一种太阳能电池硅片扩散炉制造技术

本发明专利技术公开一种太阳能电池硅片扩散炉，涉及太阳能电池生产技术领域，包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，所述的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；本发明专利技术通过设置上料机构，可以对太阳能电池硅片进行自动上料，并且可以同时将两个太阳能电池硅片摆放至石英舟上；本发明专利技术通过设置输送机构，可以通过碳化硅桨将石英舟运输至炉体中并缓慢放下，还可以将碳化硅桨从炉体中退出，从而增加碳化硅桨的使用寿命；本发明专利技术通过输送机构和炉门机构的配合，可以在每次将石英舟输送至炉体后，自动对炉门进行关闭，需要取出石英舟时，炉门自动开启。炉门自动开启。炉门自动开启。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池硅片扩散炉


[0001]本专利技术涉及太阳能电池生产
，特别涉及一种太阳能电池硅片扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉是由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。现有的扩散炉主要由开管扩散炉和闭管扩散炉组成，开管扩散炉遇冷空气容易产生偏磷酸等有毒物质，容易对人体造成伤害；闭管扩散炉是将碳化硅桨设在炉门上，使用碳化硅桨将石英舟放入炉体后关闭炉门再进行扩散反应，反应结束后再将碳化硅桨和石英舟一起取出，虽然闭管扩散炉能减少有毒物质的产生，但是由于碳化硅桨长时间受高温烘烤，会严重影响碳化硅桨的使用寿命。
[0003]公告号为CN105908261B的中国专利技术专利公开了一种硅片高效扩散炉，包括炉体和炉门，炉体内设有石英舟，在炉体的上端开设有进气口，进气口连接进气管，在炉体的底部开设有出气口，且出气口连接尾气排放管，在炉体的炉口处设有炉门，炉门的中心设有转轴，炉门的外壁上固定设有凸起，在炉门上开设有两个与转轴对称的窗口，在炉体的炉口处还设有与窗口相匹配的石英挡块，在炉体的外侧固定有U形支架，在U形支架上分别设有第一伸缩气缸、第二伸缩气缸、第三伸缩气缸，且第一伸缩气缸和第二伸缩气缸分别紧贴凸起，第三伸缩气缸连接石英推拉杆，该专利虽然可以自动进出舟，但是并不能将炉门压紧在炉体上，密封效果差。
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技术实现思路

