下载超纯水设备的清洗系统、清洗方法的技术资料

文档序号:36419510

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本申请提供了超纯水设备的清洗系统、清洗方法。该清洗系统分别在反渗透模块和EDI模块设置了药液储液筒和与之匹配的管路,使得反渗透模块可拥有酸洗工序、EDI模块可拥有酸碱综合清洗工序,可充分清洁超纯水设备的核心模组,从而可保证核心模组内部的洁净...
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