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本实用新型涉及一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体端部的传输口、设置在传输口外圈的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈的驱动压紧机构；所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆...
该专利属于苏州子山半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州子山半导体科技有限公司授权不得商用。

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