一种用于还原炉钟罩的烘干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于还原炉钟罩的烘干设备，属于多晶硅生产设备技术领域，包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室，送风室内设有过滤器I、过滤器II和风机，调温机构包括换热器和送风管，环境风从送风室的进风口进人后依次经过过滤器I、过滤器II后，再经风机送入至换热器升温后用于烘干钟罩，解决了现有技术多晶硅生产的还原工序中还原炉钟罩易被污染，特别是烘干工段，钟罩干燥工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。工段中易被腐蚀以影响多晶硅产品质量的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于还原炉钟罩的烘干设备


[0001]本技术属于多晶硅生产设备
，具体涉及一种用于还原炉钟罩的烘干设备。

技术介绍

[0002]在现有多晶硅生产装置中，还原工序使用的还原炉为钟罩型还原炉，此还原炉每次产出产品后，还原炉钟罩需要清洗、烘干后再次投入使用。为保证多晶硅产品质量，需使干燥后钟罩内壁不能有任何杂物残留，钟罩内壁空气洁净度达到H13级，通常清洗完的钟罩内壁是比较干净的，但是当烘干使用的空气有异物时会造成清洗干净的内壁二次受到污染，现有设备供应商使用的烘干通风流道采用的是碳钢或者镀锌钢加工制作而成，长时间暴露在空气环境中，易被腐蚀产生铁锈，从而污染烘干空气。另外，烘干时选择的温度会影响烘干时间，影响工作效率，从而也影响产品产量。
[0003]随着下游市场对多晶硅产品质量要求的不断提高，多晶硅生产企业需从各个生产阶段来控制中间产物质量，已达到市场对最终多晶硅产品质量的需求。

技术实现思路

[0004]本技术旨在提供一种适用于还原炉钟罩的烘干设备，以解决现有技术多晶硅生产的还原工序中还原炉钟罩易被污染，特别是烘干工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：包括新风过滤机构和调温机构，所述新风过滤机构包括送风室（1），送风室（1）内设有过滤器I（2）、过滤器II（3）和风机（4），调温机构包括换热器（5）和送风管（6），环境风从送风室（1）的进风口进人后依次经过过滤器I（2）、过滤器II（3）后，再经风机（4）送入至换热器（5）升温后用于烘干钟罩。2.根据权利要求1所述的一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：所述新风过滤机构中风机（4）的出风口端和调温机构的进风口之间连接有风管（7）。3.根据权利要求1所述的一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：所述过滤器I（2）为滑道式初效过滤器。4.根据权利要求1所述的一种用于还原炉钟罩的烘干设备，其特征在于：所述过滤器II（3）为过滤精度为0.3
µ
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【专利技术属性】
技术研发人员：李春洋，蔡勇，周万江，袁志林，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：