[0004]针对上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种太阳能电池硅片扩散炉，包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，所述的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；所述的输送机构包括石英舟、横移组件、调节板、调节滑块、联动滑块、联动组件，所述的横移组件用于带动石英舟移动，所述的横移组件上设置有调节滑块，所述的调节板上设置有滑槽，所述的调节滑块在调节板的滑槽中滑动，调节板的滑槽用于调节调节滑块的高度，所述的联动滑块在调节板的滑槽上滑动安装，联动滑块和调节滑块接触配合，联动滑块和联动组件相连，所述的联动组件用于驱动炉门机构的开关。
[0005]进一步的，所述的横移组件包括水平运动单元、碳化硅桨、固定座、升降杆、升降弹簧、横移滑台，所述的水平运动单元用于驱动横移滑台往复运动，横移滑台上滑动安装有升降杆，升降杆上套设有升降弹簧，升降杆上固定安装有固定座，固定座和调节滑块固定安装，固定座上还固定安装有碳化硅桨。
[0006]进一步的，所述的联动组件包括T型杆、限位板、联动滑杆、联动弹簧，所述的联动滑杆和联动滑块固定安装，限位板固定安装在调节板上，联动滑杆在限位板上滑动安装，联动滑杆上套设有联动弹簧，T型杆和联动滑块固定安装。
[0007]进一步的，所述的炉门机构包括外门板、支撑组件、驱动组件，所述的支撑组件设置在底座上，所述的驱动组件、外门板均对称设置有两个，两个驱动组件设置在支撑组件上，外门板的两端固定安装有门板座，门板座设置在驱动组件上。
[0008]进一步的，所述的支撑组件包括固定架、横杆，所述的固定架固定安装在底座上，固定架上固定安装有四个横杆。
[0009]进一步的，所述的驱动组件包括炉门滑杆、连接座、转动杆、固定套、驱动齿轮、驱动齿条，所述的炉门滑杆的两端固定安装有炉门滑套，炉门滑套在横杆上滑动安装，炉门滑杆上滑动安装有门板座，门板座上转动安装有连接座，连接座和转动杆固定安装，转动杆滑动安装在固定套上，固定套和驱动齿轮固定安装，驱动齿轮和驱动齿条啮合安装，驱动齿条固定安装在T型杆上。
[0010]进一步的，所述的上料机构包括移动组件、取料组件，所述的移动组件设置在底座上，所述的取料组件设置在移动组件上，移动组件用于调节取料组件的位置。
[0011]进一步的，所述的取料组件包括摆杆、取料单元，所述的取料单元设置有两组，所述的摆杆的两端设置有滑槽，摆杆用于驱动两组取料单元相向运动。
[0012]进一步的，所述的取料单元包括圆杆、横板、调整板、吸盘、拨杆、固定板，所述的拨杆在摆杆的滑槽内滑动安装，拨杆固定安装在固定板上，固定板上滑动安装有圆杆，圆杆和横板固定安装，横板上设置有调整板、吸盘。
[0013]本专利技术与现有技术相比的有益效果是：（1）本专利技术通过设置上料机构，可以对太阳能电池硅片进行自动上料，并且可以同时将两个太阳能电池硅片摆放至石英舟上；（2）本专利技术通过设置输送机构，可以通过碳化硅桨将石英舟运输至炉体中并缓慢放下，还可以将碳化硅桨从炉体中退出，从而增加碳化硅桨的使用寿命；（3）本专利技术通过输送机构和炉门机构的配合，可以在每次将石英舟输送至炉体后，自动对炉门进行关闭，需要取出石英舟时，炉门自动开启。
附图说明
[0014]图1为本专利技术整体结构示意图。
[0015]图2为本专利技术上料机构结构示意图。
[0016]图3为本专利技术上料机构局部结构示意图。
[0017]图4为本专利技术输送机构结构示意图。
[0018]图5为本专利技术输送机构局部结构示意图。
[0019]图6为图5中A处的局部放大图。
[0020]图7为本专利技术炉门机构结构示意图。
[0021]图8为本专利技术炉门机构局部结构示意图。
[0022]图9为图8中B处的局部放大图。
[0023]附图标号：1
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底座；2
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炉体；201
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支座；202
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上料盒；203
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支架；204
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移动电机；205
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丝杠；206
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移动滑杆；207
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滑台；208
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取料电机；209
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连接轴；210
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摆杆；211
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限位杆；212
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限位套；213
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电缸；214
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圆杆；215
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横板；216
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调整板；217
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吸盘；218
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拨杆；219
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固定板；301
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石英舟；302
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碳化硅桨；303
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固定座；304
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升降杆；305
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升降弹簧；306
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横移滑台；307
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横移电机；308
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横移滑块；309
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横移齿轮；310
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横移齿条；311
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横移轨道；312
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联动轨道；313
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T型
杆；314
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支撑杆；315
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调节板；316
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池硅片扩散炉，包括底座（1）、炉体（2）、上料机构、输送机构、炉门机构，其特征在于：所述的炉体（2）、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座（1）上；所述的输送机构包括石英舟（301）、横移组件、调节板（315）、调节滑块（316）、联动滑块（320）、联动组件，所述的横移组件用于带动石英舟（301）移动，所述的横移组件上设置有调节滑块（316），所述的调节板（315）上设置有滑槽，所述的调节滑块（316）在调节板（315）的滑槽中滑动，调节板（315）的滑槽用于调节调节滑块（316）的高度，所述的联动滑块（320）在调节板（315）的滑槽上滑动安装，联动滑块（320）和调节滑块（316）接触配合，联动滑块（320）和联动组件相连，所述的联动组件用于驱动炉门机构的开关。2.如权利要求1所述的一种太阳能电池硅片扩散炉，其特征在于：所述的横移组件包括水平运动单元、碳化硅桨（302）、固定座（303）、升降杆（304）、升降弹簧（305）、横移滑台（306），所述的水平运动单元用于驱动横移滑台（306）往复运动，横移滑台（306）上滑动安装有升降杆（304），升降杆（304）上套设有升降弹簧（305），升降杆（304）上固定安装有固定座（303），固定座（303）和调节滑块（316）固定安装，固定座（303）上还固定安装有碳化硅桨（302）。3.如权利要求2所述的一种太阳能电池硅片扩散炉，其特征在于：所述的联动组件包括T型杆（313）、限位板（321）、联动滑杆（322）、联动弹簧（323），所述的联动滑杆（322）和联动滑块（320）固定安装，限位板（321）固定安装在调节板（315）上，联动滑杆（322）在限位板（321）上滑动安装，联动滑杆（322）上套设有联动弹簧（323），T型杆（313）和联动滑块（320）固定安装。4.如权利要求3所述的一种太阳能电池硅片扩散炉，其特征在于：所述的炉门机构包括外门板（403）、支撑组件、驱动组件，所述的支撑组件设置在底座（1）上，所述的驱动组件、外门板（403）均对称设置有两个，两个驱动组件设...

【专利技术属性】
技术研发人员：常永喜，汤芳，张勇，
申请(专利权)人：浙江浩锐石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：