一种高温恒弹性合金材料及其制备应变梁的工艺、应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器制造技术

本申请提出了一种高温恒弹性合金材料及其制备应变梁的工艺、应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器，涉及传感器技术领域。该高温恒弹性合金材料包括以下原料：Ti、Al、Ni、V、Nb、Co、Cr、Mo+W、Cu、Ag、C、Si、S、P、Mn、Ce+La、Ru+Ir，其余为Fe。该材料具有力学性能好，耐高温的优点，由该材料制备的应变梁与弹性体的装配结构不会受到表面凹陷困扰，由此装配结构组成的压力传感器具有工作温度范围大，灵敏度高和稳定性好的优点。性好的优点。性好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种高温恒弹性合金材料及其制备应变梁的工艺、应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器


[0001]本申请涉及传感器
，具体而言，涉及一种高温恒弹性合金材料及其制备应变梁的工艺、应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器。

技术介绍

[0002]高温压力传感器应用非常广泛，如核电、石化、冶金、航空和橡胶等领域。溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好以及测量介质温度高等优点，在航空、航天和军工等许多领域得到应用。但在介质温度超过300℃时，普通的溅射薄膜压力传感器就不能胜任了。原因是普通的溅射薄膜压力传感器弹性体是采用常规弹性钢制成，其弹性体弹性模量随温度变化而产生变化 ，这种变化严重影响传感器的测量精度。
[0003]另外，金属基溅射薄膜压力传感器实现小量程的测量极其困难，原因是对弹性体加工时，无法使弹性体膜片加工成非常小的厚度，如小于0.1毫米；即使将弹性膜片能加工小于0.1毫米的厚度，在弹性体后续加工过程中，对弹性膜片研抛时，由于弹性膜片太薄容易凹陷，无法在弹性膜片表面镀膜光刻制造应变电路。因此，溅射薄膜压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温恒弹性合金材料，其特征在于，包括以下质量百分比的原料：Ti 6.9
‑
12.9%、Al 1
‑
5%、Ni 27
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41%、V 0.7
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5.6%、Nb 0.45
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5.6%、Co 0.6
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3%、Cr 0.6
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3.9%、Mo+W 2.9
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6.5%、Cu 0.1
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0.6%、Ag 0.04
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0.22%、C 0
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0.03%、Si 0.1
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0.65%、S 0
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0.01%、P 0
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0.01%、Mn 0
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0.05%、Ce+La 0.02
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0.38%、Ru+Ir 1.2
‑
3.3%，其余为Fe。2.一种采用权利要求1所述的高温恒弹性合金材料制备应变梁的工艺，其特征在于，包括以下步骤：准备高温恒弹性合金材料，在材料背面用机械的方法加工左右对称的凹槽，在加工凹槽时预留应变膜片的厚度；对加工好凹槽的材料上表面进行研磨和抛光，使其表面粗糙度达到要求；在研磨抛光后的材料表面，使用物理或化学的方法沉积绝缘层、敏感层和焊盘层薄膜，并使用光刻技术制造惠世通电桥图形；使用机械的方法将材料分割成单个的应变梁。3.根据权利要求2所述的一种采用高温恒弹性合金材料制备应变梁的工艺，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，范敏，徐建，刘素夫，彭山，
申请(专利权)人：松诺盟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：