磷烷中水分的采样分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了磷烷中水分的采样分析装置，包括水分分析仪、连接管和温度控制机构,所述水分分析仪的进气端上贯通连接有进气管，连接管与进气管之间连接有减压器二，连接管另一端设有多个连接端头,连接端头上均连接有钢瓶，所述水分分析仪另一端设有真空泵二；所述连接管靠近连接端头的一侧连接有反吹管道，反吹管道另一端连接有氮气储存装置一，所述反吹管道上还设有减压器一。本发明专利技术结构合理，设计新颖，有效的避免了磷烷分析时空气中水分的掺入，保证了超纯磷烷水分分析的精确性和可靠性，并通过多个管路的配合保证了通入磷烷的纯净度和安全性，并配合温度控制机构有效的保证了管路系统的稳定性。系统的稳定性。系统的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
磷烷中水分的采样分析装置


[0001]本专利技术涉及气体分析设备
，尤其涉及磷烷中水分的采样分析装置。

技术介绍

[0002]磷烷是一种无机化合物，是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体，超纯磷烷用于LED、芯片、面板等电子芯片的外延、掺杂等工艺，由于水分为有害杂质，随着芯片尺寸的不断缩小，对水分的要求也越来越高，往往要求水分含量在ppb(mol)级别。
[0003]为了分析超纯磷烷中的水分，需要将超纯磷烷的钢瓶与分析设备相连接，但是在连接钢瓶时，连接接头会接触空气并使空气中的水分吸附在接头管路中，导致分析仪器不能准确分析磷烷中的水分，分析的精确性和可靠性较差，并且磷烷与分析仪器连接管路中缺乏测漏和恒温系统，不能保证管路的稳定性和安全性。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在分析仪器不能准确分析磷烷中的水分，分析的精确性和可靠性较差，并且磷烷与分析仪器连接管路中缺乏测漏和恒温系统，不能保证管路稳定性和安全性的缺点，而提出的磷烷中水分的采样分析装置。/>[0005]为了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.磷烷中水分的采样分析装置，包括水分分析仪(10)、连接管(2)和温度控制机构(14)，其特征在于，所述水分分析仪(10)的进气端上贯通连接有进气管(22)，连接管(2)与进气管(22)之间连接有减压器二(11)，连接管(2)另一端设有多个连接端头(21),连接端头(21)上均连接有钢瓶(1)，所述水分分析仪(10)另一端设有真空泵二(13)；所述连接管(2)靠近连接端头(21)的一侧连接有反吹管道(3)，反吹管道(3)另一端连接有氮气储存装置一，所述反吹管道(3)上还设有减压器一(31)；所述连接管(2)上还连接有测漏管道(7)，测漏管道(7)另一端连接有高压氦气，测漏管道(7)上设有单向阀二(9)；所述连接管(2)上还连接有排空管道(4)，排空管道(4)上设有单向阀一(41)，单向阀一(41)另一端连接有尾气处理装置(42)。2.根据权利要求1所述的磷烷中水分的采样分析装置，其特征在于，所述水分分析仪(10)的两端均设有锁止阀(12)。3.根据权利要求1所述的磷烷中水分的采样分析装置，其特征在于，所述连接管(2)上还连接有置换管道(6)，置换管道(6)另一端连接有氮气储存装置二，置换管道(6)上也设有单向阀二(9)。4.根据权利要求1所述的磷烷中水分的采样分析装置，其特征在于，所述连接管(2)上还连接有真空管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：于青玉，刘海涛，凌紫剑，
申请(专利权)人：合肥正帆电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：