下载一种用于还原炉钟罩的烘干设备的技术资料

文档序号:36357195

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本实用新型公开了一种用于还原炉钟罩的烘干设备,属于多晶硅生产设备技术领域,包括新风过滤机构和调温机构,所述新风过滤机构包括送风室,送风室内设有过滤器I、过滤器II和风机,调温机构包括换热器和送风管,环境风从送风室的进风口进人后依次经过过滤器...
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