一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及材料表面工程技术领域，公开了一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备，包括：底座，固定在安装平台上；连接结构，固定在底座上；谐振腔，固定在连接结构上；电极板，电极板的数量为两个，均固定在连接结构上，两个电极板通过导线串联并连接RF发生器，两个电极板分别位于谐振腔相对立的两侧；抽气结构，抽气结构固定在谐振腔上与电极板相邻的一侧，且抽气结构与谐振腔连通；充气结构，充气结构固定在谐振腔上远离抽气结构的一侧，且充气结构与谐振腔连通。本发明专利技术提供的基于等离子体放电技术的射频清洗设备，实现谐振腔内部射频清洗功能，以确保谐振腔内部的洁净无污染，降低损耗，保证激光陀螺仪测量精度和长期运行稳定可靠。靠。靠。

【技术实现步骤摘要】
一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备


[0001]本专利技术涉及材料表面工程
，特别涉及一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备。

技术介绍

[0002]在惯性导航
中，激光惯导作为目前获得最为广泛应用的高精度惯导系统，与传统的机电式惯导系统相比，激光惯导不需要高速转子，是新一代具备灵敏度高、可靠性高、精度高、动态范围大、寿命长等优点的捷联式惯性导航系统。
[0003]20世纪80年代以后，激光惯导已成功的应用于陆、海、空等国防领域，如飞机、舰船导航和卫星、火箭的姿态调整和轨道控制等领域，而且广泛应用于民用生产，如大地测量、资源勘测、地球物理测量、海洋探测、铁路、隧道等领域，现在激光惯导正以其巨大的科研价值和市场潜力走在高新技术产业的最前沿。
[0004]作为激光惯导的核心部件激光陀螺仪，其主要工作原理是利用光程差来测量旋转角速度(Sagnac效应)。光学谐振腔作为激光陀螺的核心器件，由三角形或正方形的石英制成的闭合光路组成，内有一个或几个装有混合气体的管子，两个不透明的反射镜和一个半透明镜。用高频电源或直流电源激发混合气体，产生单色激光，用半透明镜将激光导出回路，经反射镜使两束相反传输的激光干涉，通过光电探测器和电路输入与输出角度成比例的数字信号，就可以测出闭合光路(载体)的旋转角速度，在通过一系列复杂的转换即可换算出载体的空间位置。然而在激光传输过程中，谐振腔会持续性的产生各类损耗，如反射镜透射、吸收损耗、散射损耗、衍射损耗等，这些损耗会直接影响激光陀螺仪的测量精度和性能稳定性，谐振腔的材质、加工精度及内表面处理决定了谐振腔损耗的大小。
[0005]在材料表面工程中，管状材料的内表面处理有着大量的应用需求，在此之前，激光陀螺谐振腔的内表面处理多为溶剂清洗、超声波清洗、高温除气等手段，对于常规物理吸附及化学吸附的杂质及气体，有着不错的去除效果，但对于某些特殊有机物、氧化物等顽固杂质，上述方法往往不能收到很好的效果。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供了一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备，实现谐振腔内部射频清洗功能，以确保谐振腔内部的洁净无污染，降低损耗，保证激光陀螺仪测量精度和长期运行稳定可靠。
[0007]本专利技术提供了一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备，包括：
[0008]底座，所述底座固定在安装平台上；
[0009]连接结构，所述连接结构固定在所述底座上，所述连接结构包括接地金属板；
[0010]谐振腔，所述谐振腔固定在所述连接结构上；
[0011]电极板，所述电极板的数量为两个，均固定在所述连接结构上，两个所述电极板通过导线串联并连接RF发生器，两个所述电极板分别位于所述谐振腔相对立的两侧；
[0012]抽气结构，所述抽气结构固定在所述谐振腔上与所述电极板相邻的一侧，且所述抽气结构与所述谐振腔连通；
[0013]充气结构，所述充气结构固定在所述谐振腔上远离所述抽气结构的一侧，且所述充气结构与所述谐振腔连通；
[0014]将两个所述电极板通过导线串联成为上电极，所述接地金属板为下电极，当所述RF发生器启动后，所述上电极与所述下电极之间产生高频振荡的电场，谐振腔中不断游离的电子从高频电场中获得能量，与从所述充气结构充入的工艺气体分子发生碰撞，并使工艺气体电离，产生等离子体，对谐振腔内壁进行溅射轰击，实现清洗。
[0015]进一步地，所述连接结构还包括绝缘板，所述绝缘板依次与接地金属板、底座通过螺栓固定连接，所述谐振腔和电极板通过绝缘螺栓固定在所述绝缘板上。
[0016]进一步地，两个所述电极板与所述谐振腔之间的距离相等。
[0017]进一步地，所述抽气结构包括：
[0018]第一谐振腔封接管，所述第一谐振腔封接管与所述谐振腔通过铟封连接进行密封；
