一种真空设备保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空设备保护装置，包括真空泵、控制箱和设备，所述真空泵抽气端上设有真空管路，真空管路另一端设有设备接头，设备接头另一端与设备相连接；所述真空管路上还设有电磁阀、真空计、压力传感器二和泄压阀，所述电磁阀靠近真空泵抽气端一侧，所述压力传感器二与泄压阀设置在电磁阀远离真空泵的一侧；所述控制箱前壁上设有220V电源灯、24V电源灯、真空泵运行灯和压力报警灯。本发明专利技术设计新颖，结构合理，很大程度的提高了对真空泵的保护能力，避免管路压力过大导致真空泵的损坏或寿命的降低，并能使用一个真空泵对多个设备进行分别抽真空，提高了真空泵的利用率，并能避免同时对多个设备抽真空的误操作，保证了对真空泵的保护能力。的保护能力。的保护能力。

【技术实现步骤摘要】
一种真空设备保护装置


[0001]本专利技术涉及真空设备
，尤其涉及一种真空设备保护装置。

技术介绍

[0002]在电子特气行业，经常采用真空泵对设备进行抽真空，由于真空泵的结构限制，在抽真空时大量气体快速进入真空泵内容易造成真空泵的损坏，并且真空计承受高压力也会导致真空计的损坏或精度的降低，进而导致管路泄露产生事故。
[0003]现有的真空泵抽真空时缺乏对压力进行检测并自动控制真空泵的方法，导致真空泵的寿命降低，也容易导致真空泵的损坏，同时对多个设备抽真空需要使用多个真空泵，真空泵的利用率较低，造成了真空泵购置成本的增加。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在缺乏对压力进行检测并自动控制真空泵的方法，导致真空泵的寿命降低，也容易导致真空泵的损坏，同时对多个设备抽真空需要使用多个真空泵，真空泵的利用率较低，造成了真空泵购置成本的增加缺点，而提出的一种真空设备保护装置。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种真空设备保护装置，包括真空泵、控制箱和设备，所述真空泵抽气端上设有真空管路，真空管路另一端设有设备接头，设备接头另一端与设备相连接。
[0007]所述真空管路上还设有电磁阀、真空计、压力传感器二和泄压阀，所述电磁阀靠近真空泵抽气端一侧，所述压力传感器二与泄压阀设置在电磁阀远离真空泵的一侧。
[0008]所述控制箱前壁上设有220V电源灯、24V电源灯、真空泵运行灯和压力报警灯。
>[0009]优选的，所述真空管路对应电磁阀远离真空泵的一侧还设有单向阀。
[0010]优选的，所述真空计设置在真空泵与电磁阀之间。
[0011]优选的，所述控制箱前壁上还设有试灯按钮。
[0012]优选的，所述设备接头设有多个，设备接头另一端均连接有设备，多个设备接头与真空管路之间连接有分接管路。
[0013]更优选的，所述泄压阀也设有多个，且多个泄压阀分别对应设置在多个分接管路上。
[0014]更优选的，多个所述分接管路上均设有气动阀。
[0015]更优选的，所述压力传感器二设有多个，多个压力传感器二分别对应设置在多个分接管路上靠近设备接头的一侧。
[0016]更优选的，所述真空管路靠近真空泵的一侧还设有压力传感器一。
[0017]优选的，所述控制箱内设有控制器，所述控制器与真空泵、真空泵运行灯、压力报警灯、压力传感器一、电磁阀、真空计、压力传感器二、泄压阀和气动阀电性连接。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0019]1、本专利技术中，通过电磁阀和压力传感器二对真空管路进行控制和压力检测，避免压力过大导致真空泵和真空计的损坏，提高真空泵的使用寿命和稳定工作；
[0020]2、本专利技术中，通过分接管路将真空泵与多个设备相连接，通过一个真空泵即能对多个设备进行抽真空，很大程度的提高了真空泵的利用率，降低了成本；
[0021]3、本专利技术中，通过多个气动阀对分接管路进行分别控制，方便真空泵对单个设备的抽真空效果，避免多个设备同时抽真空的误操作，保证对设备抽真空的效果，提高保护装置的保护能力。
[0022]本专利技术设计新颖，结构合理，很大程度的提高了对真空泵的保护能力，避免管路压力过大导致真空泵的损坏或寿命的降低，并能使用一个真空泵对多个设备进行分别抽真空，提高了真空泵的利用率，并能避免同时对多个设备抽真空的误操作，保证了对真空泵的保护能力。
附图说明
[0023]图1为本专利技术的实施例一结构示意图；
[0024]图2为本专利技术的实施例二结构示意图；
