一种用于还原炉钟罩的烘干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于还原炉钟罩的烘干设备，属于多晶硅生产设备技术领域，包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室，送风室内设有过滤器I、过滤器II和风机，调温机构包括换热器和送风管，环境风从送风室的进风口进人后依次经过过滤器I、过滤器II后，再经风机送入至换热器升温后用于烘干钟罩，解决了现有技术多晶硅生产的还原工序中还原炉钟罩易被污染，特别是烘干工段，钟罩干燥工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于还原炉钟罩的烘干设备


[0001]本技术属于多晶硅生产设备
，具体涉及一种用于还原炉钟罩的烘干设备。

技术介绍

[0002]在现有多晶硅生产装置中，还原工序使用的还原炉为钟罩型还原炉，此还原炉每次产出产品后，还原炉钟罩需要清洗、烘干后再次投入使用。为保证多晶硅产品质量，需使干燥后钟罩内壁不能有任何杂物残留，钟罩内壁空气洁净度达到H13级，通常清洗完的钟罩内壁是比较干净的，但是当烘干使用的空气有异物时会造成清洗干净的内壁二次受到污染，现有设备供应商使用的烘干通风流道采用的是碳钢或者镀锌钢加工制作而成，长时间暴露在空气环境中，易被腐蚀产生铁锈，从而污染烘干空气。另外，烘干时选择的温度会影响烘干时间，影响工作效率，从而也影响产品产量。
[0003]随着下游市场对多晶硅产品质量要求的不断提高，多晶硅生产企业需从各个生产阶段来控制中间产物质量，已达到市场对最终多晶硅产品质量的需求。

