一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置，包括分析仪器和填料塔，所述分析仪器进气端连接有气瓶，分析仪器上设有排放管路，所述填料塔内设有多层填料，下方设有储液箱，储液箱内设有碱液；所述排放管路另一端连接有气体文丘里的喉部，气体文丘里的进气端连接至惰性气体供气设备，气体文丘里的输出端连接有缓冲管的上端。本发明专利技术结构新颖，设计合理，有效的保证了排放管路中的负压状态，同时有效的避免了液体回流，避免憋压和回流造成设备的损坏，同时通过对磷烷的稀释和初步吸收，有效的保证了磷烷处理的安全性和处理效果，配合多层填料和喷淋保证了对磷烷的完全吸收，保证了处理效果。保证了处理效果。保证了处理效果。

【技术实现步骤摘要】
一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置


[0001]本专利技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置。

技术介绍

[0002]超纯磷烷用于LED、芯片、面板等电子芯片的外延、掺杂等工艺，超纯磷烷的质量控制变得原来越重要，在分析过程中，会产生一定量的磷烷的排放，并且排放的磷烷浓度变化较大，这部分排放一般和生产排放独立，避免相互影响。
[0003]现有的尾气吸收处理装置，不能有效的对不同浓度的磷烷进行吸收，并且不能保证排放管路的压力稳定，容易使排放管路憋压，容易损坏设备并影响了磷烷处理的安全性，同时不能保证磷烷的完全吸收，处理效果较差。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在不能适应不同浓度的磷烷排放，并且容易使排放管路憋压，容易损坏设备并影响了磷烷处理的安全性，同时不能保证磷烷的完全吸收，处理效果较差的缺点，而提出的一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种实验室小型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置，包括分析仪器(1)和填料塔(5)，其特征在于，所述分析仪器(1)进气端连接有气瓶(101)，分析仪器(1)上设有排放管路(102)，所述填料塔(5)内设有多层填料(51)，下方设有储液箱(6)，储液箱(6)内设有碱液；所述排放管路(102)另一端连接有气体文丘里(2)的喉部，气体文丘里(2)的进气端连接至惰性气体供气设备，气体文丘里(2)的输出端连接有缓冲管(4)的上端，缓冲管(4)侧壁上通过管道贯通连接有液体文丘里(3)的喉部，液体文丘里(3)的进液端连接有第一液泵(7)，第一液泵(7)的进液端与储液箱(6)贯通连接，液体文丘里(3)的出液端与填料塔(5)下部贯通连接；所述储液箱(6)一侧还贯通连接有第二液泵(8)，第二液泵(8)的出液端上设有多个支管(81)，支管(81)均贯通填料塔(5)侧壁并设有多个喷淋头(811)，且位于下方的喷淋头(811)向上喷淋，最上方的喷淋头(811)向下喷淋。2.根据权利要求1所述的一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置，其特征在于，所述缓冲管(4)下端设有排水口(41)，排水口(41)上设有排水阀，所述缓冲管(4)侧壁下部设有多个观察窗(42)。3.根据权利要求1所述的一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置，其特征在于，所述缓冲管(4)与液体文丘里(3)之间还设有压力表(31)。4.根据权利要求1所述的一种实验室小型磷烷分析用尾气吸收处理装置，其特征在于，所述喷淋塔(5)设有五段，其中自下向上第一段的下端设置在碱液液面以下，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：史可成，单燕雯，于青玉，
申请(专利权)人：合肥正帆电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：