[0025]图3为本专利技术的实施例三结构示意图；
[0026]图4为本专利技术的实施例一和实施例二工作原理示意图；
[0027]图5为本专利技术的实施例三工作原理示意图。
[0028]图中：真空泵1、控制箱2、220V电源灯21、24V电源灯22、真空泵运行灯23、压力报警灯24、试灯按钮25、控制器26、压力传感器一3、电磁阀4、真空计5、单向阀6、压力传感器二7、泄压阀8、设备接头9、分接管路91、设备10、气动阀11。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0030]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0031]实施例一
[0032]参照图1
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5，一种真空设备保护装置，包括真空泵1、控制箱2和设备10，所述真空泵1抽气端上设有真空管路，真空管路另一端设有设备接头9，设备接头9另一端与设备10相连接，通过设备接头9方便设备10的对接，方便待抽真空的设备10与真空管路相连接，配合真空泵1对设备10进行抽真空。
[0033]所述真空管路上还设有电磁阀4、真空计5、压力传感器二7和泄压阀8，所述电磁阀4靠近真空泵1抽气端一侧，所述压力传感器二7与泄压阀8设置在电磁阀4远离真空泵1的一侧，通过电磁阀4控制真空管路的开闭，配合压力传感器二7检测管路压力，方便控制真空泵1的抽气，避免压力过大时损坏真空泵1，在抽真空时配合真空计5测量管路的真空度，直至真空度达标关闭真空泵，配合泄压阀8在管路压力较大时对管路进行泄压，直至压力降低至
0.5bar以下再打开电磁阀配合真空泵1抽真空。
[0034]所述控制箱2前壁上设有220V电源灯21、24V电源灯22、真空泵运行灯23和压力报警灯23，其中220V电源灯21用于指示设备电源状态，其中24V电源灯22用于指示控制箱2内电路电源状态，真空泵运行灯23用于对真空泵1的运行状态进行展示，通过压力报警灯23对压力传感器二7的检测结果进行展示，在压力过大时能及时报警，避免真空泵1和真空计5受到损坏，保证保护装置的保护效果。
[0035]在本保护装置使用时，将设备10与设备接头9相连接，通过压力传感器二7检测真空管路的压力，若真空管路压力大于0.5bar，先启动泄压阀8对设备进行泄压，直至压力小于0.5bar，关闭泄压阀8，打开电磁阀4并启动真空泵1，对设备10进行抽真空，配合真空计5检测真空度，直至设备真空度达标，关闭真空泵1和电磁阀4,完成设备的抽真空。
[0036]通过压力传感器二7与电磁阀4的配合，能有效的对真空泵1与真空计5进行保护，避免真空管路内气压过大导致真空泵1和真空计5导致损坏或寿命降低，保证本装置的保护效果。
[0037]本实施例中，如图1所示，所述真空管路对应电磁阀4远离真空泵1的一侧还设有单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空设备保护装置，包括真空泵(1)、控制箱(2)和设备(10)，其特征在于，所述真空泵(1)抽气端上设有真空管路，真空管路另一端设有设备接头(9)，设备接头(9)另一端与设备(10)相连接；所述真空管路上还设有电磁阀(4)、真空计(5)、压力传感器二(7)和泄压阀(8)，所述电磁阀(4)靠近真空泵(1)抽气端一侧，所述压力传感器二(7)与泄压阀(8)设置在电磁阀(4)远离真空泵(1)的一侧；所述控制箱(2)前壁上设有220V电源灯(21)、24V电源灯(22)、真空泵运行灯(23)和压力报警灯(23)。2.根据权利要求1所述的一种真空设备保护装置，其特征在于，所述真空管路对应电磁阀(4)远离真空泵(1)的一侧还设有单向阀(6)。3.根据权利要求1所述的一种真空设备保护装置，其特征在于，所述真空计(5)设置在真空泵(1)与电磁阀(4)之间。4.根据权利要求1所述的一种真空设备保护装置，其特征在于，所述控制箱(2)前壁上还设有试灯按钮(25)。5.根据权利要求1所述的一种真空设备保护装置，其特征在于，所述设备接头(9)设...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海涛，凌紫剑，于青玉，
申请(专利权)人：合肥正帆电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：