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本发明涉及一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置。包括：等离子体发生装置、等离子体电源、气体混合装置和三维移动平台。气体混合装置将氦气、氩气和反应媒质TEOS混合，通入等离子体发生装置的介质管中；等离子体电源提供高压激励，介质管内产生等...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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