一种用于传输腔的真空密封门板结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体端部的传输口、设置在传输口外圈的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈的驱动压紧机构；所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直滑动设置的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；所述动力组件驱动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；本实用新型专利技术不仅结构简单紧凑，降低了生产成本，且驱动压紧机构与传输口错开设置，减少了工作空间。减少了工作空间。减少了工作空间。

【技术实现步骤摘要】
一种用于传输腔的真空密封门板结构


[0001]本技术涉及真空设备
，特指一种用于传输腔的真空密封门板结构。

技术介绍

[0002]真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构，现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面，为了减小密封圈的磨损，门板位移主要可分为以下几种形式：通过翻转门板来实现此功能；先水平移动门板再竖直移动门板；先水平移动门板再倾斜移动门板，随着科技的不断发展，人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。
[0003]如现有技术201822210676.X公开的一种真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体，现有技术202021470168.6公开的一种基于连杆机构的真空箱密封装置，其中用于驱动门板进行密封的驱动组件均设置在真空箱密封口的端面，不仅结构复杂，增加了制造成本，且大大占用了工作空间，从而限制了其在半导体行业中的使用。

技术实现思路

[0004]本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种用于传输腔的真空密封门板结构。
[0005]为达到上述目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：包含真空箱体、设置在真空箱体内部的传输腔、设置在真空箱体端部且与传输腔连通的传输口、设置在真空箱体端部且位于传输口外圈的密封槽、设置在密封槽内的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈对传输口进行密封的驱动压紧机构；所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直设置在真空箱体侧面的导轨、竖直滑动设置在导轨上的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；所述动力组件驱动平行四边形连杆组件带动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；所述动力组件包括两端分别与真空箱体两侧长条板底部连接的U形连接件、用于驱动U形连接件升降的驱动器。2.根据权利要求1所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：每块所述长条板上均铰接设置有可伸缩的支撑杆；所述支撑杆的伸缩端与位于上方的连杆中部铰接。3.根据权利要求2所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述限位件设置有卡槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李洋，
申请(专利权)人：苏州子山半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：