技术实现思路

[0004]本技术旨在提供一种适用于还原炉钟罩的烘干设备，以解决现有技术多晶硅生产的还原工序中还原炉钟罩易被污染，特别是烘干工段，钟罩干燥工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。
[0005]为了实现上述专利技术目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种用于还原炉钟罩的烘干设备，包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室，送风室内设有过滤器I、过滤器II和风机，调温机构包括换热器和送风管，环境风从送风室的进风口进人后依次经过过滤器I、过滤器II后，再经风机送入至换热器升温后用于烘干钟罩。
[0007]优选的，所述新风过滤机构中风机的出风口端和调温机构的进风口之间连接有风管。
[0008]优选的，所述过滤器I为滑道式初效过滤器。
[0009]优选的，所述过滤器II为过滤精度为0.3
µ
m的高效过滤器。
[0010]优选的，所述过滤器I、过滤器II呈
“┌”
布置，过滤器I与过滤器II形成的子腔室中设有若干导流板。
[0011]优选的，所述换热器为蛇形换热管式换热器，换热器下部设有冷凝液排出管。
[0012]优选的，所述送风管道上设有温度传感器，温度传感器与换热器连接的热源进料管线上的阀门控制连接。
[0013]优选的，所述风机、过滤器I、过滤器II的安装底座上均设有减震器。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]一、本技术中，采用本方案的烘干设备可为还原炉的钟罩提供高洁净度、温度
稳定的干燥风，保证钟罩的烘干效果的同时，尽可能的减少杂质的引入，保证多晶硅产品的产品质量，同时结构布置巧妙、合理，占用面积较小。
[0016]二、本技术中，所述过滤器I选用滑道式初效过滤器，所述过滤器II选用过滤精度为0.3um的高效过滤器，采用两级过滤即可达到较好的过滤效果且满足风量要求，操作难度较小，成本较低。
[0017]三、本技术中，过滤器I、过滤器II呈
“┌”
布置，过滤器I与过滤器II形成的子腔室中设有若干导流板，一方面可以将风顺利从过滤器I导向至过滤器II，降低风阻，且减小设备占用面积，另一方面有利于均匀布风，达到预期的过滤效果，同时避免设备局部处理压力过高，影响设备使用寿命。
[0018]四、本技术中，换热器为蛇形换热管式换热器，增大换热面积；换热器在使用过程中会产生冷凝液，换热器下部设有冷凝液排出管，及时排出冷凝液至回收装置中，避免影响设备的正常运行。
[0019]五、本技术中，送风管道上设有温度传感器，用于监测换热后的热风的温度是否达到目标温度，以便及时调整换热器的热源供给，保证生产线的稳定运行，温度传感器与换热器连接的热源进料管线上的阀门控制连接，替代了人工观测送风管道上的温度变化，采用温度传感器与相应阀门控制调节，及时调整阀门开度，保证烘干温度稳定在预期范围内，降低人工劳动强度。
[0020]六、本技术中，风机、过滤器I、过滤器II的安装底座上均设有减震器，降低设备的振动值，有利于延长设备的使用寿命。
附图说明
[0021]图1为本技术的结构示意图。
[0022]图2是新风过滤机构另一种实施方式的结构示意图。
[0023]图3是图2的俯视图。
[0024]图4是导流板的一种实施方式的结构示意图。
[0025]图5是调温机构的另一种实施方式的结构示意图。
[0026]图6是图5的俯视图。
[0027]图7是图5是左视图。
[0028]其中，1、送风室；2、过滤器I；3、过滤器II；4、风机；5、换热器；6、送风管；7、风管；8、子腔室；9、导流板；10、温度传感器；11、热源进料管线；12、阀门I；13、回收装置；14、观察孔；1.1、进风口I；1.2、出风口I；5.1、换热管；5.2、冷凝液排出管；5.3、进风口II；5.4、出风口II；5.5、介质排出口。
具体实施方式
[0029]下面结合实施例对本技术作进一步地详细说明，但本技术的实施方式不限于此。
[0030]实施例1
[0031]一种用于还原炉钟罩的烘干设备，属于多晶硅生产中还原工段
，包括新风过滤机构和调温机构，参考图1，所述新风过滤机构包括送风室1，送风室1内设有过滤器
I2、过滤器II3和风机4，调温机构包括换热器5和送风管6，环境风从送风室1的进风口进人后依次经过过滤器I2、过滤器II3后，再经风机4送入至换热器5升温后用于烘干钟罩。
[0032]本实施例为最基本的实施方式，参考图1，环境风主要靠风机4引入至送风室1中，再通过换热器5进行加热后用于对钟罩烘干，风的引入过程中依次经过滤器I2、过滤器II3两级过滤器进行过滤，拦截环境风中可能污染还原炉钟罩的粒子，保证引入风的洁净度。为提高整个环境的洁净度，风机4优选采用不锈钢材质的风机4。
[0033]实施例2
[0034]本实施例是在实施例1上的进一步优化，区别在于，所述新风过滤机构中风机4的出风口端和调温机构的进风口之间连接有风管7，参考图1，风管7的长度可根据实际生产环境适当加长。
[0035]实施例3
[0036]本实施例与实施例1
‑
2相比，区别在于，所述过滤器I2为G4级滑道式初效过滤器。
[0037]实施例4
[0038]本实施例与实施例1
‑
3相比，区别在于，所述过滤器II3为过滤精度为0.3
µ
m的H13级高效过滤器。
[0039]实施例5
[0040]本实施例与实施例1
‑
4相比，区别在于，参考图1或2，所述过滤器I2、过滤器II3呈
“┌”
布置，过滤器I2与过滤器II3形成的子腔室8中设有若干块导流板9。
[0041]优选的，所述导流板9可采用如图4所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室（1），送风室（1）内设有过滤器I（2）、过滤器II（3）和风机（4），调温机构包括换热器（5）和送风管（6），环境风从送风室（1）的进风口进人后依次经过过滤器I（2）、过滤器II（3）后，再经风机（4）送入至换热器（5）升温后用于烘干钟罩。2.根据权利要求1所述的一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：所述新风过滤机构中风机（4）的出风口端和调温机构的进风口之间连接有风管（7）。3.根据权利要求1所述的一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：所述过滤器I（2）为滑道式初效过滤器。4.根据权利要求1所述的一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：所述过滤器II（3）为过滤精度为0.3
µ
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春洋，蔡勇，周万江，袁志林，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：