一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置。包括：等离子体发生装置、等离子体电源、气体混合装置和三维移动平台。气体混合装置将氦气、氩气和反应媒质TEOS混合，通入等离子体发生装置的介质管中；等离子体电源提供高压激励，介质管内产生等离子体射流；需处理的绝缘材料由三维移动平台控制在等离子体射流下方匀速移动，使材料整个表面得到均匀处理。本发明专利技术克服现有等离子体材料处理装置的缺陷，使得氦气和氩气化学特性互补，提高活性粒子产生效率，从而提高绝缘材料处理效果。从而提高绝缘材料处理效果。从而提高绝缘材料处理效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置


[0001]本专利技术属于电力设备绝缘制备领域，涉及一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置。

技术介绍

[0002]随着我国高压直流输电的不断发展，直流电场下绝缘材料的绝缘性能得到广泛关注。高分子聚合物材料有着良好的机械性能和绝缘性能，常作为绝缘材料应用于电力系统高压设备中。例如环氧树脂（Epoxy Resin）凭借其优秀的电气性能、耐高温、易制备等特性大量用于气体绝缘输电线路（GIL）和气体绝缘开关（GIS）中。然而聚合物材料表面在高压直流下容易产生电荷积聚的现象，降低本身的耐压特性，使得沿面闪络出现的概率增大，使电力系统设备的运行安全受到威胁。研究表明，对聚合物材料进行表面改性处理，可以有效提升材料绝缘性能，降低闪络发生的概率。将大气压等离子体射流应用于材料表面改性，具有操作简便、可控性强、可处理复杂表面、无环境污染等优点，是当下研究的热点。
[0003]氦气和氩气是大气压等离子体射流常用的工作气体。以这类惰性气体作为工作气体可以得到更低的等离子体激发电压，比起空气等离子体更容易控制。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置，其特征在于，包括：等离子体发生装置、等离子体电源、气体混合装置和三维移动平台；所述等离子体发生装置用于向混合气体施加电场，电离出等离子体，产生含高浓度活性粒子的等离子体射流；所述等离子体电源用于为等离子体发生装置提供高电压激励；所述气体混合装置用于混合氦气、氩气和正硅酸乙酯TEOS蒸汽；所述三维移动平台用于固定和移动需处理材料的位置。2.根据权利要求1所述的一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置，其特征在于，所述等离子体发生装置包括：石英玻璃管、设置在石英玻璃管上部的高压电极和末端的地电极；所述气体混合装置包括三路通道和一个混气室，其中，三路通道中一路连接氦气气瓶并带有一台质量流量计，一路连接氩气气瓶并带有第二台质量流量计，一路连接氩气气瓶并带有第三台质量流量计，并通入装有反应媒质TEOS的洗气瓶，三路通道汇合并连接到混气室；所述等离子体电源连接高压电极；所述三维移动平台置于石英管口下方。3.根据权利要求2所述的一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置，其特征在于，所述气体混合装置中第三路通道的洗气瓶置于水浴锅中均匀加热至60~70 ℃，以增大载气带出TEOS分子的数量。4.根据权利要求2所述的一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置，其特征在于，所述混合气体体积...

【专利技术属性】
技术研发人员：何桐桐，郑怡泽，郑跃胜，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：发明
国别省市：