述喷淋管位于同一平面。4.根据权利要求3所述的用于圆棒开方喷淋的装置，其特征在于：多个所述喷淋管均与晶棒的轴线平行设置。5.根据权利要求2
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4任一项所述的用于圆棒开方喷淋的装置，其特征在于：多个所述喷淋管沿着靠近晶棒的方向依次设置，且多个所述喷淋管设于晶棒切缝所在的平面。6.根据权利要求5所述的用于圆棒开方喷淋的装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓鹏，梁志慧，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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