【技术实现步骤摘要】
超纯水设备的清洗系统、清洗方法
[0001]本申请涉及水处理
,具体涉及超纯水设备的清洗系统、清洗方法。
技术介绍
[0002]目前,工业上常采用带有反渗透模块和电去离子(electrodeionization,EDI)模块的设备制造超纯水(水的电阻率在18MΩ
·
cm左右),但长时间的运行会导致反渗透系统和EDI模块中生成金属离子残留和难溶的碳酸盐、硫酸盐、胶体以及其他的有机污染物,造成产水量下降、水质变差,无法满足生产用水要求。一般地,业界常采用更换核心组件或直接采用酸液循环冲洗核心模组的方法来解决上述问题,但前者的维护成本过高,后者清洗效果较差且易腐蚀核心组件。
技术实现思路
[0003]鉴于此,本申请提供了一种超纯水设备的清洗系统。该清洗系统分别在反渗透模块和EDI模块设置了药液储液筒和与之匹配的管路,使得反渗透模块可拥有酸洗工序、EDI模块可拥有酸碱综合清洗工序,可充分清洁超纯水设备的核心模组,从而可保证核心模组内部的洁净度较高、提高产水的品质稳定性、延长核心模组的使用寿命。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超纯水设备的清洗系统,包括超纯水设备及清洗装置,所述超纯水设备包括相连的反渗透模块和电去离子EDI模块,其特征在于,所述清洗装置包括第一酸洗剂储存箱、第二酸洗剂储存箱、碱洗剂储存箱,所述第一酸洗剂储存箱与所述反渗透模块连通,所述第二酸洗剂储存箱、所述碱洗剂储存箱与所述EDI模块连通;其中,所述第一酸洗剂用于顺流清洗所述反渗透模块;所述第二酸洗剂用于顺流清洗所述EDI模块,所述碱洗剂用于循环清洗所述EDI模块。2.根据权利要求1所述的清洗系统,其特征在于,所述第二酸洗剂储存箱与所述EDI模块通过第一管道连通,所述碱洗剂储存箱与所述EDI模块通过第二管道连通。3.一种超纯水设备的清洗方法,其特征在于,包括:(1)依次采用第一酸洗剂、水顺流清洗反渗透模块;其中,所述第一酸洗剂包括盐酸和磷酸中的至少一种,所述第一酸洗剂的pH值在1
‑
5的范围内;(2)依次采用第二酸洗剂、水顺流清洗EDI模块,然后采用水循环清洗所述EDI模块;所述第二酸洗剂包括有机弱酸且不含强酸,所述有机弱酸包括柠檬酸、醋酸、草酸中的至少一种;其中,所述有机弱酸的体积分数在1.5%
‑
3%的范围内;依次采用碱洗剂、水循环清洗所述EDI模块;其中,所述碱洗剂包括有机碱和无机强碱的混合液,所述有机碱包括四甲基氢氧...
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