[0019]第一锁母密封结构，所述第一锁母密封结构与所述第一谐振腔封接管通过胶圈密封连接；
[0020]第一伸缩波纹管，所述第一伸缩波纹管与所述第一锁母密封结构采用焊接的方式连接；
[0021]第一卡套弯头，所述第一卡套弯头与所述第一伸缩波纹管采用卡套密封方式连接；
[0022]抽气管，所述抽气管与所述第一卡套弯头采用卡套密封方式连接；
[0023]第一管卡和第一管卡支架，所述第一可伸缩波纹管通过第一管卡固定于第一管卡支架上。
[0024]进一步地，所述充气结构包括：
[0025]第二谐振腔封接管，所述第二谐振腔封接管与所述谐振腔通过铟封连接进行密封；
[0026]第二锁母密封结构，所述第二锁母密封结构与所述第二谐振腔封接管通过胶圈密封连接；
[0027]第二伸缩波纹管，所述第二伸缩波纹管与所述第二锁母密封结构采用焊接的方式连接；
[0028]第二卡套弯头，所述第二卡套弯头与所述第二伸缩波纹管采用卡套密封方式连接；
[0029]充气管，所述充气管与所述第二卡套弯头采用卡套密封方式连接；
[0030]第二管卡和第二管卡支架，所述第二可伸缩波纹管通过第二管卡固定于第二管卡支架上。
[0031]进一步地，所述抽气结构与所述充气结构的管道均为金属管道。
[0032]进一步地，所述谐振腔的结构为正方形微晶，所述谐振腔通过中心圆孔插入的谐振腔锁紧螺母与所述绝缘板固定连接。
[0033]进一步地，所述RF发生器的频率为13.56MHz，功率为500W。
[0034]本专利技术还提供了一种基于等离子体放电技术的射频清洗系统，包括多台如权利要求1
‑
8中任一项所述的基于等离子体放电技术的射频清洗设备，多台所述射频清洗设备的谐振腔等间距布置，多台所述射频清洗设备的抽气结构通过真空管道连通且位于所述谐振腔的高真空端，多台所述射频清洗设备的充气结构通过充气管道连通且位于所述谐振腔的低真空端。
[0035]本专利技术的有益效果为：
[0036]本专利技术将谐振腔固定在连接结构上，连接结构固定在底座上，电极板固定在连接结构上，两个电极板通过导线串联并连接RF发生器且分别位于谐振腔相对立的两侧；抽气结构和充气结构位于谐振腔相对立的两侧且与谐振腔连通，抽气结构、充气结构与电极板不位于同一侧；谐振腔中不断游离的电子从高频电场中获得能量，与从充气结构充入的工艺气体分子发生碰撞，并使工艺气体电离，产生等离子体，对谐振腔内壁进行溅射轰击，实现谐振腔内部射频清洗功能，以确保谐振腔内部的洁净无污染，降低损耗，保证激光陀螺仪测量精度和长期运行稳定可靠。
附图说明
[0037]图1为本专利技术基于等离子体放电技术的射频清洗设备的结构俯视图。
[0038]图2为本专利技术基于等离子体放电技术的射频清洗设备的结构正视图。
[0039]图3为本专利技术基于等离子体放电技术的射频清洗系统的射频清洗工作气路图。
[0040]图4为本专利技术中射频溅射原理图。
[0041]附图中，抽气管1、第一卡套弯头2、第一管卡支架3、第一管卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于等离子体放电技术的射频清洗设备，其特征在于，包括：底座，所述底座固定在安装平台上；连接结构，所述连接结构固定在所述底座上，所述连接结构包括接地金属板；谐振腔，所述谐振腔固定在所述连接结构上；电极板，所述电极板的数量为两个，均固定在所述连接结构上，两个所述电极板通过导线串联并连接RF发生器，两个所述电极板分别位于所述谐振腔相对立的两侧；抽气结构，所述抽气结构固定在所述谐振腔上与所述电极板相邻的一侧，且所述抽气结构与所述谐振腔连通；充气结构，所述充气结构固定在所述谐振腔上远离所述抽气结构的一侧，且所述充气结构与所述谐振腔连通；将两个所述电极板通过导线串联成为上电极，所述接地金属板为下电极，当所述RF发生器启动后，所述上电极与所述下电极之间产生高频振荡的电场，谐振腔中不断游离的电子从高频电场中获得能量，与从所述充气结构充入的工艺气体分子发生碰撞，并使工艺气体电离，产生等离子体，对谐振腔内壁进行溅射轰击，实现清洗。2.根据权利要求1所述的基于等离子体放电技术的射频清洗设备，其特征在于，所述连接结构还包括绝缘板，所述绝缘板依次与接地金属板、底座通过螺栓固定连接，所述谐振腔和电极板通过绝缘螺栓固定在所述绝缘板上。3.根据权利要求1所述的基于等离子体放电技术的射频清洗设备，其特征在于，两个所述电极板与所述谐振腔之间的距离相等。4.根据权利要求1所述的基于等离子体放电技术的射频清洗设备，其特征在于，所述抽气结构包括：第一谐振腔封接管，所述第一谐振腔封接管与所述谐振腔通过铟封连接进行密封；第一锁母密封结构，所述第一锁母密封结构与所述第一谐振腔封接管通过胶圈密封连接；第一伸缩波纹管，所述第一伸缩波纹管与所述第一锁母密封结构采用焊接的方式连接；第一卡套弯头，所述第一卡套弯头...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：